செமிகோரெக்ஸ் கிராஃபைட் சென்டர் பிளேட் அல்லது எம்ஓசிவிடி சஸ்செப்டர் என்பது ரசாயன நீராவி படிவு (சிவிடி) முறையால் பூசப்பட்ட உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகும், இது செதில் சிப்பில் எபிடாக்சியல் லேயரை வளர்க்கும் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் MOCVD இல் இன்றியமையாத பகுதியாகும், எனவே இது ஒரு சிறந்த வெப்பம் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பையும், அதே போல் அதிக வெப்ப சீரான தன்மையையும் கோருகிறது. இந்த கோரும் எபிடாக்ஸி உபகரண பயன்பாடுகளுக்காக நாங்கள் குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளோம்.