ஃபோகஸ் ரிங் அல்லது எட்ஜ் வளையங்கள் செதில் விளிம்பு அல்லது சுற்றளவைச் சுற்றி எட்ச் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
செமிகோரெக்ஸ் ஃபோகஸ் மோதிரங்கள், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) பயன்படுத்தி சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்டவை, சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பையும், நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும், மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது. .
செமிகோரெக்ஸ் SiC ஃபோகஸ் ரிங் என்பது பிளாஸ்மா விநியோகம் மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில் செயல்முறை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு ரிங் கூறு ஆகும். செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது நிலையான தரம், மேம்பட்ட பொருள் பொறியியல் மற்றும் உலகெங்கிலும் உள்ள முன்னணி குறைக்கடத்தி ஃபேப்களால் நம்பப்படும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்வதாகும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு