கிராஃபைட் வேஃபர் ஹோல்டர்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர்ஹோல்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு இன்றியமையாத அங்கமாகும், இது தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் குறைக்கடத்தி செதில்களைக் கையாள்வதிலும் நிலைப்படுத்துவதிலும் சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகிறது. இந்த சிறப்புத் தயாரிப்பு, சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்குடன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடித்தளத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் செயல்திறன், தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தும் விதிவிலக்கான பண்புகளின் கலவையை வழங்குகிறது.

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸியில் முக்கிய பயன்பாடுகள்

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி, ஒரு குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய அடுக்குகளை வைக்கும் செயல்முறை, உயர் செயல்திறன் கொண்ட மைக்ரோசிப்கள், எல்இடிகள் மற்றும் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் போன்ற சாதனங்களின் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கியமான படியாகும். திSiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்இந்த உயர்-துல்லியமான, உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறையின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் Waferholder வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது எபிடாக்ஸி அணு உலைக்குள் சரியான செதில் சீரமைப்பு மற்றும் நிலைப்படுத்தலைப் பராமரிப்பதில் முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது, சீரான மற்றும் உயர்தர படிக வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.

எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டின் போது, ​​வெப்ப நிலைகள் மற்றும் இரசாயன சூழலின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு செதில்களின் மேற்பரப்பில் விரும்பிய பொருள் பண்புகளை அடைவதற்கு அவசியம். செதில் வைத்திருப்பவர் உலைக்குள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் சாத்தியமான இரசாயன எதிர்வினைகளைத் தாங்க வேண்டும், அதே நேரத்தில் செதில்கள் செயல்முறை முழுவதும் பாதுகாப்பாக இருப்பதை உறுதி செய்ய வேண்டும். கிராஃபைட் பேஸ் மெட்டீரியலில் உள்ள SiC பூச்சு, இந்த தீவிர நிலைகளில் வேஃபர்ஹோல்டரின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது, குறைந்த சீரழிவுடன் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகிறது.

சிறந்த வெப்ப மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸியின் முதன்மை சவால்களில் ஒன்று, படிக வளர்ச்சிக்கு தேவையான எதிர்வினை விகிதங்களை அடைய தேவையான உயர் வெப்பநிலைகளை நிர்வகிப்பது. SiC கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர்ஹோல்டர் சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப விரிவாக்கம் அல்லது சிதைவு இல்லாமல் 1000 ° C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையைத் தாங்கும். SiC பூச்சு கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறனை மேம்படுத்துகிறது, வளர்ச்சியின் போது வெப்பம் செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக விநியோகிக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, இதனால் சீரான படிக தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் படிக கட்டமைப்பில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும் வெப்ப அழுத்தங்களைக் குறைக்கிறது.

திSiC பூச்சுசிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது, எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்கள் காரணமாக சாத்தியமான அரிப்பு அல்லது சிதைவிலிருந்து கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறைப் பாதுகாக்கிறது. உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) அல்லது மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி (MBE) போன்ற செயல்முறைகளில் இது மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு அரிக்கும் சூழல்களுக்கு வெளிப்பட்டாலும் செதில் வைத்திருப்பவர் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க வேண்டும். SiC- பூசப்பட்ட மேற்பரப்பு இரசாயன தாக்குதலை எதிர்க்கிறது, நீட்டிக்கப்பட்ட ஓட்டங்கள் மற்றும் பல சுழற்சிகள் முழுவதும் வேஃபர் ஹோல்டரின் நீண்ட ஆயுளையும் நிலைத்தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது.

துல்லியமான செதில் கையாளுதல் மற்றும் சீரமைப்பு

எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், செதில்கள் கையாளப்படும் மற்றும் நிலைநிறுத்தப்படும் துல்லியம் முக்கியமானது. SiC கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர்ஹோல்டர், செதில்களைத் துல்லியமாக ஆதரிக்கவும், நிலைநிறுத்தவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வளர்ச்சியின் போது ஏதேனும் மாறுதல் அல்லது தவறான சீரமைப்புகளைத் தடுக்கிறது. டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அடுக்குகள் ஒரே மாதிரியாக இருப்பதை இது உறுதி செய்கிறது, மேலும் படிக அமைப்பு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் சீராக உள்ளது.

