கேஸ் இன்லெட் வளையங்கள் செதில் விளிம்பு மற்றும் சுற்றளவை மறைக்கப் பயன்படுகின்றன, சுத்தமான, செயலற்ற மற்றும் பாதுகாக்கப்பட்ட சூழலை உருவாக்க முக்கியமான அறைக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கின்றன மற்றும் படிவு அறைகளில் அவற்றின் பயனுள்ள ஆயுளை நீட்டிக்கின்றன, எனவே அவை படிவு அல்லது செதில் செயலாக்கத்தின் போது பிளாஸ்மா மற்றும் அதிக வெப்பநிலைக்கு வெளிப்படும் , எனவே வலுவான பிளாஸ்மா ஆயுள் மற்றும் உயர் தூய்மை ஆகியவை இறுதி செதில் விளைச்சலுக்கு முக்கியமானவை.
Semicorex CVD SiC பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் இந்த கோரும் எபிடாக்ஸி உபகரண பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.