TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கலவை ஆகும். இது உலோக மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான உயர் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்பம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பிற்கு அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடுகளின் உருகுநிலையானது தூய்மையைப் பொறுத்து சுமார் 3880°C இல் உச்சத்தை அடைகிறது மற்றும் பைனரி சேர்மங்களிலேயே அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD மற்றும் LPE போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்திறன் திறன்களை விட அதிக வெப்பநிலை தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும்போது இது ஒரு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது.
Semicorex TaC பூச்சு பொருள் தரவு
திட்டங்கள் |
அளவுருக்கள் |
அடர்த்தி |
14.3 (gm/cm³) |
உமிழ்வு |
0.3 |
CTE (×10-6/கே) |
6.3 |
கடினத்தன்மை (HK) |
2000 |
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.) |
1×10-5 |
வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500℃ |
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம் |
-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு) |
பூச்சு தடிமன் |
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
|
|
மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள் |
|
சி.வி.டி டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கொண்ட செமிகோரெக்ஸ் வழிகாட்டி வளையம் எஸ்.ஐ.சி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி உலைகளுக்கு மிகவும் நம்பகமான மற்றும் மேம்பட்ட அங்கமாகும். அதன் உயர்ந்த பொருள் பண்புகள், ஆயுள் மற்றும் துல்லிய-பொறியியல் வடிவமைப்பு ஆகியவை படிக வளர்ச்சி செயல்முறையின் முக்கிய பகுதியாக அமைகின்றன. எங்கள் உயர்தர வழிகாட்டி வளையத்தைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் மேம்பட்ட செயல்முறை நிலைத்தன்மை, அதிக மகசூல் விகிதங்கள் மற்றும் சிறந்த SIC படிக தரத்தை அடைய முடியும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் சி.வி.டி பூச்சு வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது ஒரு டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் கூடிய உயர் செயல்திறன் கொண்ட கூறு ஆகும், இது குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் துல்லியம் மற்றும் ஆயுள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உங்கள் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்தும் மற்றும் ஒவ்வொரு பயன்பாட்டிலும் சிறந்த தரத்தை உறுதி செய்யும் நம்பகமான, மேம்பட்ட தீர்வுகளுக்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் டாக் பூச்சு அரை நிலவு பகுதி என்பது எல்பிஇ எபிடாக்ஸி உலைகளுக்குள் எஸ்ஐசி எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட கூறு ஆகும். இணையற்ற தரம், துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி சிறப்பை முன்னேற்றுவதற்கான அர்ப்பணிப்பு ஆகியவற்றிற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புஎல்பிஇக்கான செமிகோரெக்ஸ் ஹாஃப்மூன் பார்ட் என்பது எல்பிஇ உலைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆகும், இது SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. செமிகோரெக்ஸை அதன் உயர்தர, நீடித்த உதிரிபாகங்களுக்காக தேர்வு செய்யவும்
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex TaC பிளேட் என்பது SiC எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன், TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆகும். உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை மேம்படுத்தும் நம்பகமான, உயர்தர பொருட்களை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவத்திற்காக Semicorex ஐ தேர்வு செய்யவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex TaC கோடட் கிராஃபைட் பகுதி என்பது SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும், இது வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை மேம்படுத்தும் நீடித்த டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கொண்டது. செமிகோரெக்ஸை எங்களின் புதுமையான தீர்வுகள், சிறந்த தயாரிப்பு தரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் கோரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட நம்பகமான, நீண்ட கால உதிரிபாகங்களை வழங்குவதில் நிபுணத்துவம் பெறவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு