TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கலவை ஆகும். இது உலோக மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான உயர் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்பம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பிற்கு அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடுகளின் உருகுநிலையானது தூய்மையைப் பொறுத்து சுமார் 3880°C இல் உச்சத்தை அடைகிறது மற்றும் பைனரி சேர்மங்களிலேயே அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD மற்றும் LPE போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்திறன் திறன்களை விட அதிக வெப்பநிலை தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும்போது இது ஒரு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது.
Semicorex TaC பூச்சு பொருள் தரவு
|
திட்டங்கள் |
அளவுருக்கள் |
|
அடர்த்தி |
14.3 (gm/cm³) |
|
உமிழ்வு |
0.3 |
|
CTE (×10-6/கே) |
6.3 |
|
கடினத்தன்மை (HK) |
2000 |
|
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.) |
1×10-5 |
|
வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500℃ |
|
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம் |
-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு) |
|
பூச்சு தடிமன் |
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
|
|
|
|
மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள் |
|
எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் உள்ள செமிகோரெக்ஸ் TaC பூசப்பட்ட கூறுகள் என்பது செமிகண்டக்டரில் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் காற்று உட்கொள்ளலில் அமைந்துள்ள ஒரு விலைமதிப்பற்ற இயந்திரப் பகுதியாகும். Semicorex என்பது சீனாவில் CVD TaC பூச்சு தொழில்நுட்பத்தில் நிபுணத்துவம் பெற்ற ஒரு சிறந்த நிறுவனமாகும், மேலும் தயாரிப்புகளை உலகளவில் ஏற்றுமதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புTaC பூசப்பட்ட விதை படிக வைத்திருப்பவர் என்பது செமிகண்டக்டர் பொருட்களின் வளர்ச்சி சூழலுக்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும். TTaC பூசப்பட்ட விதை படிக வைத்திருப்பவர்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளராக, semicorex உங்களுக்கு உயர்நிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி துறையில் திறமையான முக்கிய கூறு தீர்வுகளை வழங்குகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் TaC கோட்டிங் பீடஸ்டல் சப்போர்ட்டர் என்பது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக உலை பீடங்களை ஆதரிப்பதற்கும் செயல்முறை வாயு ஓட்ட விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதற்கும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸ் ஒரு உயர் செயல்திறன், துல்லியமான-பொறியியல் தீர்வை வழங்குகிறது, இது உயர்ந்த கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கிறது-மேம்பட்ட எபிடாக்ஸி பயன்பாடுகளில் நிலையான, நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex CVD TaC கோடட் சஸ்செப்டர் என்பது MOCVD எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு பிரீமியம் தீர்வாகும், இது தீவிர செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. செமிகோரெக்ஸ் துல்லியமான பொறியியல் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தில் கவனம் செலுத்துகிறது, இது நிலையான செதில் தரம், நீட்டிக்கப்பட்ட கூறு வாழ்நாள் மற்றும் ஒவ்வொரு உற்பத்தி சுழற்சியிலும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் TaC கோடட் க்ரூசிபிள்ஸ் என்பது உலோக உருகும் மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்ற, தீவிர வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொள்கலன் ஆகும். செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது அதிநவீன பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் பொறியியல் நிபுணத்துவம் ஆகியவற்றுக்கான அணுகலைப் பெறுவதாகும்
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் TaC கோடட் பிளானட்டரி பிளேட் என்பது MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர்-துல்லியமான பாகமாகும், இதில் பல செதில் பாக்கெட்டுகள் மற்றும் உகந்த வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டுடன் கிரக இயக்கம் உள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கு விதிவிலக்கான ஆயுள், தூய்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை வழங்கும் மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் பொறியியல் நிபுணத்துவத்தை அணுகுவதாகும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு