SiC பூச்சு பான்கேக் சஸ்பெப்டர்

செமிகோரெக்ஸ்SiC பூச்சுPancake Susceptor என்பது உலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு MOCVD அமைப்புகளில் நிறுவப்படுவதற்கான அடுத்த தலைமுறை பகுதியாகும். இந்த அமைப்புகள் பொறிமுறையின் ஒரு முக்கிய பகுதியை உருவாக்குகின்றன, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் பல்வேறு வகையான அடி மூலக்கூறுகளில் வைக்கப்படுகின்றன. இங்கு காட்டப்பட்டுள்ள சிறப்பு சசெப்டர், முக்கியமாக LEDகள், உயர்-சக்தி சாதனங்கள் மற்றும் RF சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கு, குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு மட்டுமே. இந்த பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படும் அடி மூலக்கூறுகளுக்கு, சபையர் அல்லது கடத்தும் மற்றும் அரை-இன்சுலேடிங் SiC போன்ற பொருட்களில் உருவாக்கக்கூடிய ஒரு எபிடாக்சியல் அடுக்கு தேவைப்படுகிறது. இந்த SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்பெப்டர் MOCVD உலைகளில் திறமையான, நம்பகமான மற்றும் துல்லியமான படிவுகளுடன் சிறந்த செயல்திறனை அளிக்கிறது.

இது செமிகண்டக்டர் துறையில் சிறந்த பொருள் பண்புகள், திடமான கட்டுமானம் மற்றும் குறிப்பிட்ட MOCVD செயல்முறைகளுக்கு தனிப்பயனாக்கும் திறன் ஆகியவற்றிற்காக புகழ்பெற்றது. உயர்தர எபிடாக்சியல் லேயர்களுக்கான தேவை ஆற்றல் மற்றும் RF பயன்பாடுகளில் அதிகரித்து வருவதால், செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது, சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்கும் ஒரு சிறந்த தயாரிப்புக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. இந்த சசெப்டர் செமிகண்டக்டர் செதில்களுக்கான ஒரு தளமாகும் மற்றும் செமிகண்டக்டர்களில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை டெபாசிட் செய்யும் செயல்பாட்டின் போது பொருந்தும். LEDகள், HEMTகள் மற்றும் SBDகள் மற்றும் MOSFETகள் போன்ற சக்தி குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உள்ளடக்கிய சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு அடுக்குகள் பயன்படுத்தப்படலாம். இத்தகைய சாதனங்கள் நவீன தகவல்தொடர்புகள், உயர்-பவர் எலக்ட்ரானிக் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பயன்பாடுகளுக்கு முக்கியமானவை.

அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்

1. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகம்

SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்பெப்டரின் முக்கிய அம்சங்களில் ஒன்று அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகும். MOCVD செயல்பாட்டின் போது பொருள் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி செதில்களில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் சீரான வளர்ச்சிக்கு முக்கியமானது. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், செதில் அடி மூலக்கூறு சமமாக வெப்பமடைவதை உறுதி செய்கிறது, வெப்பநிலை சாய்வுகளை குறைக்கிறது மற்றும் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அடுக்குகளின் தரத்தை அதிகரிக்கிறது. இது மேம்பட்ட சீரான தன்மை, சிறந்த பொருள் பண்புகள் மற்றும் ஒட்டுமொத்த அதிக மகசூலை ஏற்படுத்துகிறது.

2. SiC பூச்சுமேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள்

SiC பூச்சு MOCVD செயல்முறையின் போது கிராஃபைட் சஸ்செப்டரின் தேய்மானம் மற்றும் சிதைவுக்கு வலுவான தீர்வை வழங்குகிறது. படிவு செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் உலோக-கரிம முன்னோடிகளிலிருந்து அரிப்புக்கு பூச்சு அதிக எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது சஸ்செப்டரின் ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது. மேலும், SiC அடுக்கு கிராஃபைட் தூசி செதில்களை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்கிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்வதில் முக்கியமான காரணியாகும்.

பூச்சு சஸ்செப்டரின் ஒட்டுமொத்த இயந்திர வலிமையையும் மேம்படுத்துகிறது, இது அதிக வெப்பநிலை, வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் மற்றும் MOCVD செயல்பாட்டில் பொதுவாக இருக்கும் இயந்திர அழுத்தங்களுக்கு அதிக எதிர்ப்புத் தன்மையை அளிக்கிறது. இது நீண்ட செயல்பாட்டு வாழ்க்கை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு செலவுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது.

3. உயர் உருகுநிலை மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு

SiC பூச்சு பான்கேக் சஸ்பெப்டர் தீவிர வெப்பநிலையில் செயல்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பை எதிர்ப்பதை உறுதி செய்கிறது. பூச்சுகளின் உயர் உருகும் புள்ளியானது MOCVD உலைகளில் உள்ள உயர் வெப்பநிலையை அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை சிதைக்காமல் அல்லது இழக்காமல் தாங்கிக்கொள்ள அனுமதிக்கிறது. உயர் செயல்திறன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களில் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதில் இந்த சொத்து மிகவும் முக்கியமானது.

