பான்கேக் சசெப்டர், செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் செதில் கேரியரின் வட்ட வடிவம்.
எபிடாக்ஸி என்பது செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் ஒரு முக்கியமான படியாகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களில் எபிடாக்சியல் லேயரை வளர்க்கிறது, இதில் செதில்கள் கிராஃபைட் சசெப்டர்களில் கொண்டு செல்லப்படுகின்றன. கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களின் குணங்கள் எபி-வேஃபர்களின் தரத்திற்கான முக்கிய பாசங்கள்.
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள்
செமிகோரெக்ஸ் அனைத்து எபிடாக்ஸி ரியாக்டர்களுக்கும் சஸ்பெப்டர்கள் மற்றும் கூறுகளை வழங்குகிறது.பீப்பாய் suceptorsமற்றும் பான்கேக் சஸ்பெக்டர்கள். நாங்கள் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் CVD SiC பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துகிறோம்.