SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோட்டிங் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் கோரும் சூழலில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். போட்டித்தன்மை வாய்ந்த விலையில் உயர்தர தயாரிப்புகளை வழங்குவதற்கான எங்கள் உறுதியான அர்ப்பணிப்புடன், சீனாவில் உங்களின் நீண்டகால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் தயாராக உள்ளோம்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex அதன் SiC Disc Susceptor ஐ அறிமுகப்படுத்துகிறது, இது Epitaxy, Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) மற்றும் Rapid Thermal Processing (RTP) உபகரணங்களின் செயல்திறனை உயர்த்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட SiC Disc Susceptor உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வெற்றிடச் சூழல்களில் சிறந்த செயல்திறன், ஆயுள் மற்றும் செயல்திறனுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கும் பண்புகளை வழங்குகிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex இன் தரம் மற்றும் புதுமைக்கான அர்ப்பணிப்பு SiC MOCVD அட்டைப் பிரிவில் தெளிவாகத் தெரிகிறது. நம்பகமான, திறமையான மற்றும் உயர்தர SiC எபிடாக்ஸியை இயக்குவதன் மூலம், அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் திறன்களை மேம்படுத்துவதில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC MOCVD உள் பிரிவு என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் செதில்களின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) அமைப்புகளுக்கு அத்தியாவசியமான நுகர்வு ஆகும். இது SiC எபிடாக்ஸியின் கோரும் நிலைமைகளைத் தாங்கும் வகையில் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, உகந்த செயல்முறை செயல்திறன் மற்றும் உயர்தர SiC எபிலேயர்களை உறுதி செய்கிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC ALD Susceptor ஆனது ALD செயல்முறைகளில் பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, மேம்படுத்தப்பட்ட பட சீரான தன்மை மற்றும் தரம், மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை செயல்திறன் மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட susceptor வாழ்நாள் ஆகியவை அடங்கும். இந்த நன்மைகள் SiC ALD Susceptor ஐ பல்வேறு கோரும் பயன்பாடுகளில் அதிக செயல்திறன் கொண்ட மெல்லிய படங்களை அடைவதற்கான மதிப்புமிக்க கருவியாக ஆக்குகிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex ALD Planetary Susceptor ஆனது ALD உபகரணங்களில் முக்கியமானது, ஏனெனில் கடுமையான செயலாக்க நிலைமைகளைத் தாங்கும் திறன், பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு உயர்தர படப் படிவுகளை உறுதி செய்கிறது. சிறிய பரிமாணங்கள் மற்றும் மேம்பட்ட செயல்திறன் கொண்ட மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், ALD இல் ALD பிளானெட்டரி சஸ்செப்டரின் பயன்பாடு மேலும் விரிவடையும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு