தொழில்முறை தயாரிப்பாளராக, நாங்கள் உங்களுக்கு செமிகண்டக்டர் கூறுகளை வழங்க விரும்புகிறோம். செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்த உங்கள் பங்குதாரர். எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அடர்த்தியான, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை குறைக்கடத்தி செதில் மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு உட்பட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு சுழற்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கூறுகள் குறைக்கடத்தியில் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான உயர் துல்லியமான கிராஃபைட் பாகங்கள், படிக வளரும் வெப்ப மண்டலங்களுக்கான கிராஃபைட் நுகர்வுப் பொருட்கள் (ஹீட்டர்கள், க்ரூசிபிள் சஸ்செப்டர்கள், இன்சுலேஷன்) வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன.
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான நன்மைகள்
எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய படல படிவு நிலைகள் அல்லது செதில் அல்லது அயன் உள்வைப்பு போன்ற செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கட்டுமானம் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும் வழங்குகிறது.
அறை மூடிகள் →
படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் அறை மூடிகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.
முடிவு விளைவு →
எண்ட் எஃபெக்டர் என்பது ரோபோவின் கை ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களை செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் கேரியர்களின் நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்த்துகிறது.
நுழைவாயில் வளையங்கள் →
எம்ஓசிவிடி கருவி மூலம் SiC பூசப்பட்ட வாயு நுழைவாயில் வளையம் கலவை வளர்ச்சி அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
ஃபோகஸ் ரிங் →
செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது.
வேஃபர் சக் →
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் செராமிக் வெற்றிட வேஃபர் சக்ஸ் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும்.
செமிகோரெக்ஸ் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகள் செதில் பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது மின்முனைகள் மற்றும் பொறித்தல் வாயு பாதைகள் ஆகிய இரண்டாகவும் செயல்படுகின்றன. செமிகோரெக்ஸ் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகள் என்பது இன்றியமையாத சிலிக்கான் கூறுகளாகும், அவை உயர்நிலை குறைக்கடத்தி எட்ச் உற்பத்திக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இது செதுக்கலின் துல்லியம் மற்றும் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த உதவும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் கான்டிலீவர் துடுப்புகள் உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் உயர்-தூய்மை செமிகண்டக்டர் செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட துல்லிய-பொறியியல் கூறு ஆகும். செமிகோரெக்ஸ் மேம்பட்ட செதில் கையாளுதல் மற்றும் வெப்ப மேலாண்மை அமைப்புகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உயர்தர கான்டிலீவர் துடுப்புகளை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் பொறித்தல் வளையங்கள் உயர் தூய்மையான ஒற்றை படிக சிலிக்கானில் இருந்து தயாரிக்கப்படும் துல்லியமான வளைய வடிவ பொறித்தல் கூறுகளாகும். அவை பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் இன்றியமையாத சிலிக்கான் பாகங்கள், உகந்த பிளாஸ்மா பொறித்தல் நிலைமைகளை உருவாக்குவதற்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்து, உயர்தர சிலிக்கான் எச்சிங் மோதிரங்களைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புLPCVDக்கான செமிகோரெக்ஸ் உலை குழாய்கள் சீரான மற்றும் அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சுடன் துல்லியமாக தயாரிக்கப்பட்ட குழாய் கூறுகளாகும். மேம்பட்ட குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறைக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட, LPCVDக்கான செமிகோரெக்ஸ் உலை குழாய்கள், செதில் மெல்லிய-பட படிவுகளின் தரம் மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்த பொருத்தமான உயர்-வெப்பநிலை, குறைந்த அழுத்த எதிர்வினை சூழல்களை வழங்க முடியும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் CVD SiC- பூசப்பட்ட உலை குழாய்கள் என்பது உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்காக குறிப்பாக உற்பத்தி செய்யப்படும் உயர்நிலை குழாய் கூறுகளாகும், அதாவது ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் அனீலிங். மேம்பட்ட செயலாக்க தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் முதிர்ந்த உற்பத்தி அனுபவத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலம், செமிகோரெக்ஸ் எங்கள் மதிப்புமிக்க வாடிக்கையாளர்களுக்கு சந்தை-முன்னணி தரத்துடன் துல்லிய-எந்திர CVD SiC- பூசப்பட்ட உலை குழாய்களை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC செயல்முறை குழாய்கள் CVD SiC பூச்சுடன் உயர் தூய்மையான SiC பீங்கான் மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது செமிகண்டக்டரில் கிடைமட்ட உலைக்கு ஏற்றது. தயாரிப்பு தரம் மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவை ஆகியவற்றைக் கருத்தில் கொண்டு, Semicorex ஆனது எங்களின் உலகளாவிய வாடிக்கையாளர்களுடன் உயர்தர வணிகத்தைச் செய்ய விரும்புகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு