படிவு அறைகளில் சுத்தமான, செயலற்ற மற்றும் பாதுகாக்கப்பட்ட சூழலை உருவாக்க அறை மூடிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, எனவே அவை படிவு அல்லது எட்ச் செயல்முறைகளின் போது பிளாஸ்மா மற்றும் அதிக வெப்பநிலைக்கு வெளிப்படும். செமிகோரெக்ஸ் அறை மூடிகள், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) முறையைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் கார்பைடால் பூசப்பட்ட நீடித்த பீங்கான் கூறுகள், இந்த சவாலான சூழல்களுக்கு எதிராக நிற்க சிறந்தது.