கிராஃபைட் வேஃபர்ஹோல்டரின் வலுவான வடிவமைப்பு மற்றும்SiC பூச்சுவளர்ச்சியின் போது மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தையும் குறைக்கிறது. SiC பூச்சுகளின் மென்மையான, எதிர்வினையற்ற மேற்பரப்பு துகள் உருவாக்கம் அல்லது பொருள் பரிமாற்றத்திற்கான சாத்தியத்தை குறைக்கிறது, இது டெபாசிட் செய்யப்படும் குறைக்கடத்தி பொருளின் தூய்மையை சமரசம் செய்யலாம். இது குறைவான குறைபாடுகள் மற்றும் பயன்படுத்தக்கூடிய சாதனங்களின் அதிக மகசூல் கொண்ட உயர்தர செதில்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள் மற்றும் ஆயுள்

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்கு பெரும்பாலும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக ஆக்கிரமிப்பு சூழல்களில் வேஃபர்ஹோல்டர்களை மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்த வேண்டும். அதன் SiC பூச்சுடன், கிராஃபைட் வேஃபர்ஹோல்டர் பாரம்பரிய பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது குறிப்பிடத்தக்க நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகிறது, மாற்றும் அதிர்வெண் மற்றும் தொடர்புடைய வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது. தொடர்ச்சியான உற்பத்தி அட்டவணையைப் பராமரிப்பதிலும், காலப்போக்கில் செயல்பாட்டுச் செலவுகளைக் குறைப்பதிலும் வேஃபர் ஹோல்டரின் ஆயுள் அவசியம்.

கூடுதலாக, SiC பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் இயந்திர பண்புகளை மேம்படுத்துகிறது. அதிக அளவு உற்பத்திச் சூழல்களில் இந்த நீடித்து நிலைத்தன்மை மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு வேஃபர்ஹோல்டர் அதிக வெப்பநிலை செயலாக்கப் படிகள் மூலம் அடிக்கடி கையாளுதல் மற்றும் சைக்கிள் ஓட்டுதலுக்கு உட்படுத்தப்படுகிறார்.

தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் இணக்கத்தன்மை

SiC கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர்ஹோல்டர் பல்வேறு செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி அமைப்புகளின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பல்வேறு அளவுகள் மற்றும் கட்டமைப்புகளில் கிடைக்கிறது. MOCVD, MBE அல்லது பிற எபிடாக்ஸி நுட்பங்களில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், ஒவ்வொரு அணு உலை அமைப்பின் துல்லியமான தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு வேஃபர் ஹோல்டரைத் தனிப்பயனாக்கலாம். இந்த நெகிழ்வுத்தன்மை பல்வேறு செதில் அளவுகள் மற்றும் வகைகளுடன் இணக்கத்தன்மையை அனுமதிக்கிறது, செமிகண்டக்டர் தொழில் முழுவதும் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளில் வேஃபர் ஹோல்டரைப் பயன்படுத்த முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது.

Semicorex SiC கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர்ஹோல்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்கு ஒரு தவிர்க்க முடியாத கருவியாகும். SiC பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அடிப்படைப் பொருள் ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையானது விதிவிலக்கான வெப்ப மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை, துல்லியமான கையாளுதல் மற்றும் நீடித்துழைப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளை கோருவதற்கான சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. துல்லியமான செதில் சீரமைப்பை உறுதி செய்வதன் மூலம், மாசுபடுத்தும் அபாயங்களைக் குறைப்பதன் மூலம், மற்றும் தீவிர இயக்க நிலைமைகளைத் தாங்கி, SiC கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர்ஹோல்டர் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது, அடுத்த தலைமுறை தொழில்நுட்பங்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது.