SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
Semicorex LPE பகுதி என்பது SiC-பூசப்பட்ட பாகமாகும், குறிப்பாக SiC epitaxy செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான சூழல்களில் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதிசெய்ய விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. Semicorex தயாரிப்புகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், SiC epitaxy வளர்ச்சி செயல்முறையை மேம்படுத்தும் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்தும் உயர் துல்லியமான, நீண்டகால தனிப்பயன் தீர்வுகளிலிருந்து நீங்கள் பயனடைகிறீர்கள்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோட்டிங் பிளாட் சஸ்பெப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் துல்லியமான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட அடி மூலக்கூறு ஹோல்டர் ஆகும். உங்கள் CVD செயல்முறைகளின் செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை மேம்படுத்தும் நம்பகமான, நீடித்த மற்றும் உயர்தர சஸ்செப்டர்களுக்கு Semicorex ஐ தேர்வு செய்யவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோட்டிங் பான்கேக் சஸ்செப்டர் என்பது எம்ஓசிவிடி அமைப்புகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும், இது எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சியின் போது உகந்த வெப்ப விநியோகம் மற்றும் மேம்பட்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. செமிகோரெக்ஸை அதன் துல்லியமான பொறியியல் தயாரிப்புகளுக்குத் தேர்வு செய்யவும்
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் ஆர்டிபி ரிங் என்பது எஸ்ஐசி-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையமாகும், இது விரைவான வெப்ப செயலாக்க (ஆர்டிபி) அமைப்புகளில் உயர் செயல்திறன் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸை எங்களின் மேம்பட்ட மெட்டீரியல் டெக்னாலஜிக்கு தேர்வு செய்து, செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் உயர்ந்த ஆயுள், துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSiC பூச்சுடன் கூடிய Semicorex Epitaxial Susceptor ஆனது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது SiC செதில்களை ஆதரிக்கவும் வைத்திருக்கவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் துல்லியம் மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் உயர்தர, நீடித்த மற்றும் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய தயாரிப்புகளுக்கு Semicorex ஐ தேர்வு செய்யவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC கோடட் வேஃபர்ஹோல்டர் என்பது எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் போது SiC செதில்களின் துல்லியமான இடம் மற்றும் கையாளுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்தும் மேம்பட்ட, நம்பகமான பொருட்களை வழங்குவதற்கான உறுதிப்பாட்டிற்காக Semicorex ஐ தேர்வு செய்யவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு