SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் ஹோல்டர்

Semicorex SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர் என்பது எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் போது SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) செதில்களை வைப்பதற்கும் கையாளுவதற்கும் குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லிய-பொறியியல் கூறு ஆகும். இந்த கூறு உயர்தர கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்குடன் பூசப்பட்டுள்ளது, இது மேம்பட்ட வெப்ப மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் SiC- பூசப்பட்ட பொருட்கள் அவசியம், குறிப்பாக SiC epitaxy போன்ற செயல்முறைகளுக்கு, செதில் தரத்தை பராமரிக்க அதிக துல்லியம் மற்றும் சிறந்த பொருள் பண்புகள் தேவைப்படுகின்றன.

பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் எல்.ஈ.டி உள்ளிட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் SiC எபிடாக்ஸி ஒரு முக்கியமான படியாகும். இந்த செயல்பாட்டின் போது, ​​SiC செதில்கள் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலில் வளர்க்கப்படுகின்றன, மேலும் செதில் வைத்திருப்பவர் செயல்முறை முழுவதும் செதில்களின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறார். SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெற்றிட சூழ்நிலையில் கூட, மாசு அல்லது இயந்திர செயலிழப்பு அபாயத்தைக் குறைக்கும் அதே வேளையில், செதில்கள் பாதுகாப்பான இடத்தில் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த தயாரிப்பு முதன்மையாக எபிடாக்ஸி உலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு SiC- பூசப்பட்ட மேற்பரப்பு செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த நிலைத்தன்மைக்கு பங்களிக்கிறது.

முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்

உயர்ந்த பொருள் பண்புகள்

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் உள்ள SiC பூச்சு பூசப்படாத கிராஃபைட்டை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்காக அறியப்படுகிறது, இது எபிடாக்ஸி போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த சிறந்தது. SiC பூச்சு வேஃபர் ஹோல்டரின் ஆயுளை அதிகரிப்பது மட்டுமல்லாமல் தீவிர நிலைகளில் நிலையான செயல்திறனையும் உறுதி செய்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப மேலாண்மை

SiC ஒரு சிறந்த வெப்ப கடத்தி ஆகும், இது வேஃபர் ஹோல்டர் முழுவதும் வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்க உதவுகிறது. எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் இது முக்கியமானது, உயர்தர படிக வளர்ச்சியை அடைவதற்கு வெப்பநிலை சீரான தன்மை அவசியம். SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர் திறமையான வெப்பச் சிதறலை உறுதிசெய்கிறது, ஹாட்ஸ்பாட்களின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டின் போது SiC வேஃபருக்கு உகந்த நிலைமைகளை உறுதி செய்கிறது.

உயர் தூய்மை மேற்பரப்பு

SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர் மாசுபடுவதை எதிர்க்கும் உயர் தூய்மையான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பொருளின் தூய்மை மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு சிறிய அசுத்தங்கள் கூட செதில்களின் தரத்தை எதிர்மறையாக பாதிக்கலாம், அதன் விளைவாக, இறுதி தயாரிப்பின் செயல்திறன். SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் ஹோல்டரின் உயர்-தூய்மை தன்மையானது, மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கும் மற்றும் உயர்தர எபிடாக்ஸி வளர்ச்சியை உறுதிசெய்யும் சூழலில் செதில் வைத்திருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள் மற்றும் ஆயுள்

SiC பூச்சுகளின் முதன்மை நன்மைகளில் ஒன்று வேஃபர் ஹோல்டரின் நீண்ட ஆயுளில் முன்னேற்றம் ஆகும். SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கடுமையான சூழல்களிலும் கூட, தேய்மானம், அரிப்பு மற்றும் சீரழிவுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது. இதன் விளைவாக நீண்ட தயாரிப்பு ஆயுட்காலம் மற்றும் மாற்றத்திற்கான வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது, உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒட்டுமொத்த செலவு சேமிப்புக்கு பங்களிக்கிறது.

தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள்

SiC கோடட் வேஃபர் ஹோல்டரை வெவ்வேறு எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கலாம். இது செதில்களின் அளவு மற்றும் வடிவத்திற்கு ஏற்றதாக இருந்தாலும் அல்லது குறிப்பிட்ட வெப்ப மற்றும் இரசாயன நிலைமைகளுக்கு ஏற்றதாக இருந்தாலும், இந்த தயாரிப்பு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்ற நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த தனிப்பயனாக்கம், ஒவ்வொரு உற்பத்தி சூழலின் தனிப்பட்ட தேவைகளுடன் வேஃபர்ஹோல்டர் தடையின்றி செயல்படுவதை உறுதி செய்கிறது.

இரசாயன எதிர்ப்பு

SiC பூச்சு எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் இருக்கும் பரந்த அளவிலான ஆக்கிரமிப்பு இரசாயனங்கள் மற்றும் வாயுக்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இது SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டரை இரசாயன நீராவிகள் அல்லது வினைத்திறன் வாயுக்கள் பொதுவாக வெளிப்படும் சூழல்களில் பயன்படுத்த உகந்ததாக ஆக்குகிறது. இரசாயன அரிப்புக்கான எதிர்ப்பானது, உற்பத்தி சுழற்சி முழுவதும் அதன் ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறனை பேஃபர்ஹோல்டர் பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது.

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸியில் பயன்பாடுகள்

SiC அடி மூலக்கூறுகளில் உயர்தர SiC அடுக்குகளை உருவாக்க SiC epitaxy பயன்படுத்தப்படுகிறது, பின்னர் அவை உயர்-பவர் டையோட்கள், டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் LED கள் உள்ளிட்ட மின் சாதனங்கள் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எபிடாக்ஸி செயல்முறை வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் மாசுபாட்டிற்கு அதிக உணர்திறன் கொண்டது, இது வேஃபர்ஹோல்டரின் தேர்வு முக்கியமானது. SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர், செதில்கள் துல்லியமாகவும் பாதுகாப்பாகவும் நிலைநிறுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, குறைபாடுகளின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் லேயர் விரும்பிய பண்புகளுடன் வளர்வதை உறுதி செய்கிறது.

SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர் பல முக்கிய குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அவற்றுள்:

• SiC பவர் சாதனங்கள்:மின்சார வாகனங்கள், புதுப்பிக்கத்தக்க எரிசக்தி அமைப்புகள் மற்றும் தொழில்துறை மின்னணுவியல் ஆகியவற்றில் அதிக திறன் கொண்ட சக்தி சாதனங்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால் SiC செதில்களின் மீது அதிக நம்பிக்கை உள்ளது. SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர் சக்தி சாதன உற்பத்தியில் தேவைப்படும் துல்லியமான மற்றும் உயர்தர எபிடாக்ஸிக்குத் தேவையான நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது.
• LED உற்பத்தி:உயர் செயல்திறன் LED களின் உற்பத்தியில், தேவையான பொருள் பண்புகளை அடைவதற்கு எபிடாக்ஸி செயல்முறை முக்கியமானது. SiC-அடிப்படையிலான அடுக்குகளின் துல்லியமான இடம் மற்றும் வளர்ச்சிக்கு நம்பகமான தளத்தை வழங்குவதன் மூலம் SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர் இந்த செயல்முறையை ஆதரிக்கிறது.
• வாகன மற்றும் விண்வெளி பயன்பாடுகள்:அதிக சக்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சாதனங்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், வாகன மற்றும் விண்வெளித் தொழில்களுக்கான குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தியில் SiC epitaxy முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இந்த மேம்பட்ட கூறுகளின் உற்பத்தியின் போது செதில் துல்லியமாகவும் பாதுகாப்பாகவும் நிலைநிறுத்தப்படுவதை SiC கோடட் வேஃபர் ஹோல்டர் உறுதி செய்கிறது.

Semicorex SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கு ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் துல்லியம், வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் மாசு எதிர்ப்பு ஆகியவை உயர்தர செதில் வளர்ச்சியை அடைவதற்கான முக்கிய காரணிகளாகும். அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன எதிர்ப்பு, ஆயுள் மற்றும் தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள் ஆகியவற்றின் கலவையானது SiC epitaxy பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தீர்வாக அமைகிறது. SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டரைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிசையில் சிறந்த மகசூல், மேம்பட்ட தயாரிப்பு தரம் மற்றும் மேம்பட்ட செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்ய முடியும்.