SiC-பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர்கள்

செமிகண்டக்டர்அடி மூலக்கூறுகள்வாயு ஓட்டத்தின் திசை (கிடைமட்ட மற்றும் செங்குத்து), வெப்பநிலை, அழுத்தம், அடி மூலக்கூறு நிர்ணயம் மற்றும் துகள் மாசுபாடு உள்ளிட்ட பல முக்கியமான காரணிகளின் தாக்கத்தின் காரணமாக, எபிடாக்சியல் படிவுகளின் போது MOCVD அல்லது CVD உபகரணங்களில் நேரடியாக அமைக்க முடியாது. இந்த காரணத்திற்காக, செமிகண்டக்டர் அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கவும் பாதுகாக்கவும் MOCVD/CVD அமைப்புகளில் உள்ள எதிர்வினை அறையின் மையத்தில் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர்கள் நிலைநிறுத்தப்பட வேண்டும், இதனால் அதிர்வு அல்லது நிலை இடப்பெயர்ச்சியால் ஏற்படும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தரச் சிதைவைத் தடுக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸின் அணிப் பொருளாக உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பயன்படுத்தப்படுகிறதுSiC- பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர்கள், மேம்பட்ட CVD நுட்பங்களால் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அவற்றின் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி-கோடட் எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர்கள் எபிடாக்சியல் லேயர் உருவாக்கும் செயல்பாட்டில் இன்றியமையாத கூறுகளாகும். செமிகண்டக்டர் அடி மூலக்கூறுகளில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய இயக்கச் சூழலை வழங்குவதே அவற்றின் முதன்மைப் பணியாகும், இதன் மூலம் செதில் மேற்பரப்பு தரத்தின் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த முடியும்.

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி-கோடட் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர்களின் பண்புகள்

1. 1600℃ இயக்க நிலைமைகளைத் தாங்கும் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு.

2.உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிக்க விரைவான வெப்ப பரிமாற்றத்தை வழங்குகிறது.

3.வேதியியல் சிதைவு மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் வலுவான இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு, அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் செயல்முறை மாசுபாட்டைத் தவிர்க்கிறது.

4.பூச்சு விரிசல் மற்றும் டீலமினேஷன் ஏற்படுவதைத் தவிர்ப்பதற்கு உயர்ந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு.

5.விதிவிலக்கான மேற்பரப்பு தட்டையானது, இடைவெளிகளையும் குறைபாடுகளையும் குறைக்கும் அடி மூலக்கூறுகளுக்கு இறுக்கமாக பொருத்துகிறது.

6. நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, உதிரிபாகங்களை மாற்றுதல் மற்றும் பராமரிப்பதால் ஏற்படும் நேரம் மற்றும் பொருளாதார இழப்புகளை குறைத்தல்.

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி-கோடட் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர்களின் பயன்பாடுகள்

பல சிறந்த நன்மைகளுடன், எபிடாக்சியல் மெல்லிய படலங்களின் சீரான மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய வளர்ச்சியை எளிதாக்குவதில் Semicorex SiC- பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர்கள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, மேலும் அவை குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

1.GaN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி

2.SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி

3.Si எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி