வேஃபர் வெற்றிட சக்ஸ்

செதில் கையாளுதல் மற்றும் இருப்பிடத்தின் துல்லியம் லித்தோகிராஃபியின் உற்பத்தி விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் குறைக்கடத்தி துறையில் எவ்வளவு நன்றாக வேலை செய்கின்றன, மேலும் இந்த இரண்டு செயல்பாடுகளும் செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் வெற்றிட சக்ஸைப் பயன்படுத்தி நிறைவேற்றப்படுகின்றன, அவை அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (SiC) தயாரிக்கப்படுகின்றன. இந்த வெற்றிட சக்குகள் லித்தோகிராபி மற்றும் செதில் செயலாக்கம் போன்ற கடுமையான சூழல்களில், மிகத் துல்லியம் மற்றும் கட்டமைப்பு விறைப்பு மற்றும் நீண்ட ஆயுளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. வெற்றிட சக் ஒரு துல்லியமாக உருவாக்கப்பட்ட மைக்ரோப்ரோட்ரஷன் (பம்ப்) மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது உறிஞ்சுதல் மூலம் நிலையான வெற்றிடத்துடன் நிலையான செதில் ஆதரவை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

Semicorex Wafer Vacuum Chucks சிறந்த ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி அமைப்புகளுடன் இணக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் துல்லியமான செதில் இருப்பிடத்தின் உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது. செமிகோரெக்ஸ் தயாரிப்புகள் நிகான் மற்றும் கேனான் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும் நிலையான வெற்றிட சக் வடிவமைப்புகளை முழுமையாக மாற்றும் மற்றும் குறைக்கடத்திகள் உற்பத்தி உபகரணங்களில் நெகிழ்வுத்தன்மைக்கான வாடிக்கையாளர்-குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய குறிப்பாக வடிவமைக்கப்படலாம்.

பொருள்: சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு (அடர்த்தியான)

Wafer Vacuum Chucks உடல் இதிலிருந்து புனையப்பட்டதுசிண்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடுஇது மிக அதிக அடர்த்தியில் உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது மற்றும் செமிகண்டக்டர் சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படும் அனைத்து முறையான இயந்திர மற்றும் வெப்ப பண்புகளையும் கொண்டுள்ளது. அலுமினிய உலோகக்கலவைகள் மற்றும் மட்பாண்டங்கள் போன்ற மற்ற நிலையான வெற்றிட சக் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​அடர்த்தியான SiC கணிசமாக அதிக விறைப்பு மற்றும் பரிமாண நிலையான பண்புகளை வழங்குகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கத்தையும் கொண்டுள்ளது, இது லித்தோகிராஃபி செயல்முறைகளின் போது பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் கூட செதில் பொருத்துதல் நிலையானதாக இருப்பதை உறுதிசெய்யும். அதன் உள்ளார்ந்த கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை சக் நீண்ட கால மேற்பரப்பு துல்லியத்தை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது, பராமரிப்பு அதிர்வெண் மற்றும் செயல்பாட்டு செலவுகளை குறைக்கிறது.

நிலையான வேஃபர் கையாளுதலுக்கான மைக்ரோ-ப்ரோட்ரஷன் மேற்பரப்பு வடிவமைப்பு

சக் மேற்பரப்பு ஒரு சீரான மைக்ரோ-பம்ப் கட்டமைப்பை உள்ளடக்கியது, இது செதில் மற்றும் சக் மேற்பரப்புக்கு இடையிலான தொடர்பு பகுதியைக் குறைக்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு பல முக்கியமான நன்மைகளை வழங்குகிறது:

துகள் உருவாக்கம் மற்றும் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது

சீரான வெற்றிட விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது

செதில் ஒட்டுதல் மற்றும் கையாளும் சேதத்தை குறைக்கிறது

வெளிப்பாடு செயல்முறைகளின் போது செதில் சமதளத்தை மேம்படுத்துகிறது

இந்த துல்லியமான மேற்பரப்பு பொறியியல் நிலையான உறிஞ்சுதல் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செதில் பொருத்துதல் ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது, அவை உயர்-தெளிவு லித்தோகிராஃபிக்கு அவசியம்.

அல்ட்ரா-ஹை துல்லியம் மற்றும் மிரர் சர்ஃபேஸ் ஃபினிஷ்

செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் வெற்றிட சக்ஸ்கள் தீவிர பரிமாண துல்லியம் மற்றும் மேற்பரப்பு தரத்தை அடைய மேம்பட்ட எந்திர மற்றும் மெருகூட்டல் தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகின்றன.

முக்கிய துல்லியமான பண்புகள் பின்வருமாறு:

தட்டையானது: 0.3 - 0.5 μm

கண்ணாடி மெருகூட்டப்பட்ட மேற்பரப்பு

விதிவிலக்கான பரிமாண நிலைத்தன்மை

சிறந்த செதில் ஆதரவு சீரான தன்மை

கண்ணாடி-நிலை பூச்சு மேற்பரப்பு உராய்வு மற்றும் துகள் திரட்சியைக் குறைக்கிறது, இது சுத்தமான அறை குறைக்கடத்தி சூழல்களுக்கு சக்கை மிகவும் பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது.

இலகுரக மற்றும் அதிக உறுதியான அமைப்பு

அதன் விதிவிலக்கான விறைப்புத்தன்மை இருந்தபோதிலும், சின்டர்டு SiC பாரம்பரிய உலோக தீர்வுகளுடன் ஒப்பிடும்போது ஒப்பீட்டளவில் இலகுரக கட்டமைப்பை பராமரிக்கிறது. இது பல செயல்பாட்டு நன்மைகளை வழங்குகிறது:

வேகமான கருவி பதில் மற்றும் பொருத்துதல் துல்லியம்

இயக்க நிலைகளில் குறைக்கப்பட்ட இயந்திர சுமை

அதிவேக செதில் பரிமாற்றத்தின் போது மேம்படுத்தப்பட்ட கணினி நிலைத்தன்மை

அதிக விறைப்பு மற்றும் குறைந்த எடை ஆகியவற்றின் கலவையானது சக்கை நவீன உயர்-செயல்திறன் லித்தோகிராஃபி கருவிகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது.

சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை

சிலிக்கான் கார்பைடுகிடைக்கக்கூடிய கடினமான பொறியியல் பொருட்களில் ஒன்றாகும், இது சக்கிற்கு அதிக உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொடுக்கும். நீடித்த பயன்பாட்டிற்குப் பிறகும், மேற்பரப்பு அதன் தட்டையான தன்மையையும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டையும் பராமரிக்கிறது, நிலையான செதில் ஆதரவு மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

இந்த ஆயுள் சக்கின் சேவை வாழ்க்கையை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது, மாற்று அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது மற்றும் ஒட்டுமொத்த இயக்கச் செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

பெரிய லித்தோகிராஃபி உபகரணங்களுடன் இணக்கம்

செமிகோரெக்ஸ், முன்னணி செமிகண்டக்டர் உபகரண உற்பத்தியாளர்களால் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய போட்டோலித்தோகிராஃபி அமைப்புகளுடன் இணக்கமான நிலையான வெற்றிட சக்ஸை வழங்க முடியும். நிலையான மாடல்களுக்கு கூடுதலாக, நாங்கள் முழு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்புகளையும் ஆதரிக்கிறோம், அவற்றுள்:

தனிப்பயன் பரிமாணங்கள் மற்றும் செதில் அளவுகள்

சிறப்பு வெற்றிட சேனல் வடிவமைப்புகள்

குறிப்பிட்ட லித்தோகிராபி கருவி தளங்களுடன் ஒருங்கிணைப்பு

பொருத்தப்பட்ட மவுண்டிங் இடைமுகங்கள்

தற்போதுள்ள செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களுடன் துல்லியமான இணக்கத்தன்மையை உறுதிசெய்ய எங்கள் பொறியியல் குழு வாடிக்கையாளர்களுடன் நெருக்கமாக செயல்படுகிறது.

வேகமான டெலிவரி மற்றும் போட்டி செலவு நன்மை

இறக்குமதி செய்யப்பட்ட வெற்றிட சக்ஸுடன் ஒப்பிடுகையில், Semicorex தயாரிப்புகள் குறிப்பிடத்தக்க செயல்பாட்டு நன்மைகளை வழங்குகின்றன:

டெலிவரி நேரம்: 4-6 வாரங்கள்

இறக்குமதி செய்யப்பட்ட கூறுகளை விட கணிசமாக குறைவான முன்னணி நேரம்

விரைவான தொழில்நுட்ப ஆதரவு மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவை

வலுவான செலவு போட்டித்திறன்

உற்பத்தித் திறனைத் தொடர்ந்து மேம்படுத்துவதன் மூலம், செமிகோரெக்ஸ் உயர்-துல்லியமான SiC வெற்றிட சக்குகள் இப்போது இறக்குமதி செய்யப்பட்ட பொருட்களுக்கான நம்பகமான உள்நாட்டு மாற்றத்தை அடைய முடியும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு கொள்முதல் செலவுகளைக் குறைக்கும் போது விநியோகச் சங்கிலிகளைப் பாதுகாக்க உதவுகிறது.