4. சிறந்த மேற்பரப்பு தட்டையானது

SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்செப்டரின் மேற்பரப்பு தட்டையானது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது செதில்களின் சரியான நிலைப்படுத்தல் மற்றும் சீரான வெப்பமாக்கலுக்கு முக்கியமானது. பூச்சு ஒரு மென்மையான, தட்டையான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, இது செதில் சமமாக வைக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, படிவு செயல்பாட்டில் எந்த முரண்பாடுகளையும் தவிர்க்கிறது. எல்.ஈ.டி மற்றும் பவர் செமிகண்டக்டர்கள் போன்ற உயர்-துல்லியமான சாதனங்களின் வளர்ச்சியில் இந்த உயர் நிலை சமதளம் மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு சாதன செயல்திறனுக்கு சீரான தன்மை அவசியம்.

5. உயர் பிணைப்பு வலிமை மற்றும் வெப்ப இணக்கத்தன்மை

SiC பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான பிணைப்பு வலிமை பொருளின் வெப்ப இணக்கத்தன்மையால் மேம்படுத்தப்படுகிறது. SiC அடுக்கு மற்றும் கிராஃபைட் தளம் ஆகிய இரண்டின் வெப்ப விரிவாக்க குணகங்களும் நெருக்கமாகப் பொருந்துகின்றன, இது வெப்பநிலை சுழற்சியின் கீழ் விரிசல் அல்லது சிதைவு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. MOCVD செயல்பாட்டில் மீண்டும் மீண்டும் வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது சஸ்செப்டரின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்க இந்தப் பண்பு அவசியம்.

6. பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு தனிப்பயனாக்கக்கூடியது

செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் பல்வேறு தேவைகளைப் புரிந்துகொள்கிறது, மேலும் குறிப்பிட்ட செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்செப்டரைத் தனிப்பயனாக்கலாம். எல்.ஈ.டி உற்பத்தி, பவர் டிவைஸ் ஃபேப்ரிகேஷன் அல்லது ஆர்எஃப் பாகங்கள் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தினாலும், வெவ்வேறு செதில் அளவுகள், வடிவங்கள் மற்றும் வெப்பத் தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு சசெப்டரை வடிவமைக்க முடியும். இந்த நெகிழ்வுத்தன்மையானது SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்பெப்டர் செமிகண்டக்டர் துறையில் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது என்பதை உறுதி செய்கிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் விண்ணப்பம்

SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்பெப்டர் முதன்மையாக MOCVD அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கான முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும். எல்இடிகள், சக்தி குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் RF சாதனங்கள் போன்ற சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு பயன்படுத்தப்படும் சபையர், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் GaN உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளை சஸ்செப்டர் ஆதரிக்கிறது. SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்செப்டரின் உயர்ந்த வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் நீடித்து நிலைப்பு இந்த சாதனங்கள் நவீன எலக்ட்ரானிக்ஸ் தேவைப்படும் செயல்திறன் தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் தயாரிக்கப்படுகின்றன.

எல்இடி உற்பத்தியில், SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்செப்டர் சபையர் அடி மூலக்கூறுகளில் GaN அடுக்குகளை வளர்க்கப் பயன்படுகிறது, அங்கு அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் எபிடாக்சியல் அடுக்கு சீரானதாகவும் குறைபாடுகள் இல்லாததாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. MOSFET கள் மற்றும் SBDகள் போன்ற சக்தி சாதனங்களுக்கு, அதிக மின்னோட்டங்கள் மற்றும் மின்னழுத்தங்களைக் கையாளுவதற்கு அவசியமான SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியில் சசெப்டர் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இதேபோல், RF சாதனத் தயாரிப்பில், SiC கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்செப்டர், Semi-Insulating SiC அடி மூலக்கூறுகளில் GaN அடுக்குகளின் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது, இது தகவல் தொடர்பு அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும் HEMTகளை உருவாக்க உதவுகிறது.

உங்கள் SiC Coating Pancake Susceptor தேவைகளுக்கு Semicorex ஐத் தேர்ந்தெடுப்பது, தரம், செயல்திறன் மற்றும் நீடித்துழைப்பு ஆகியவற்றுக்கான தொழில் தரநிலைகளை மட்டும் பூர்த்தி செய்யாமல், அதை மீறும் தயாரிப்பைப் பெறுவதை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமான பொறியியல், சிறந்த பொருள் தேர்வு மற்றும் தனிப்பயனாக்குதல் ஆகியவற்றில் கவனம் செலுத்துவதன் மூலம், செமிகோரெக்ஸின் தயாரிப்புகள் MOCVD அமைப்புகளில் உகந்த செயல்திறனை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. உயர்தர எபிடாக்சியல் லேயர்களை உறுதிசெய்து, வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைத்து, உங்கள் உற்பத்திச் செயல்முறையை சீரமைக்க எங்கள் சஸ்பெக்டர் உதவுகிறது. செமிகோரெக்ஸ் மூலம், செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் உங்கள் வெற்றிக்கு உறுதியான நம்பகமான கூட்டாளரைப் பெறுவீர்கள்.