சீனா CVD உலை உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைக்கு பயன்படுத்தப்படும் CVD உலைகள். இரசாயன நீராவி படிவு என்பது ஆவியாக்கப்பட்ட முன்னோடி வாயுக்கள் மற்றும் சூடான மேற்பரப்புக்கு இடையில் ஒரு இரசாயன எதிர்வினையைப் பயன்படுத்தி ஒரு அடி மூலக்கூறில் ஒரு மெல்லிய படலம் டெபாசிட் செய்யப்படும் ஒரு செயல்முறையாகும்.

CVD உலைகள் பொதுவாக ஒரு வெற்றிட அறை, ஒரு எரிவாயு விநியோக அமைப்பு, ஒரு வெப்பமாக்கல் அமைப்பு மற்றும் ஒரு அடி மூலக்கூறு வைத்திருப்பவர் ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்கும். வெற்றிட அறை காற்று மற்றும் பிற வாயுக்களை படிவு சூழலில் இருந்து அகற்ற பயன்படுகிறது, இது படிவு செயல்முறையில் குறுக்கிடுவதை தடுக்கிறது. எரிவாயு விநியோக அமைப்பு முன்னோடி வாயுக்களை அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வழங்குகிறது, அங்கு அவை விரும்பிய மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன. வெப்பமாக்கல் அமைப்பு எதிர்வினை ஏற்படுவதற்கு தேவையான வெப்பநிலைக்கு அடி மூலக்கூறை வெப்பப்படுத்துகிறது. படிவு செயல்பாட்டின் போது அடி மூலக்கூறை வைத்திருக்க அடி மூலக்கூறு வைத்திருப்பவர் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

CVD செயல்பாட்டில், முன்னோடி வாயுக்கள் வெற்றிட அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்பட்டு வெப்பநிலைக்கு சூடேற்றப்படுகின்றன, அங்கு அவை சிதைந்து, சூடான அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன. படிவு சுற்றுச்சூழலின் வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தம் கவனமாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்டு, விரும்பிய படப் பண்புகளை அடைய வேண்டும்.

ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்கள் போன்ற மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கு மெல்லிய படலங்களை டெபாசிட் செய்ய, குறைக்கடத்தி துறையில் CVD உலைகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பூச்சுகள், ஒளியியல் இழைகள் மற்றும் சூப்பர் கண்டக்டர்கள் போன்ற மேம்பட்ட பொருட்களின் உற்பத்தியிலும் அவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன.