படிவு அறைகளில் சுத்தமான, செயலற்ற மற்றும் பாதுகாக்கப்பட்ட சூழலை உருவாக்க அறை மூடிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, எனவே அவை படிவு அல்லது எட்ச் செயல்முறைகளின் போது பிளாஸ்மா மற்றும் அதிக வெப்பநிலைக்கு வெளிப்படும். செமிகோரெக்ஸ் அறை மூடிகள், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) முறையைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் கார்பைடால் பூசப்பட்ட நீடித்த பீங்கான் கூறுகள், இந்த சவாலான சூழல்களுக்கு எதிராக நிற்க சிறந்தது.
செமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி மூடி என்பது தீவிர குறைக்கடத்தி செயலாக்க சூழல்களுக்கு வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு கூறு ஆகும். செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது ஒப்பிடமுடியாத பொருள் தரம், துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் தனிப்பயன் தீர்வுகளை உலகளவில் முன்னணி குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களால் நம்பப்படுகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு