SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் அனீலிங் படகு, சிலிக்கான் செதில்களைக் கையாள்வதற்கும் செயலாக்குவதற்கும் உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களை அடைவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதன் தனித்துவமான வடிவமைப்பு அம்சங்கள் மற்றும் பொருள் பண்புகள் பரவல் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம், சீரான செயலாக்கத்தை உறுதி செய்தல், மகசூலை அதிகப்படுத்துதல் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் ஒட்டுமொத்த தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு பங்களித்தல் போன்ற முக்கியமான புனையமைப்பு படிகளுக்கு இது இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex MOCVD Epitaxy Susceptor ஆனது உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) எபிடாக்ஸியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக வெளிப்பட்டுள்ளது, இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களை விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்துடன் உருவாக்க உதவுகிறது. பொருள் பண்புகளின் தனித்துவமான கலவையானது, கலவை குறைக்கடத்திகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது எதிர்கொள்ளும் வெப்ப மற்றும் வேதியியல் சூழல்களுக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானதாக அமைகிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகு உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த சாதனங்களின் உற்பத்தியில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத கருவியாக உருவெடுத்துள்ளது. உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (SiC) நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த சிறப்பு கேரியர்கள், அதிநவீன மின்னணு பாகங்களைத் தயாரிப்பதில் ஈடுபட்டுள்ள கோரும் செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான விதிவிலக்கான வெப்ப, இரசாயன மற்றும் இயந்திர பண்புகளை வழங்குகின்றன.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC Multi Pocket Susceptor உயர்தர செமிகண்டக்டர் செதில்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் ஒரு முக்கியமான செயல்படுத்தும் தொழில்நுட்பத்தைக் குறிக்கிறது. ஒரு அதிநவீன இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உருவாக்கப்பட்ட இந்த susceptors விதிவிலக்கான எபிடாக்சியல் லேயர் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை செயல்திறனை அடைவதற்கான வலுவான மற்றும் உயர்-செயல்திறன் தளத்தை வழங்குகிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC செராமிக் வேஃபர் படகு ஒரு முக்கியமான செயல்படுத்தும் தொழில்நுட்பமாக உருவெடுத்துள்ளது, உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்திற்கான அசைக்க முடியாத தளத்தை வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் செதில் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட சாதனங்களுக்குத் தேவையான தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. இது துல்லியமாக கட்டமைக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களுக்கு ஏற்ப வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செதில் செயலாக்கத்தின் ஒவ்வொரு அம்சமும், படிவு முதல் பரவல் வரை, துல்லியமான கட்டுப்பாடு மற்றும் அழகிய சூழல்களைக் கோருகிறது. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC செராமிக் வேஃபர் படகுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கும் சப்ளை செய்வதற்கும் அர்ப்பணித்துள்ளோம், அது செலவு-செயல்திறனுடன் தரத்தை இணைக்கிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC ICP Etching Disk என்பது வெறும் கூறுகள் அல்ல; செமிகண்டக்டர் தொழிற்துறையானது அதன் குறுக்கீடு மற்றும் செயல்திறனுக்கான இடைவிடாத நாட்டத்தைத் தொடர்வதால், அதிநவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு இது இன்றியமையாததாக உள்ளது, SiC போன்ற மேம்பட்ட பொருட்களின் தேவை தீவிரமடையும். இது நமது தொழில்நுட்பத்தால் இயங்கும் உலகிற்கு தேவையான துல்லியம், நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC ICP எட்ச்சிங் டிஸ்க்கை தயாரித்து வழங்குவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு