எல்பிஇ, எம்ஓசிவிடி போன்ற பல்வேறு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பீப்பாய் சஸ்செப்டர்கள் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடை கிராஃபைட்டின் மீது மெல்லிய அடுக்குகளில் ரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்திப் பயன்படுத்துகிறது, இது மெட்டீரியல் குறைக்கடத்தி தரத்தை சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்புடன் உருவாக்குகிறது. வெப்பநிலை செயல்முறைகள்.
● உயர் தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்
● சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு
● உயர் வெப்ப சீரான தன்மை
● சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு