8 அங்குல எபி பாட்டம் வளையம்

செமிகோரெக்ஸ் 8 அங்குல ஈபிஐ பாட்டம் ரிங் என்பது ஒரு முக்கியமான கட்டமைப்பு பகுதியாகும், இது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி கருவிகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் இது குறிப்பாக முழுமையான சசெப்டர் சட்டசபையின் கீழ் வளையமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மெக்கானிஸ்கா நிலைத்தன்மை, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை ஒருமைப்பாட்டை பங்களிக்கும் அதே வேளையில், செதிலின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது கீழ் வளையம் செதில் கேரியர் அமைப்பை ஆதரிக்கிறது, அவை உயர் செயல்திறன் குறைக்கடத்தி செதில்களை தயாரிக்கத் தேவையானவை. மேற்பரப்பு மட்டத்தில், சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) அடர்த்தியான மற்றும் சீரான பூச்சுடன் பூசப்பட்ட உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து கீழ் வளையம் தயாரிக்கப்படுகிறது. இதன் விளைவாக, இது தீவிர வெப்ப மற்றும் வேதியியல் நிலைமைகளின் கீழ் மேம்பட்ட எபிடாக்சியல் உலைகளுக்கு மிகவும் நம்பகமான மாற்றீட்டைக் குறிக்கிறது.

கிராஃபைட் என்பது அதன் குறைந்த எடை, சிறந்த வெப்ப கடத்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் உறுதியான மற்றும் செங்குத்து பரிமாணங்களுடன் நிலைத்தன்மையுடன் வளாகமற்ற கட்டுமானம் காரணமாக கீழ் வளையத்திற்கு மிகவும் பொருத்தமான அடிப்படை பொருள். இந்த பண்புகள் கீழ் வளையத்தை வேகத்தில் வெப்பமாக சுழற்ற அனுமதிக்கின்றன, எனவே சேவையில் இருக்கும்போது இயந்திர செயல்திறனில் நிலையான தொடர்ச்சியை நிரூபிக்கின்றன. அடர்த்தியான மற்றும் குறைபாடு இல்லாத பீங்கான் வெளிப்புற அடுக்கை தயாரிக்க ஒரு வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி எஸ்.ஐ.சி வெளிப்புற பூச்சு பயன்படுத்தப்படுகிறது. கூடுதலாக, சி.வி.டி செயல்முறை ஒரு செயல்முறையை வழங்குகிறது, இது எஸ்ஐசி பூச்சுகளை அடிப்படை அடி மூலக்கூறு கிராஃபைட்டை தொந்தரவு செய்யக்கூடாது என்பதில் கவனத்துடன் உடைகள் மற்றும் துகள் உருவாக்கத்தை கட்டுப்படுத்துகிறது. SIC மற்றும் கிராஃபைட்டின் ஒருங்கிணைப்பாக, SIC மேற்பரப்பு அடுக்கு செயல்முறை வாயுக்களின் அரிக்கும் செயலுக்கு வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, குறிப்பாக ஹைட்ரஜன் மற்றும் குளோரினேட்டட் துணை தயாரிப்புகளுடன், மற்றும் சிறந்த கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் இரண்டையும் கொண்டுள்ளது - பயன்பாட்டில் இருக்கும்போது முடிந்தவரை செதில் கேரியர் அமைப்புக்கு அதிக ஆதரவை உறுதி செய்கிறது.

சிலிக்கான், சிலிக்கான் கார்பைடு அல்லது கலவை குறைக்கடத்திகளை டெபாசிட் செய்யும் பெரும்பாலான கிடைமட்ட அல்லது செங்குத்து MOCVD மற்றும் CVD எபிடாக்சியல் கருவிகளுடன் பொருந்தக்கூடிய 8 அங்குல EPI கீழ் வளையம் தயாரிக்கப்படுகிறது. உகந்த வடிவியல் துல்லியமான சீரமைப்பு, உலகளாவிய வெப்ப விநியோகம் மற்றும் செதில் சுழற்சியில் ஸ்திரத்தன்மை ஆகியவற்றுடன் வேஃபர் ஹோல்டர் அமைப்பின் சசெப்டர் மற்றும் சிறந்த கூறுகளுக்கு ஏற்றவாறு வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எபிடாக்சியல் லேயர் சீரான தன்மையை இறக்குமதி செய்வதற்கும், செதில் மேற்பரப்பில் குறைபாடுகளைக் குறைப்பதற்கும் வளையத்தின் சிறந்த தட்டையானது மற்றும் செறிவூட்டல்.

இந்த SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையத்தின் நன்மைகளில் ஒன்று குறைந்த துகள் உமிழ்வு நடத்தை ஆகும், இது செயலாக்கத்தில் இருக்கும்போது செதில் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது. சுத்தமான அறை சூழல்கள் மற்றும் அதிக மகசூல் விகிதங்களை அடைய, பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, SIC அடுக்கு கார்பன் துகள்களின் அவுட்-கேசிங் மற்றும் தலைமுறையை குறைக்கிறது. கூடுதலாக, கலப்பு கட்டமைப்பின் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு உற்பத்தியின் ஆயுளை நீடிக்கிறது, மாற்றீடு மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கான குறைந்த செயல்பாட்டு செலவுகளை குறைக்கிறது.

அனைத்து கீழ் மோதிரங்களும் பரிமாண ரீதியாக சரிபார்க்கப்படுகின்றன, மேற்பரப்பு தரம் சரிபார்க்கப்படுகின்றன, மற்றும் வெப்ப சுழற்சி ஒரு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் சூழலின் குறிப்பிடத்தக்க சுற்றுச்சூழல் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்ய சோதிக்கப்படுகிறது. கூடுதலாக, SIC மேற்பரப்பு பூச்சு தடிமன் இயந்திர மற்றும் வெப்ப சாத்தியமான பொருந்தக்கூடிய தன்மைக்கு போதுமானதாக இருக்கும்; ஒட்டுதல் காரணிகளுக்காக SIC பூச்சுகள் வழக்கமாக ஆராயப்படுகின்றன, இது கீழ் மோதிரங்கள் அதிக வெப்பநிலை படிவுக்கு வெளிப்படும் போது உரிக்கப்படுவது அல்லது சுடுவது ஏற்படாது என்பதை உறுதி செய்கிறது. தனிப்பட்ட உலை வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்முறை பயன்பாடுகளுக்கான சில சிறிய பரிமாண மற்றும் பூச்சு சொத்து மாறுபாடுகளுடன் தட்டையான கீழ் வளையத்தை தனிப்பயனாக்கலாம்.

செமிகோரெக்ஸிலிருந்து செமிகோரெக்ஸ் 8 அங்குல ஈபிஐ கீழ் வளையம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அமைப்புகளுக்கு வலிமை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் சாதகமான வெப்ப பண்புகள் ஆகியவற்றின் சிறந்த சமநிலையை வழங்குகிறது. எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டின் அறியப்பட்ட நன்மைகள் காரணமாக, இந்த கீழ் வளையம் அதிக வெப்பநிலை படிவு செயல்முறையிலும் அதிக செதில் தரம், குறைந்த மாசு நிகழ்தகவு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இந்த கீழ் வளையம் SI, SIC, அல்லது III-V பொருள் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியுடன் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது; கோரும் குறைக்கடத்தி பொருட்களின் உற்பத்தியில் நம்பகமான, மீண்டும் மீண்டும் ஆறுதலளிக்கும் வகையில் இது செய்யப்படுகிறது.