TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கலவை ஆகும். இது உலோக மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான உயர் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்பம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பிற்கு அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடுகளின் உருகுநிலையானது தூய்மையைப் பொறுத்து சுமார் 3880°C இல் உச்சத்தை அடைகிறது மற்றும் பைனரி சேர்மங்களிலேயே அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD மற்றும் LPE போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்திறன் திறன்களை விட அதிக வெப்பநிலை தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும்போது இது ஒரு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது.
Semicorex TaC பூச்சு பொருள் தரவு
|
திட்டங்கள் |
அளவுருக்கள் |
|
அடர்த்தி |
14.3 (gm/cm³) |
|
உமிழ்வு |
0.3 |
|
CTE (×10-6/கே) |
6.3 |
|
கடினத்தன்மை (HK) |
2000 |
|
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.) |
1×10-5 |
|
வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500℃ |
|
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம் |
-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு) |
|
பூச்சு தடிமன் |
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
|
|
|
|
மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள் |
|