தொழில்முறை தயாரிப்பாளராக, நாங்கள் உங்களுக்கு செமிகண்டக்டர் கூறுகளை வழங்க விரும்புகிறோம். செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்த உங்கள் பங்குதாரர். எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அடர்த்தியான, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை குறைக்கடத்தி செதில் மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு உட்பட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு சுழற்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கூறுகள் குறைக்கடத்தியில் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான உயர் துல்லியமான கிராஃபைட் பாகங்கள், படிக வளரும் வெப்ப மண்டலங்களுக்கான கிராஃபைட் நுகர்வுப் பொருட்கள் (ஹீட்டர்கள், க்ரூசிபிள் சஸ்செப்டர்கள், இன்சுலேஷன்) வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன.
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான நன்மைகள்
எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய படல படிவு நிலைகள் அல்லது செதில் அல்லது அயன் உள்வைப்பு போன்ற செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கட்டுமானம் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும் வழங்குகிறது.
அறை மூடிகள் →
படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் அறை மூடிகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.
முடிவு விளைவு →
எண்ட் எஃபெக்டர் என்பது ரோபோவின் கை ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களை செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் கேரியர்களின் நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்த்துகிறது.
நுழைவாயில் வளையங்கள் →
எம்ஓசிவிடி கருவி மூலம் SiC பூசப்பட்ட வாயு நுழைவாயில் வளையம் கலவை வளர்ச்சி அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
ஃபோகஸ் ரிங் →
செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது.
வேஃபர் சக் →
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் செராமிக் வெற்றிட வேஃபர் சக்ஸ் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும்.
செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் எட்ஜ் அரைக்கும் சக் என்பது உயர் தூய்மை வெள்ளை அலுமினாவிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட ஒரு பீங்கான் வட்டு ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில் விளிம்பு அரைப்பதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது சிறந்த பொருள் தரம், துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை மிகவும் தேவைப்படும் செதில் செயலாக்க சூழல்களை ஆதரிக்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் போரஸ் அலுமினா சக்ஸ் 35-40% போரோசிட்டியுடன் மைக்ரோபோரஸ் பிளாக் அலுமினா வெற்றிட பொருத்துதலாகும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சீரான உறிஞ்சுதல் மற்றும் பாதுகாப்பான செதில் கையாளுதலை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது நம்பகமான பீங்கான் பொறியியல், உயர்ந்த பொருள் தரம் மற்றும் விளைச்சல் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதுகாக்கும் நிலையான செயல்திறன் என்று பொருள்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் AL2O3 வெற்றிட சக்ஸ் என்பது கருப்பு அலுமினாவிலிருந்து 35-40%போரோசிட்டியுடன் தயாரிக்கப்பட்ட மைக்ரோபோரஸ் பீங்கான் உறிஞ்சுதல் பொருத்தமாகும், இது குறிப்பாக குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் செதில் கையாளுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது மேம்பட்ட பீங்கான் தொழில்நுட்பம், துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் நம்பகமான தயாரிப்பு தரம் ஆகியவற்றிலிருந்து பயனடைவதாகும், இது தூய்மையான அறை சூழல்களைக் கோருவதில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் அலுமினா பீங்கான் கை என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துல்லியமான மற்றும் மாசு இல்லாத செதில் கையாளுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் தூய்மை ரோபோ கூறாகும். செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது மேம்பட்ட அலுமினா பீங்கான் பொருள் தரத்தை மட்டுமல்லாமல், சிக்கலான செயல்முறை சூழல்களில் ஆயுள், தூய்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கும் துல்லியமான கைவினைத்திறனையும் உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி இன்லெட் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி செயலாக்க சாதனங்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகள், விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் துல்லியமான எந்திரத்தை வழங்குகின்றன. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது முன்னணி குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களால் நம்பகமான நம்பகமான, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மற்றும் மாசு இல்லாத தீர்வுகளுக்கான அணுகலைப் பெறுவதாகும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி ஆர்ம் என்பது உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு கூறு ஆகும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துல்லியமான செதில் கையாளுதல் மற்றும் நிலைப்படுத்தலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது ஒப்பிடமுடியாத பொருள் நம்பகத்தன்மை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் துல்லியமான பொறியியல் ஆகியவற்றை மிகவும் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளை ஆதரிக்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு