SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD சஸ்செப்டர்கள்

SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD சஸ்செப்டர்கள்உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் இன்றியமையாத கூறுகள், அவை செதில் அடி மூலக்கூறுகளை வைத்திருப்பதற்கும் சூடாக்குவதற்கும் பொறுப்பாகும். அவற்றின் உயர்ந்த வெப்ப மேலாண்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மையுடன், SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD சஸ்செப்டர்கள் உயர்தர வேஃபர் அடி மூலக்கூறு எபிடாக்ஸிக்கான உகந்த விருப்பமாகக் கருதப்படுகின்றன.

செதில் புனையலில், திMOCVDசெதில் அடி மூலக்கூறுகளின் மேற்பரப்பில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை உருவாக்க தொழில்நுட்பம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்குவதற்குத் தயாராகிறது. எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சி பல காரணிகளால் பாதிக்கப்படுவதால், செதில் அடி மூலக்கூறுகளை நேரடியாக MOCVD உபகரணங்களில் வைப்பதற்காக வைக்க முடியாது. SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD சஸ்செப்டர்கள் செதில் அடி மூலக்கூறுகளைப் பிடித்து சூடாக்க வேண்டும், இது எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு நிலையான வெப்ப நிலைகளை உருவாக்குகிறது. எனவே, SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD சஸ்செப்டர்களின் செயல்திறன் மெல்லிய படப் பொருட்களின் சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது, இது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியை பாதிக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் தேர்வு செய்கிறதுஉயர் தூய்மை கிராஃபைட்அதன் SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD சஸ்செப்டர்களுக்கான மேட்ரிக்ஸ் பொருளாக, பின்னர் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸை ஒரே மாதிரியாக பூசுகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடுCVD தொழில்நுட்பம் மூலம் பூச்சு. வழக்கமான தொழில்நுட்பத்துடன் ஒப்பிடுகையில், CVD தொழில்நுட்பமானது சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸுக்கு இடையேயான பிணைப்பு வலிமையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக வலுவான ஒட்டுதலுடன் அடர்த்தியான பூச்சு ஏற்படுகிறது. கோரும் உயர் வெப்பநிலை அரிக்கும் வளிமண்டலத்தின் கீழ் கூட, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையை நீண்ட காலத்திற்கு பராமரிக்கிறது, அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸுக்கு இடையே நேரடி தொடர்பை திறம்பட தடுக்கிறது. இது கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸின் அரிப்பைத் தவிர்க்கிறது மற்றும் கிராஃபைட் துகள்களை வேஃபர் அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளைப் பிரித்து மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்கிறது, செமிகண்டக்டர் சாதனத் தயாரிப்பின் தூய்மை மற்றும் விளைச்சலை உறுதி செய்கிறது.

 Semicorex இன் SiC-கோடட் கிராஃபைட் MOCVD சஸ்செப்டர்களின் நன்மைகள்

1. சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு

2. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்

3. உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

4. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்

5. விதிவிலக்கான வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு

6. உயர் மேற்பரப்பு மென்மை

7. நீடித்த சேவை வாழ்க்கை