படிக வளர்ச்சி உலை என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் வளர்ச்சிக்கான முக்கிய கருவியாகும். இது பாரம்பரிய படிக சிலிக்கான்-தர படிக வளர்ச்சி உலை போன்றது. உலை அமைப்பு மிகவும் சிக்கலானது அல்ல. இது முக்கியமாக உலை உடல், வெப்பமாக்கல் அமைப்பு, சுருள் பரிமாற்ற வழிமுறை, வெற்றிட கையகப்படுத்தல் மற்றும் அளவீட்டு......
மேலும் படிக்ககுறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், செதில்கள் சிப் உற்பத்தியின் அடித்தளத்தை உருவாக்குகின்றன. இவற்றில், டம்மி வேஃபர் என குறிப்பிடப்படும் ஒரு சிறப்பு வகை செதில், உபகரணங்களின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதிலும், உற்பத்தி செலவுகளைக் கட்டுப்படுத்துவதிலும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
மேலும் படிக்கபிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (PECVD) என்பது சிப் தயாரிப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்நுட்பமாகும். இது பிளாஸ்மாவில் உள்ள எலக்ட்ரான்களின் இயக்க ஆற்றலை வாயு கட்டத்தில் இரசாயன எதிர்வினைகளை செயல்படுத்த பயன்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் மெல்லிய-பட படிவுகளை அடைகிறது.
மேலும் படிக்க