ஒரு SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) ஷவர்ஹெட் என்பது பல்வேறு தொழில்துறை செயல்முறைகளில், குறிப்பாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு அங்கமாகும். இது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் போது செயல்முறை வாயுக்களை சமமாகவும் துல்லியமாகவும் விநியோகிக்கவும் வழங்கவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
ஷவர்ஹெட் அதன் மேற்பரப்பில் பல சமமாக விநியோகிக்கப்பட்ட துளைகள் அல்லது முனைகள் கொண்ட வட்டு அல்லது தகடு போன்ற வடிவத்தில் உள்ளது. இந்த துளைகள் செயல்முறை வாயுக்களின் விற்பனை நிலையங்களாக செயல்படுகின்றன, அவை செயல்முறை அறை அல்லது எதிர்வினை அறைக்குள் செலுத்தப்பட அனுமதிக்கின்றன. குறிப்பிட்ட பயன்பாடு மற்றும் செயல்முறை தேவைகளைப் பொறுத்து துளைகளின் அளவு, வடிவம் மற்றும் விநியோகம் மாறுபடும்.
SiC ஷவர்ஹெட்டைப் பயன்படுத்துவதன் முக்கிய நன்மைகளில் ஒன்று அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகும். இந்த குணம் திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் மற்றும் ஷவர்ஹெட் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது, சூடான இடங்களை தடுக்கிறது மற்றும் நிலையான செயல்முறை நிலைமைகளை உறுதி செய்கிறது. மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப கடத்துத்திறன் செயல்முறைக்குப் பிறகு ஷவர்ஹெட்டை விரைவாக குளிர்விக்கவும், வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கவும் மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தித்திறனை அதிகரிக்கவும் அனுமதிக்கிறது.
SiC ஷவர்ஹெட்கள் அதிக நீடித்த மற்றும் தேய்மானம் மற்றும் கிழிக்க எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை. இந்த நீண்ட ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்பட்ட பராமரிப்பு இடைவெளிகள் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரத்தை மாற்றுகிறது, இதன் விளைவாக செலவு சேமிப்பு மற்றும் மேம்பட்ட செயல்முறை நம்பகத்தன்மை.
அதன் வலிமைக்கு கூடுதலாக, SiC ஷவர்ஹெட்ஸ் சிறந்த எரிவாயு விநியோக திறன்களை வழங்குகிறது. துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட துளை வடிவங்கள் மற்றும் உள்ளமைவுகள், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் சீரான வாயு ஓட்டம் மற்றும் விநியோகத்தை உறுதிசெய்து, சீரான படப் படிவு மற்றும் மேம்பட்ட சாதன செயல்திறனை ஊக்குவிக்கிறது. சீரான வாயு விநியோகம் படத்தின் தடிமன், கலவை மற்றும் பிற முக்கிய அளவுருக்கள் ஆகியவற்றில் மாறுபாடுகளைக் குறைக்க உதவுகிறது, மேம்பட்ட செயல்முறை கட்டுப்பாடு மற்றும் விளைச்சலுக்கு பங்களிக்கிறது.
செமிகோரெக்ஸ் குறைந்த எதிர்ப்புத் திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு குறைக்கடத்தி ஷவர் ஹெட் வழங்குகிறது. தனிப்பயன் பொறியாளர் மற்றும் பல்வேறு தனித்துவமான திறன்களைப் பயன்படுத்தி மேம்பட்ட பீங்கான் பொருட்களை வழங்குவதற்கான திறன் எங்களிடம் உள்ளது.
மெட்டாலிக் ஷவர் ஹெட், வாயு விநியோக தகடு அல்லது கேஸ் ஷவர் ஹெட் என அறியப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் முதன்மை செயல்பாடு வாயுக்களை எதிர்வினை அறைக்குள் சமமாக விநியோகிப்பதாகும். வாயுக்கள்.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு