SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸிலிருந்து வரும் எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் தொகுதி ஆயுள், தூய்மை மற்றும் துல்லிய பொறியியல் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தீர்வுகள் மற்றும் கோரும் சூழல்களில் நீண்டகால செயல்திறன் ஆகியவற்றில் ஒப்பிடமுடியாத தரத்திற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் அப்பர் ஹாஃப் மூன் என்பது எபிடாக்சியல் உலைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட அரை வட்டமான எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் சசெப்டர் ஆகும். தொழில்துறை முன்னணி பொருள் தூய்மை, துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் சீரான SIC பூச்சு ஆகியவற்றிற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க, இது நீண்டகால செயல்திறன் மற்றும் உயர்ந்த செதில் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்கள் சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடுடன் பூசப்பட்ட உயர் தூய்மை கிராஃபைட் சுசெப்டர்கள் ஆகும், இது உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் போது உகந்த வேஃபர் ஆதரவுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒப்பிடமுடியாத பூச்சு தரம், துல்லியமான உற்பத்தி மற்றும் உலகளவில் முன்னணி குறைக்கடத்தி ஃபேப்ஸால் நம்பப்படும் நிரூபிக்கப்பட்ட நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றிற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட வேஃபர் சசெப்டர்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட கேரியர் ஆகும், இது அழுத்தமற்ற நிலைமைகளின் கீழ் அல்ட்ராதின் திரைப்பட படிவுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மேம்பட்ட பொருட்கள் பொறியியல், துல்லியமான போரோசிட்டி கட்டுப்பாடு மற்றும் வலுவான SIC பூச்சு தொழில்நுட்பத்துடன், அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய செமிகோரெக்ஸ் தொழில்துறை முன்னணி நம்பகத்தன்மை மற்றும் தனிப்பயனாக்கலை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் 8 அங்குல வேஃபர்ஹோல்டர் மோதிரங்கள் ஆக்கிரமிப்பு வெப்ப மற்றும் வேதியியல் சூழல்களில் துல்லியமான செதில் நிர்ணயம் மற்றும் விதிவிலக்கான செயல்திறனை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் கடுமையான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய செமிகோரெக்ஸ் பயன்பாடு-குறிப்பிட்ட பொறியியல், இறுக்கமான பரிமாண கட்டுப்பாடு மற்றும் நிலையான எஸ்ஐசி பூச்சு தரத்தை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் ஆர்டிபி எஸ்ஐசி பூச்சு தகடுகள் விரைவான வெப்ப செயலாக்க சூழல்களைக் கோருவதில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் கேரியர்கள் ஆகும். முன்னணி குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களால் நம்பப்படும், செமிகோரெக்ஸ் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, ஆயுள் மற்றும் மாசு கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றை கடுமையான தரமான தரநிலைகள் மற்றும் துல்லியமான உற்பத்தியால் ஆதரிக்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு