செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்த உங்கள் பங்குதாரர். எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அடர்த்தியான, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை குறைக்கடத்தி செதில் மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் உட்பட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு சுழற்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை SiC செராமிக் கூறுகள் குறைக்கடத்தியில் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு, கான்டிலீவர் துடுப்புகள், டியூப்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான நுகர்பொருட்களின் பாகங்கள் வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன.
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான நன்மைகள்
எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய படல படிவு நிலைகள் அல்லது செதில் அல்லது அயன் உள்வைப்பு போன்ற செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கட்டுமானத்தை வழங்குகிறது, சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பு, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும் வழங்குகிறது.
அறை மூடிகள் →
படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் அறை மூடிகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.
கான்டிலீவர் துடுப்பு →
கான்டிலீவர் துடுப்பு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக பரவல் அல்லது LPCVD உலைகளில் பரவல் மற்றும் RTP போன்ற செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.
செயல்முறை குழாய் →
செயல்முறை குழாய் ஒரு முக்கியமான அங்கமாகும், குறிப்பாக RTP, பரவல் போன்ற பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயலாக்க பயன்பாடுகளில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
வேஃபர் படகுகள் →
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் வேஃபர் படகு பயன்படுத்தப்படுகிறது, உற்பத்தியின் முக்கியமான கட்டங்களில் மென்மையான செதில்கள் பாதுகாப்பாக வைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்யும் வகையில் இது வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
இன்லெட் ரிங்க்ஸ் →
எம்ஓசிவிடி கருவி மூலம் SiC பூசப்பட்ட வாயு நுழைவாயில் வளையம் கலவை வளர்ச்சி அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
ஃபோகஸ் ரிங் →
செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது.
வேஃபர் சக் →
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் செராமிக் வெற்றிட வேஃபர் சக்ஸ் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும்.
செமிகோரெக்ஸ் அலுமினா (Al2O3), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4), அலுமினியம் நைட்ரைடு (AIN), சிர்கோனியா (ZrO2), கலப்பு செராமிக் போன்றவற்றிலும் பீங்கான் தயாரிப்புகளைக் கொண்டுள்ளது.
செமிகோரெக்ஸ் கார்பன் பீங்கான் பிரேக்குகள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பயன்பாடுகளுக்கான இறுதி பிரேக்கிங் தீர்வாகும். ஒப்பிடமுடியாத பொருள் நிபுணத்துவம், துல்லியமான உற்பத்தி மற்றும் உலகளவில் முன்னணி OEM களால் நம்பப்படும் நிரூபிக்கப்பட்ட நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றிற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் அலுமினிய நைட்ரைடு ஹீட்டர்கள் அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், விரைவான பதில் மற்றும் மின் காப்பு ஆகியவற்றிற்கு அறியப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் வெப்பக் கூறுகள் ஆகும். செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது மேம்பட்ட பீங்கான் தொழில்நுட்பங்களில் நம்பகமான நிபுணருடன் கூட்டுசேர்வது-துல்லியமான-வடிவமைக்கப்பட்ட தீர்வுகள், நிலையான தரம் மற்றும் உங்கள் பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப பதிலளிக்கக்கூடிய தொழில்நுட்ப ஆதரவு ஆகியவற்றை வழங்குதல்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் 4 அங்குல எஸ்.ஐ.சி படகுகள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் கேரியர்கள் ஆகும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உயர்ந்த வெப்ப மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. தொழில் தலைவர்களால் நம்பப்படும், செமிகோரெக்ஸ் மேம்பட்ட பொருட்கள் நிபுணத்துவத்தை துல்லியமான பொறியியலுடன் இணைத்து மகசூல், நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்பாட்டு செயல்திறனை மேம்படுத்தும் தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் ஆல்ன் ஹீட்டர்கள் மேம்பட்ட பீங்கான் அடிப்படையிலான வெப்பக் கூறுகள் ஆகும், இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட வெப்ப பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த ஹீட்டர்கள் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், மின் காப்பு மற்றும் வேதியியல் மற்றும் இயந்திர அழுத்தத்திற்கு எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன, இது தொழில்துறை மற்றும் அறிவியல் பயன்பாடுகளை கோருவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. அல்ன் ஹீட்டர்கள் துல்லியமான மற்றும் சீரான வெப்பத்தை வழங்குகின்றன, அதிக நம்பகத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் தேவைப்படும் சூழல்களில் திறமையான வெப்ப நிர்வாகத்தை உறுதி செய்கின்றன.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் குறைக்கடத்தி ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் கேரியர்கள் ஆகும். இந்த துல்லிய-பொறியியல் கூறுகள் உலை குழாய்களுக்குள் சிலிக்கான் செதில்களுக்கு நிலையான, உயர் தூய்மை சூழலை வழங்குகின்றன, இது உகந்த செயல்முறை நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. *
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் கார்பன் பீங்கான் பிரேக் பேட்கள் அனைத்து நிலைமைகளிலும் விதிவிலக்கான வலிமை, வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நம்பகமான பிரேக்கிங் செயல்திறனை வழங்குகின்றன, இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட வாகனங்கள், மோட்டார்ஸ்போர்ட்ஸ், விமான போக்குவரத்து மற்றும் மோட்டார் சைக்கிள்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. *
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு