ஃபோகஸ் ரிங் அல்லது எட்ஜ் மோதிரங்கள் செதில் விளிம்பு அல்லது சுற்றளவைச் சுற்றி எட்ச் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
செமிகோரெக்ஸ் ஃபோகஸ் வளையங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மூலம் உயர்ந்த வெப்ப எதிர்ப்பையும், நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும், மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது, இவை பிளாஸ்மா பொறித்தல் அல்லது உலர் பொறித்தல் செயல்பாட்டில் தீவிர சூழல்களை தாங்கும் வகையில் கட்டப்பட்டுள்ளன. .
குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான செமிகோரெக்ஸ் நீடித்த ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் பிளாஸ்மா எட்ச் அறைகளின் தீவிர சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. எங்கள் ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் அடர்த்தியான, அணிய-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுடன் பூசப்பட்ட உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டால் ஆனவை. SiC பூச்சு உயர் அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு பண்புகள், அத்துடன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் உள்ளது. எங்கள் ஃபோகஸ் வளையங்களின் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த, வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டில் மெல்லிய அடுக்குகளில் SiC ஐப் பயன்படுத்துகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் பிளாஸ்மா ப்ராசசிங் ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் துறையில் பிளாஸ்மா எட்ச் செயலாக்கத்தின் அதிக தேவைகளை பூர்த்தி செய்வதற்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எங்களின் மேம்பட்ட, உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கூறுகள் தீவிர சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளன மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குகள் மற்றும் எபிடாக்சி குறைக்கடத்திகள் உட்பட பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் மேம்பட்ட, உயர்-தூய்மை SiC ஃபோகஸ் வளையங்கள் பிளாஸ்மா எட்ச் (அல்லது உலர் எட்ச்) அறைகளில் உள்ள தீவிர சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் கட்டப்பட்டுள்ளன. சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குகள் மற்றும் எபிடாக்ஸி குறைக்கடத்தி போன்ற குறைக்கடத்தி தொழில்களில் நாங்கள் கவனம் செலுத்துகிறோம். எங்கள் தயாரிப்புகளுக்கு நல்ல விலை நன்மை உள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு