SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck என்பது சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் செதில்களில் காலியம் நைட்ரைடை கையாளுவதற்கும் செயலாக்குவதற்கும் குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான-பொறியியல் அடி மூலக்கூறு வைத்திருப்பவர். செமிகோரெக்ஸ் போட்டித்திறன் விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புMOCVDக்கான Semicorex SiC வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் துல்லியம் மற்றும் புதுமையின் ஒரு முன்னுதாரணமாகும், குறிப்பாக செமிகண்டக்டர் பொருட்களின் எபிடாக்சியல் படிவுகளை செதில்களில் வைப்பதற்கு வசதியாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. தகடுகளின் உயர்ந்த பொருள் பண்புகள், உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்கள் உள்ளிட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கிக் கொள்ள உதவுகின்றன. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் MOCVD க்காக உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC வேஃபர் சஸ்செப்டர்களை தயாரித்து வழங்குவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளோம், அவை தரத்தை செலவு-திறனுடன் இணைக்கின்றன.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புஎபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அமைப்பின் ஒருங்கிணைந்த பகுதியான SiC பூச்சு கொண்ட செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் கேரியர்கள், அதன் விதிவிலக்கான தூய்மை, தீவிர வெப்பநிலைக்கு எதிர்ப்பு மற்றும் வலுவான சீல் பண்புகள் ஆகியவற்றால் வேறுபடுகின்றன, இது குறைக்கடத்தி செதில்களின் ஆதரவு மற்றும் சூடாக்குவதற்கு அவசியமான தட்டுகளாக செயல்படுகிறது. எபிடாக்சியல் அடுக்கு படிவின் முக்கியமான கட்டம், இதன் மூலம் MOCVD செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் SiC பூச்சுடன் கூடிய உயர்-செயல்திறன் கொண்ட வேஃபர் கேரியர்களை உற்பத்தி செய்வதற்கும் வழங்குவதற்கும் அர்ப்பணித்துள்ளோம், அவை தரத்தை செலவு-திறனுடன் இணைக்கின்றன.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex GaN Epitaxy கேரியர், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, மேம்பட்ட பொருட்களை ஒருங்கிணைத்தல் மற்றும் துல்லியமான பொறியியல் ஆகியவற்றில் முக்கியமானது. அதன் CVD SiC பூச்சு மூலம் வேறுபடுகிறது, இந்த கேரியர் விதிவிலக்கான ஆயுள், வெப்ப செயல்திறன் மற்றும் பாதுகாப்பு திறன்களை வழங்குகிறது, இது தொழில்துறையில் தன்னை ஒரு தனித்துவமாக நிலைநிறுத்துகிறது. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட GaN Epitaxy கேரியரை தயாரித்து வழங்குவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளோம், இது தரத்தை செலவு-திறனுடன் இணைக்கிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி-கோடட் வேஃபர் டிஸ்க் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தில் ஒரு முன்னணி முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கிறது, இது குறைக்கடத்திகளை உருவாக்கும் சிக்கலான செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. நுணுக்கமான துல்லியத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்ட, இந்த வட்டு உயர்ந்த SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளுக்கான சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீடித்துழைப்பை வழங்குகிறது. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC-கோடட் வேஃபர் டிஸ்க்கை உற்பத்தி செய்வதற்கும் வழங்குவதற்கும் அர்ப்பணித்துள்ளோம், இது தரத்தை செலவு-திறனுடன் இணைக்கிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC வேஃபர் ட்ரே என்பது உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய சொத்தாக உள்ளது, இது எபிடாக்சியல் லேயர் படிவத்தின் இன்றியமையாத படிநிலையின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த தட்டு குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்ததாகும், அங்கு அடுக்கு வளர்ச்சியின் துல்லியம் மிக முக்கியமானது. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC வேஃபர் ட்ரேயை தயாரித்து வழங்குவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளோம், இது தரத்தை செலவு-திறனுடன் இணைக்கிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு