SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸ் SiC கோடட் எபிடாக்ஸி டிஸ்கின் விரிவான பண்புகள் உள்ளன, அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத அங்கமாக அமைகின்றன, அங்கு உயர் தொழில்நுட்ப குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் வெற்றிக்கு உபகரணங்களின் துல்லியம், ஆயுள் மற்றும் வலிமை ஆகியவை மிக முக்கியமானவை. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC கோடட் எபிடாக்ஸி டிஸ்க்கைத் தயாரித்து வழங்குவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புICP Etch க்கான Semicorex SiC Susceptor உயர் தரமான தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதில் கவனம் செலுத்துகிறது. இந்த சஸ்செப்டர்களை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் வலுவான உற்பத்தி செயல்முறைகள், ஒவ்வொரு தொகுதியும் கடுமையான செயல்திறன் அளவுகோல்களை சந்திக்கின்றன, குறைக்கடத்தி பொறிப்பில் நம்பகமான மற்றும் நிலையான முடிவுகளை வழங்குகின்றன. கூடுதலாக, செமிகோரெக்ஸ், செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் விரைவான மாற்றத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப வேகமான டெலிவரி அட்டவணைகளை வழங்குவதற்குத் தேவையானது, உற்பத்தி காலக்கெடுவை தரத்தில் சமரசம் செய்யாமல் பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்கிறது. செமிகோரெக்ஸில் நாங்கள் அதிக செயல்திறனை உற்பத்தி செய்வதற்கும் வழங்குவதற்கும் அர்ப்பணித்துள்ளோம். ICP Etch க்கான SiC Susceptor இது செலவு-திறனுடன் தரத்தை இணைக்கிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோடட் சப்போர்ட் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். செமிகோரெக்ஸ் போட்டித்திறன் விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC கோடட் ரிங் என்பது குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கோரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸ் போட்டித்திறன் விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசோலார் செல் பரவலுக்கான Semicorex SiC படகின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் சிறந்த செயல்திறன் ஆகியவை சூரிய மின்கல உற்பத்தியின் கோரும் சூழ்நிலைகளில் தொடர்ந்து வழங்குவதற்கான அவர்களின் திறனில் இருந்து உருவாகிறது. SiC இன் உயர்தர பொருள் பண்புகள், இந்த படகுகள் பரந்த அளவிலான இயக்க நிலைமைகளில் உகந்ததாக செயல்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இது சூரிய மின்கலங்களின் நிலையான மற்றும் திறமையான உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது. அவற்றின் செயல்திறன் பண்புகளில் சிறந்த இயந்திர வலிமை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சுற்றுச்சூழல் அழுத்தங்களுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவை அடங்கும், இது சூரிய மின்கல பரவலுக்கான SiC படகை ஒளிமின்னழுத்த துறையில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத கருவியாக மாற்றுகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck என்பது சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் செதில்களில் காலியம் நைட்ரைடை கையாளுவதற்கும் செயலாக்குவதற்கும் குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான-பொறியியல் அடி மூலக்கூறு வைத்திருப்பவர். செமிகோரெக்ஸ் போட்டித்திறன் விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு