TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கலவை ஆகும். இது உலோக மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான உயர் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்பம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பிற்கு அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடுகளின் உருகுநிலையானது தூய்மையைப் பொறுத்து சுமார் 3880°C இல் உச்சத்தை அடைகிறது மற்றும் பைனரி சேர்மங்களிலேயே அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD மற்றும் LPE போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்திறன் திறன்களை விட அதிக வெப்பநிலை தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும்போது இது ஒரு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது.
Semicorex TaC பூச்சு பொருள் தரவு
|
திட்டங்கள் |
அளவுருக்கள் |
|
அடர்த்தி |
14.3 (gm/cm³) |
|
உமிழ்வு |
0.3 |
|
CTE (×10-6/கே) |
6.3 |
|
கடினத்தன்மை (HK) |
2000 |
|
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.) |
1×10-5 |
|
வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500℃ |
|
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம் |
-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு) |
|
பூச்சு தடிமன் |
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
|
|
|
|
மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள் |
|
செமிகோரெக்ஸ் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு ரிங்க்ஸ் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிக வளர்ச்சியின் இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-செயல்திறன் பயனற்ற கூறுகள் ஆகும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex TaC-coated graphite wafer susceptors என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை நிலையாக ஆதரிக்கவும் நிலைநிறுத்தவும் பயன்படுத்தப்படும் அதிநவீன கூறுகள் ஆகும். அதிநவீன உற்பத்தி தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் முதிர்ந்த உற்பத்தி அனுபவத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலம், செமிகோரெக்ஸ் தனிப்பயன்-பொறிக்கப்பட்ட TaC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்களை எங்கள் மதிப்புமிக்க வாடிக்கையாளர்களுக்கு சந்தையில் முன்னணி தரத்துடன் வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex CVD TaC கோடட் சஸ்செப்டர்கள் அதிக செயல்திறன் கொண்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள், அடர்த்தியான TaC பூச்சுடன், சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளை கோருவதற்கு அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸ் மேம்பட்ட CVD பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை கடுமையான தரக் கட்டுப்பாட்டுடன் ஒருங்கிணைத்து, உலகளாவிய SiC எபி உற்பத்தியாளர்களால் நம்பப்படும் நீண்ட கால, குறைந்த-மாசுபடுத்தும் சஸ்செப்டர்களை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்கள் குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட வளையக் கூறுகளாகும். அவை குறிப்பாக படிக வளர்ச்சியின் போது பொருத்தமான வெப்பநிலை சாய்வு மற்றும் நிலையான காற்றோட்ட சூழலை உருவாக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையங்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், இணையற்ற பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் மிகவும் திறமையான மற்றும் நிலையான உற்பத்தி அனுபவத்திலிருந்து நீங்கள் பயனடைவீர்கள்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் TaC கோடட் கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் CVD முறையின் மூலம் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் மிகவும் பொருத்தமான பொருளாகும். செமிகோரெக்ஸ் என்பது CVD செராமிக் கோட்டிங்கில் தொடர்ந்து நிபுணத்துவம் பெற்ற ஒரு நிறுவனமாகும், மேலும் செமிகண்டக்டர் துறையில் சிறந்த பொருள் தீர்வுகளை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புஎபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் உள்ள செமிகோரெக்ஸ் TaC பூசப்பட்ட கூறுகள் என்பது செமிகண்டக்டரில் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் காற்று உட்கொள்ளலில் அமைந்துள்ள ஒரு விலைமதிப்பற்ற இயந்திரப் பகுதியாகும். Semicorex என்பது சீனாவில் CVD TaC பூச்சு தொழில்நுட்பத்தில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ஒரு சிறந்த நிறுவனமாகும், மேலும் தயாரிப்புகளை உலகளவில் ஏற்றுமதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு