வேஃபர் கேரியர்

· சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை எளிதாக்குகிறது, குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் போது அவசியம்.

· உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு தீவிர வெப்பச் சூழல்களைத் தாங்கி, அணு உலையில் வெப்ப சுழற்சி முழுவதும் கேரியர் அதன் செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது.

· இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு கேரியரின் எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது மற்றும் எபிடாக்சியின் போது அடிக்கடி எதிர்கொள்ளும் எதிர்வினை வாயுக்களின் அரிப்பு.

பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை: SiC மற்றும் கிராஃபைட் ஆகியவற்றின் கலவையானது, கேரியர் அதன் வடிவத்தையும் துல்லியத்தையும் காலப்போக்கில் தக்கவைத்துக்கொள்வதை உறுதிசெய்கிறது, நீண்ட செயல்பாட்டின் போது சிதைவு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி வளர்ச்சியில் பயன்பாடுகள்

எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு செமிகண்டக்டர் பொருளின் ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஒரு அடி மூலக்கூறில், பொதுவாக ஒரு செதில், படிக லட்டு அமைப்பை உருவாக்குவதற்காக வைக்கப்படும் ஒரு செயல்முறையாகும். இந்த செயல்முறையின் போது, ​​துல்லியமான செதில் கையாளுதல் மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் செதில் பொருத்துதலில் சிறிய விலகல்கள் கூட அடுக்கு கட்டமைப்பில் குறைபாடுகள் அல்லது மாறுபாடுகளை ஏற்படுத்தும்.

இந்தச் செயல்பாட்டின் போது குறைக்கடத்தி செதில்கள் பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கப்படுவதையும் சரியாக நிலைநிறுத்தப்படுவதையும் உறுதி செய்வதில் வேஃபர் கேரியர் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டின் கலவையானது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்ஸிக்கு தேவையான செயல்திறன் பண்புகளை வழங்குகிறது, இது பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் பிற மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த உயர்-தூய்மை SiC படிகங்களை உள்ளடக்கியது.

குறிப்பாக, வேஃபர் கேரியர்:

· துல்லியமான செதில் சீரமைப்பை வழங்குகிறது: செதில் முழுவதும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் வளர்ச்சியில் சீரான தன்மையை உறுதி செய்தல், இது சாதனத்தின் மகசூல் மற்றும் செயல்திறனுக்கு முக்கியமானது.

· வெப்பச் சுழற்சிகளைத் தாங்கும்: SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் 2000°C வரையிலான உயர்-வெப்பச் சூழலில் கூட நிலையானதாகவும் நம்பகமானதாகவும் இருக்கும், செயல்முறை முழுவதும் சீரான செதில் கையாளுதலை உறுதி செய்கிறது.

· செதில் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது: கேரியரின் உயர்-தூய்மை பொருள் கலவையானது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது தேவையற்ற அசுத்தங்களுக்கு செதில் வெளிப்படாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி உலைகளில், வேஃபர் கேரியர் உலை அறைக்குள் வைக்கப்படுகிறது, அங்கு அது செதில்களுக்கான ஆதரவு தளமாக செயல்படுகிறது. கேரியர் செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டை சமரசம் செய்யாமல் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு செதில்களை வெளிப்படுத்த அனுமதிக்கிறது. SiC பூச்சு வாயுக்களுடன் இரசாயன தொடர்புகளைத் தடுக்கிறது, உயர்தர, குறைபாடு இல்லாத பொருட்களின் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.

SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியரின் நன்மைகள்

1. மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள்: SiC பூச்சு கிராஃபைட் பொருளின் உடைகள் எதிர்ப்பை அதிகரிக்கிறது, பல பயன்பாடுகளில் சிதைவு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

2. உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலைகளில் பொதுவான தீவிர வெப்பநிலையை வேஃபர் கேரியர் பொறுத்துக்கொள்ள முடியும், சிதைவு அல்லது விரிசல் இல்லாமல் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.

3. மேம்படுத்தப்பட்ட மகசூல் மற்றும் செயல்முறை திறன்: செதில்கள் பாதுகாப்பாகவும் சீராகவும் கையாளப்படுவதை உறுதி செய்வதன் மூலம், SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்த உதவுகிறது.

4. தனிப்பயனாக்க விருப்பங்கள்: பல்வேறு எபிடாக்சியல் ரியாக்டர்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் கேரியரை அளவு மற்றும் உள்ளமைவின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கலாம், இது பரந்த அளவிலான குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்குகிறது.

செமிகோரெக்ஸ்SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்செமிகண்டக்டர் துறையில் வேஃபர் கேரியர் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது செதில் கையாளுதலுக்கான உகந்த தீர்வை வழங்குகிறது. வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றின் கலவையுடன், இது குறைக்கடத்தி செதில்களின் துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான கையாளுதலை உறுதிசெய்கிறது, இது உயர்தர முடிவுகளுக்கு வழிவகுக்கும் மற்றும் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் மேம்பட்ட விளைச்சலுக்கு வழிவகுக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி அல்லது பிற மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகள் எதுவாக இருந்தாலும், இந்த வேஃபர் கேரியர் நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் துல்லியமான தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்ய தேவையான ஆயுள் மற்றும் செயல்திறனை வழங்குகிறது.