தொழில்முறை தயாரிப்பாளராக, நாங்கள் உங்களுக்கு செமிகண்டக்டர் கூறுகளை வழங்க விரும்புகிறோம். செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்த உங்கள் பங்குதாரர். எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அடர்த்தியான, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை குறைக்கடத்தி செதில் மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு உட்பட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு சுழற்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கூறுகள் குறைக்கடத்தியில் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான உயர் துல்லியமான கிராஃபைட் பாகங்கள், படிக வளரும் வெப்ப மண்டலங்களுக்கான கிராஃபைட் நுகர்வுப் பொருட்கள் (ஹீட்டர்கள், க்ரூசிபிள் சஸ்செப்டர்கள், இன்சுலேஷன்) வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன.
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான நன்மைகள்
எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய படல படிவு நிலைகள் அல்லது செதில் அல்லது அயன் உள்வைப்பு போன்ற செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கட்டுமானம் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும் வழங்குகிறது.
அறை மூடிகள் →
படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் அறை மூடிகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.
முடிவு விளைவு →
எண்ட் எஃபெக்டர் என்பது ரோபோவின் கை ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களை செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் கேரியர்களின் நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்த்துகிறது.
நுழைவாயில் வளையங்கள் →
எம்ஓசிவிடி கருவி மூலம் SiC பூசப்பட்ட வாயு நுழைவாயில் வளையம் கலவை வளர்ச்சி அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
ஃபோகஸ் ரிங் →
செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது.
வேஃபர் சக் →
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் செராமிக் வெற்றிட வேஃபர் சக்ஸ் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும்.
Semicorex SiC செயல்முறை குழாய்கள் CVD SiC பூச்சுடன் உயர் தூய்மையான SiC பீங்கான் மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது செமிகண்டக்டரில் கிடைமட்ட உலைக்கு ஏற்றது. தயாரிப்பு தரம் மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவை ஆகியவற்றைக் கருத்தில் கொண்டு, Semicorex ஆனது எங்களின் உலகளாவிய வாடிக்கையாளர்களுடன் உயர்தர வணிகத்தைச் செய்ய விரும்புகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு, செமிகண்டக்டரில் உள்ள கிடைமட்ட உலைகளில் உள்ள கட்டமைப்புப் பகுதியாக இருக்கும் உயர் தூய்மையான சின்டர்டு SiC செராமிக் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. Semicorex செமிகண்டக்டர் துறையில் SiC கூறுகளை வழங்க அனுபவம் வாய்ந்த நிறுவனம்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸில் இருந்து மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் பிளானர் இலக்கு அதிநவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். உயர்தர மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் பொருட்களால் தயாரிக்கப்பட்டது, இது மிகவும் வரிசைப்படுத்தப்பட்ட படிக அமைப்பு மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க தூய்மையைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் நம்பகமான, உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி படங்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் பிலிம்களை தயாரிப்பதற்கு சிறந்த தீர்வாக அமைகின்றன.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கேசட் படகுகள் 99.9999999% உயர்-தூய்மை மோனோகிரிஸ்டலின் மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானால் தயாரிக்கப்படும் சிறப்பு கேரியர்கள் ஆகும், குறிப்பாக உயர் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் கவனம் செலுத்துகிறது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது நம்பகமான தரம், தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள் மற்றும் அதிகரித்த உற்பத்தித்திறன் ஆகியவற்றிலிருந்து நீங்கள் பயனடைவீர்கள்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புதனிப்பயனாக்கப்பட்ட நுண்துளை செராமிக் சக் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறந்த பணிப்பகுதி கிளாம்பிங் மற்றும் ஃபிக்சிங் தீர்வாகும். செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது நம்பகமான தரம், தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள் மற்றும் அதிகரித்த உற்பத்தித்திறன் ஆகியவற்றிலிருந்து நீங்கள் பயனடைவீர்கள்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட், கேஸ் ஸ்ப்ரே ஹெட் அல்லது கேஸ் டிஸ்ட்ரிபியூஷன் பிளேட் என அழைக்கப்படுகிறது செமிகண்டக்டர் துறையில் சிப் உற்பத்தியின் துல்லியம் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்த உயர்தர மற்றும் செலவு குறைந்த ஒற்றை படிக சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட் அவசியம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு