SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டு

எபிடாக்சியல் உபகரணங்களின் முதன்மை அங்கமாக, திSiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டு, எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியின் உற்பத்தி திறன், சீரான தன்மை மற்றும் குறைபாடு வீதத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது.    

கிராஃபைட் சுத்திகரிப்பு, துல்லியமான செயலாக்கம் மற்றும் துப்புரவு சிகிச்சை மூலம், கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பு சிறந்த தட்டையான மற்றும் மென்மையை அடைய முடியும், துகள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தை வெற்றிகரமாக தவிர்க்கிறது. இரசாயன நீராவி படிவு மூலம், கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பு எதிர்வினை வாயுவுடன் ஒரு இரசாயன எதிர்வினைக்கு உட்படுகிறது, இது அடர்த்தியான, துளைகள் இல்லாத மற்றும் ஒரே மாதிரியான தடிமனான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது. அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பில் இருந்து பூச்சு சிகிச்சை வரை, முழு உற்பத்தி செயல்முறையும் 100 ஆம் வகுப்பு க்ளீன்ரூமில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்திகளுக்கு ஏற்ற தூய்மை தரங்களை பூர்த்தி செய்கிறது.

உயர்-தூய்மை குறைந்த தூய்மையற்ற கிராஃபைட் மற்றும் SiC பொருட்களால் செய்யப்பட்ட SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டு, சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் கொண்டது. இது எபிடாக்சியல் அடுக்கின் வளர்ச்சித் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கு விரைவாகவும் சீராகவும் வெப்பத்தை மாற்றுவதற்கு SiC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுக்கு உதவுவது மட்டுமல்லாமல், வெப்ப அழுத்தத்தின் காரணமாக பூச்சு உதிர்தல் அல்லது விரிசல் ஏற்படும் அபாயத்தையும் திறம்பட குறைக்கிறது. கூடுதலாக, சீரான மற்றும் அடர்த்தியான SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயு நிலைமைகளின் கீழ் நீண்ட காலத்திற்கு நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டு உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) உபகரணங்களுடன் அதிக இணக்கத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இது நுணுக்கமான அளவு மற்றும் பல்வேறு செயல்முறை அளவுருக்கள் மற்றும் உபகரணத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டின் வெவ்வேறு அளவுகள், பூச்சு தடிமன் மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை ஆகியவற்றிற்கான அவர்களின் தேவைகளை துல்லியமாக பூர்த்தி செய்ய Semicorex எப்போதும் எங்கள் மதிப்புமிக்க வாடிக்கையாளர்களுக்கு தொழில்முறை சார்ந்த சேவைகளை வழங்குவதை வலியுறுத்துகிறது.