எங்களை பற்றி

செமிகோரெக்ஸ் அட்வான்ஸ்டு மெட்டீரியல் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட், சீனாவில் சிறந்த இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) SiC பூச்சு தயாரிப்புகளின் முன்னணி உயர்தர சப்ளையர் ஆகும். புதுமையான குறைக்கடத்தி பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்கு நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், குறிப்பாக SiC பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் அதன் பயன்பாடு. போன்ற பலதரப்பட்ட உயர்தர தயாரிப்புகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள், சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்டது, ஆழமான UV எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர்கள், CVD அடி மூலக்கூறு ஹீட்டர்கள், CVD SiC வேஃபர் கேரியர்கள், செதில் படகுகள், அத்துடன்குறைக்கடத்தி கூறுகள்மற்றும்சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்கள்.

எல்இடி சிப் எபிடாக்ஸி மற்றும் சிலிக்கான் சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சப்ஸ்ட்ரேட்டுகளில் பயன்படுத்தப்படும் SiC மெல்லிய படலமானது வைரத்தின் அதே படிக லட்டு அமைப்பைக் கொண்ட கன கட்டத்தைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது கடினத்தன்மையில் வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது. SiC என்பது செமிகண்டக்டர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் பயன்பாட்டிற்கான அபரிமிதமான ஆற்றலைக் கொண்ட பரவலாக அங்கீகரிக்கப்பட்ட பரந்த-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி பொருளாகும், மேலும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்ற சிறந்த இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.

எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களின் உற்பத்தியில், செதில்கள் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி உட்பட பல படிகளை கடக்க வேண்டும், இதில் செதில்கள் கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களில் கொண்டு செல்லப்படுகின்றன. உறிஞ்சிகளின் தரம் மற்றும் பண்புகள் செதில்களின் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. கிராஃபைட் அடிப்படை என்பது MOCVD உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாகும், மேலும் இது அடி மூலக்கூறின் கேரியர் மற்றும் ஹீட்டர் ஆகும். வெப்ப சீரான தன்மை போன்ற அதன் வெப்ப நிலையான செயல்திறன் அளவுருக்கள் எபிடாக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தில் ஒரு தீர்க்கமான பங்கைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் சராசரி சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை நேரடியாக தீர்மானிக்கின்றன.

செமிகோரெக்ஸில், அதிக வலிமை கொண்ட ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டில் அடர்த்தியான β-SiC திரைப்படங்களை உருவாக்க CVD ஐப் பயன்படுத்துகிறோம், இது சின்டர் செய்யப்பட்ட SiC பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது அதிக தூய்மையைக் கொண்டுள்ளது. SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் போன்ற எங்கள் தயாரிப்புகள் கிராஃபைட் தளத்தை சிறப்பு பண்புகளுடன் வழங்குகின்றன, கிராஃபைட் தளத்தின் மேற்பரப்பை கச்சிதமான, மென்மையான மற்றும் நுண்துளைகள் இல்லாத, உயர்ந்த வெப்பத்தை எதிர்க்கும், வெப்ப சீரான தன்மை, அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்றத்தை எதிர்க்கும்.

SiC பூச்சு தொழில்நுட்பம் குறிப்பாக LED எபிடாக்சியல் கேரியர்களின் வளர்ச்சி மற்றும் Si சிங்கிள் கிரிஸ்டல் எபிடாக்ஸி ஆகியவற்றில் பரவலான பயன்பாட்டைப் பெற்றுள்ளது. குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், SiC பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்புகளுக்கான தேவை கணிசமாக அதிகரித்துள்ளது. எங்கள் SiC பூச்சு தயாரிப்புகள் விண்வெளி, ஒளிமின்னழுத்த தொழில், அணுசக்தி, அதிவேக ரயில், வாகனம் மற்றும் பிற தொழில்களில் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன.

தயாரிப்பு பயன்பாடு

LED IC எபிடாக்ஸி

ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி

RTP/TRA வேஃபர் கேரியர்கள்

ICP/PSS பொறித்தல்

பிளாஸ்மா பொறித்தல்

SiC எபிடாக்ஸி

மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி

சிலிக்கான்-அடிப்படை GaN எபிடாக்ஸி

ஆழமான UV எபிடாக்ஸி

குறைக்கடத்தி பொறித்தல்

ஒளிமின்னழுத்த தொழில்

SiC எபிடாக்சியல் CVD அமைப்பு

SiC எபிடாக்சியல் திரைப்பட வளர்ச்சி உபகரணங்கள்

MOCVD அணுஉலை

MOCVD அமைப்பு

CVD உபகரணங்கள்

PECVD அமைப்புகள்

LPE அமைப்புகள்

Aixtron அமைப்புகள்

நுஃப்லேர் அமைப்புகள்

TEL CVD அமைப்புகள்

வெக்கோ அமைப்புகள்

TSI அமைப்புகள்