SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸின் MOCVD சஸ்செப்டர்கள், சிக்கலான கிராஃபைட் எபிடாக்ஸி மற்றும் துல்லியமான செதில் கையாளுதல் பணிகளுக்கான கைவினைத்திறன், சகிப்புத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றின் உச்சத்தை எடுத்துக்காட்டுகின்றன. இந்த சஸ்செப்டர்கள் அவற்றின் அதிக அடர்த்தி, விதிவிலக்கான தட்டையான தன்மை மற்றும் சிறந்த வெப்பக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றால் புகழ்பெற்றவை, அவை உற்பத்திச் சூழலைக் கோருவதற்கான முதன்மைத் தேர்வாக அமைகின்றன. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள், செலவு-திறனுடன் தரத்தை இணைக்கும் உயர்-செயல்திறன் கொண்ட MOCVD சஸ்செப்டர்களை தயாரித்து வழங்குவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புஎபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான செமிகோரெக்ஸ் பிளேட் என்பது எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் நுணுக்கங்களைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய உறுப்பு ஆகும். தனித்துவமான விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் விருப்பங்களைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, உங்கள் தனிப்பட்ட செயல்பாட்டுத் தேவைகளுக்குத் தடையின்றி பொருந்தக்கூடிய தனித்தனியாக வடிவமைக்கப்பட்ட தீர்வை எங்கள் சலுகை வழங்குகிறது. அளவு மாற்றங்கள் முதல் பூச்சு பயன்பாட்டில் உள்ள மாறுபாடுகள் வரை பலவிதமான தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களை நாங்கள் வழங்குகிறோம், பொறியாளர் மற்றும் பல்வேறு பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகளில் செயல்திறனை மேம்படுத்தும் திறன் கொண்ட தயாரிப்பை வழங்குகிறோம். செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான உயர் செயல்திறன் கொண்ட தட்டுகளை தயாரித்து வழங்குவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளோம், அவை தரத்தை செலவு-செயல்திறனுடன் இணைக்கின்றன......
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புMOCVDக்கான செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் கேரியர், உலோக கரிம இரசாயன நீராவி வைப்புத்தொகையின் (MOCVD) துல்லியமான தேவைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, உயர்-அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கு ஒற்றை-படிக Si அல்லது SiC செயலாக்கத்தில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத கருவியாக வெளிப்படுகிறது. MOCVD கலவைக்கான வேஃபர் கேரியர் இணையற்ற தூய்மை, உயர்ந்த வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கு எதிர்ப்பு மற்றும் அழகிய வளிமண்டலத்தை பராமரிக்க சிறந்த சீல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் MOCVDக்கான உயர்-செயல்திறன் கொண்ட வேஃபர் கேரியர்களை உற்பத்தி செய்வதற்கும் வழங்குவதற்கும் அர்ப்பணித்துள்ளோம், அவை தரத்தை செலவு-திறனுடன் இணைக்கின்றன.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex வழங்கும் SiC படகு ஹோல்டர் SiC இலிருந்து புதுமையாக உருவாக்கப்பட்டுள்ளது, இது ஒளிமின்னழுத்தம், மின்னணு மற்றும் குறைக்கடத்தி துறைகளில் உள்ள முக்கிய பாத்திரங்களுக்கு வெளிப்படையாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட, செமிகோரெக்ஸ் SiC படகு வைத்திருப்பவர் ஒவ்வொரு நிலையிலும் செதில்களுக்கான பாதுகாப்பான, நிலையான சூழலை வழங்குகிறது-அது செயலாக்கம், போக்குவரத்து அல்லது சேமிப்பகம். அதன் நுணுக்கமான வடிவமைப்பு, செதில் சிதைவைக் குறைப்பதற்கும், செயல்பாட்டு விளைச்சலை அதிகப்படுத்துவதற்கும் முக்கியமான பரிமாணங்கள் மற்றும் சமநிலையில் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC கைடு ரிங் ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறையை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, மேம்பட்ட தூய்மை மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டுடன் உயர்தர படிகங்களை உருவாக்குவதற்கு பங்களிக்கிறது. சந்தை-முன்னணி தரத்திற்கான செமிகோரெக்ஸின் அர்ப்பணிப்பு, போட்டி நிதிக் கருத்தாய்வுகளுடன் இணைந்து, உங்கள் குறைக்கடத்தி செதில் கடத்தல் தேவைகளை நிறைவேற்றுவதில் கூட்டாண்மைகளை நிறுவுவதற்கான எங்கள் ஆர்வத்தை உறுதிப்படுத்துகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex Epi-SiC Susceptor, குறிப்பாக எபிடாக்சியல் பயன்பாடுகளில், அதிநவீன குறைக்கடத்தி ஃபேப்ரிகேஷனுக்கு இன்றியமையாதது. Epi-SiC சஸ்செப்டரின் வடிவமைப்பு, துல்லியம் மற்றும் புதுமைகளை உள்ளடக்கியது, செமிகண்டக்டர் பொருட்களின் எபிடாக்சியல் படிவுகளை செதில்களில் ஆதரிக்கிறது, செயல்திறனில் விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. சந்தை-முன்னணி தரத்திற்கான செமிகோரெக்ஸின் அர்ப்பணிப்பு, போட்டி நிதிக் கருத்தாய்வுகளுடன் இணைந்து, உங்கள் குறைக்கடத்தி செதில் கடத்தல் தேவைகளை நிறைவேற்றுவதில் கூட்டாண்மைகளை நிறுவுவதற்கான எங்கள் ஆர்வத்தை உறுதிப்படுத்துகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு