8. இன்ச் எபிஐ ஆதரவாளர்

செமிகோரெக்ஸ் 8 அங்குல எபிஐ சசெப்டர் என்பது ஒரு உயர் தொழில்நுட்ப செதில் ஆதரவு பகுதியாகும், இது செமிகண்டக்டர்கள் தயாரிப்பதற்காக எபிடாக்சியல் படிவு நடவடிக்கைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வெப்ப நிலைத்தன்மை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும், படிவு சீரான தன்மை ஆகியவை எபிடாக்சியல் உலைகளில் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) இன் தடிமனான, தொடர்ச்சியான சீரான அடுக்குடன் பூசப்பட்ட போதுமான தூய்மையான கிராஃபைட் கோர் பொருளுடன் இது தயாரிக்கப்படுகிறது. 8 அங்குல விட்டம் 200 மிமீ செதில்களை செயலாக்கும் உபகரணங்களுக்கான தொழில் விவரக்குறிப்புகளுக்கு தரப்படுத்தப்பட்டுள்ளது, எனவே தற்போதுள்ள புனையல் பல்பணி மீது நம்பகமான ஒருங்கிணைப்பை வழங்குகிறது.  

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்ப சூழல் மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் செயலற்ற பொருள் இடைவினைகள் தேவை. இரண்டு நிகழ்வுகளிலும் SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சாதகமாக நிகழ்த்தப்படும். கிராஃபைட் கோர் மிக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கத்தைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது போதுமான அளவு வடிவமைக்கப்பட்ட வெப்ப மூலத்துடன், கிராஃபைட் மையத்திலிருந்து வெப்பத்தை விரைவாக மாற்ற முடியும் மற்றும் செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் நிலையான வெப்பநிலை சாய்வுகளை பராமரிக்க முடியும். SIC இன் வெளிப்புற அடுக்கு சசெப்டரின் வெளிப்புற ஷெல் ஆகும். எஸ்.ஐ.சி அடுக்கு அதிக வெப்பநிலையிலிருந்து சசெப்டர் மையத்தை பாதுகாக்கிறது, ஹைட்ரஜன் போன்ற செயல்முறை வாயுவின் அரிக்கும் துணை தயாரிப்புகள், குளோரினேட்டட் சிலானின் மிகவும் அரிக்கும் பண்புகள் மற்றும் இயந்திர அழிவு ஆகியவற்றின் காரணமாக மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சுழற்சிகளுக்கு காரணமாக ஏற்படும் இயந்திர உடைகளின் ஒட்டுமொத்த தன்மை காரணமாக இயந்திர அழிவு. ஒட்டுமொத்தமாக இந்த இரட்டை பொருள் அமைப்பு போதுமான தடிமனாக இருக்கும் வரை, சசெப்டர் இயந்திரத்தனமாக ஒலி மற்றும் வேதியியல் செயலற்றதாக இருக்கும் என்று நாம் நியாயமான முறையில் கணிக்க முடியும். தொடர்புடைய வெப்ப வரம்புகளுக்குள் செயல்படும்போது இதை நாங்கள் அனுபவபூர்வமாக கவனித்துள்ளோம், மேலும் SIC அடுக்கு செயல்முறைக்கும் கிராபிக்ஸ் கோருக்கும் இடையில் நம்பகமான தடையை வழங்குகிறது, இது கருவிகளின் சேவை நீளத்தை அதிகரிக்கும் போது தயாரிப்பு தரத்திற்கான வாய்ப்புகளை அதிகரிக்கிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் கிராஃபைட் கூறுகள் ஒரு அத்தியாவசிய மற்றும் நம்பமுடியாத முக்கியமான பகுதியைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் கிராஃபைட் பொருள் தரம் உற்பத்தியின் செயல்திறனில் குறிப்பிடத்தக்க காரணியாகும். செமிகோரெக்ஸில் எங்கள் உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒவ்வொரு கட்டத்திலும் கடுமையான கட்டுப்பாடு உள்ளது, எனவே நாங்கள் அதிக இனப்பெருக்கம் செய்யக்கூடிய பொருள் ஒருமைப்பாடு மற்றும் தொகுதிக்கு தொகுதி வரை நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்கலாம். எங்கள் சிறிய தொகுதி உற்பத்தி செயல்முறையுடன், 50 கன மீட்டர் மட்டுமே அறை அளவைக் கொண்ட சிறிய கார்பனேற்றம் உலைகள் உள்ளன, இது உற்பத்தி செயல்பாட்டில் இறுக்கமான கட்டுப்பாடுகளை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது. ஒவ்வொரு கிராஃபைட் தொகுதியும் தனிப்பட்ட கண்காணிப்புக்கு உட்படுகிறது, எங்கள் செயல்முறை முழுவதும் கண்காணிக்கக்கூடியது. உலைக்குள் உள்ள பல-புள்ளி வெப்பநிலை கண்காணிப்புக்கு கூடுதலாக, பொருள் மேற்பரப்பில் வெப்பநிலையைக் கண்காணிக்கிறோம், வெப்பநிலை விலகல்களை உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் மிகக் குறுகிய வரம்பிற்குக் குறைக்கிறோம். வெப்ப நிர்வாகத்திற்கான எங்கள் கவனம் உள் அழுத்தத்தைக் குறைக்கவும், குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் நிலையான மற்றும் இனப்பெருக்கம் செய்யக்கூடிய கிராஃபைட் கூறுகளை உருவாக்கவும் அனுமதிக்கிறது.

எஸ்.ஐ.சி பூச்சு வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) வழியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் துகள் தலைமுறையை குறைக்கும் ஒரு சிறந்த தானிய மேட்ரிக்ஸுடன் திடமான, சுத்தமான முடிக்கப்பட்ட மேற்பரப்பை உருவாக்குகிறது; எனவே, சுத்தமான சி.வி.டி செயல்முறை மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது. பூசப்பட்ட பட தடிமன் சி.வி.டி செயல்முறை கட்டுப்பாடு சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்துகிறது மற்றும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் மூலம் தட்டையானது மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மைக்கு முக்கியமானது. இது இறுதியில் சிறந்த செதில் பிளானரிட்டியை வழங்குகிறது, இதன் விளைவாக எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டின் போது மிகவும் அடுக்கு படிவு ஏற்படுகிறது. Power பவர் MOSFET கள், IGBTS மற்றும் RF கூறுகள் போன்ற உயர் செயல்திறன் குறைக்கடத்தி சாதனங்களை அடைவதற்கான முக்கிய அளவுரு.

செமிகோரெக்ஸ் தயாரித்த 8 அங்குல ஈபிஐ சசெப்டரின் மற்றொரு அடிப்படை நன்மை பரிமாண நிலைத்தன்மை. சசெப்டர் கண்டிப்பான சகிப்புத்தன்மைக்கு வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இதன் விளைவாக செதில் கையாளுதல் ரோபோக்களுடன் சிறந்த பொருந்தக்கூடிய தன்மை மற்றும் வெப்ப மண்டலங்களில் ஒரு துல்லியமான பொருத்தம் ஏற்படுகிறது. சசெப்டர் மேற்பரப்பு மெருகூட்டப்பட்டு, குறிப்பிட்ட எபிடாக்சியல் உலையின் குறிப்பிட்ட வெப்ப மற்றும் ஓட்ட நிலைமைகளுக்கு தனிப்பயனாக்கப்படுகிறது, இது சசெப்டர் பயன்படுத்தப்படும். விருப்பங்கள், எடுத்துக்காட்டாக லிப்ட் முள் துளைகள், பாக்கெட் இடைவெளிகள் அல்லது எதிர்ப்பு ஸ்லிப் மேற்பரப்புகள் அனைத்தும் OEM கருவி வடிவமைப்புகள் மற்றும் செயல்முறைகளின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுடன் பொருந்தலாம்.

ஒவ்வொரு சசெப்டரும் உற்பத்தியின் போது வெப்ப செயல்திறன் மற்றும் பூச்சு ஒருமைப்பாடு ஆகிய இரண்டிற்கும் பல சோதனைகளுக்கு உட்படுகிறது. பரிமாண அளவீட்டு மற்றும் சரிபார்ப்பு, பூச்சு ஒட்டுதல் சோதனைகள், வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு சோதனைகள் மற்றும் வேதியியல் எதிர்ப்பு சோதனைகள் உள்ளிட்ட தரக் கட்டுப்பாட்டு முறைகள் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக பயன்படுத்தப்படுகின்றன மற்றும் ஆக்கிரமிப்பு எபிடாக்சியல் சூழல்களில் கூட செயல்திறன் அடையப்படுகிறது. இதன் விளைவாக ஒரு தயாரிப்பு ஆகும், இது இறுதியில் குறைக்கடத்தி புனையல் துறையின் தற்போதைய கோரிக்கை தேவைகளை பூர்த்தி செய்து மீறுகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் 8 அங்குல ஈபிஐ சசெப்டர் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது வெப்ப கடத்துத்திறன், இயந்திர விறைப்பு மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மையை சமப்படுத்துகிறது. அதிக வெப்பநிலையில் நிலையான, சுத்தமான, செதில் ஆதரவை உற்பத்தி செய்வதில் அதன் வெற்றியின் காரணமாக 8 அங்குல சசெப்டர் அதிக அளவிலான எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இதன் விளைவாக அதிக மகசூல், அதிக சீரான வரையறுக்கப்பட்ட எபிடாக்சியல் செயல்முறைகள் ஏற்படுகின்றன. EPI SUSSCECTOR இன் 8 அங்குல அளவு பொதுவாக சந்தையில் நிலையான 8 அங்குல உபகரணங்களில் காணப்படுகிறது மற்றும் தற்போதுள்ள வாடிக்கையாளர்களின் சாதனங்களுடன் ஒன்றுக்கொன்று மாறக்கூடியது. அதன் நிலையான உள்ளமைவில் ஈபிஐ சசெப்டர் மிகவும் தனிப்பயனாக்கக்கூடியது.