TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கலவை ஆகும். இது உலோக மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான உயர் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்பம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பிற்கு அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடுகளின் உருகுநிலையானது தூய்மையைப் பொறுத்து சுமார் 3880°C இல் உச்சத்தை அடைகிறது மற்றும் பைனரி சேர்மங்களிலேயே அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD மற்றும் LPE போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்திறன் திறன்களை விட அதிக வெப்பநிலை தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும்போது இது ஒரு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது.
Semicorex TaC பூச்சு பொருள் தரவு
திட்டங்கள் |
அளவுருக்கள் |
அடர்த்தி |
14.3 (gm/cm³) |
உமிழ்வு |
0.3 |
CTE (×10-6/கே) |
6.3 |
கடினத்தன்மை (HK) |
2000 |
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.) |
1×10-5 |
வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500℃ |
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம் |
-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு) |
பூச்சு தடிமன் |
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
|
|
மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள் |
|
Semicorex Tantalum Carbide Guide Ring என்பது டான்டலம் கார்பைடுடன் பூசப்பட்ட ஒரு கிராஃபைட் வளையமாகும், இது சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகளில் விதை படிக ஆதரவு, வெப்பநிலை மேம்படுத்தல் மற்றும் மேம்படுத்தப்பட்ட வளர்ச்சி நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸை அதன் மேம்பட்ட பொருட்கள் மற்றும் வடிவமைப்பிற்கு தேர்வு செய்யவும், இது படிக வளர்ச்சியின் செயல்திறனையும் தரத்தையும் கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு வளையம் என்பது டான்டலம் கார்பைடுடன் பூசப்பட்ட ஒரு கிராஃபைட் வளையமாகும், இது சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகளில் துல்லியமான வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்ய வழிகாட்டி வளையமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸை அதன் மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் உயர்தரப் பொருட்களுக்குத் தேர்வுசெய்து, படிக வளர்ச்சி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு ஆயுளை மேம்படுத்தும் நீடித்த மற்றும் நம்பகமான கூறுகளை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex TaC கோட்டிங் வேஃபர் ட்ரே சவால்களை எதிர்கொள்ளும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட வேண்டும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்வினை சூழல்கள் உட்பட எதிர்வினை அறைக்குள் உள்ள தீவிர நிலைமைகள்.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் TaC கோட்டிங் பிளேட் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறை மற்றும் மேலும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களை கோருவதற்கான உயர் செயல்திறன் கூறுகளாக தனித்து நிற்கிறது. அதன் தொடர் உயர்ந்த பண்புகளுடன், இது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி தயாரிப்பு செயல்முறைகளின் உற்பத்தி மற்றும் செலவு-செயல்திறனை இறுதியில் மேம்படுத்தலாம்.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex LPE SiC-Epi Halfmoon என்பது எபிடாக்சி உலகில் தவிர்க்க முடியாத சொத்தாக உள்ளது, அதிக வெப்பநிலை, எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் கடுமையான தூய்மை தேவைகள் ஆகியவற்றால் ஏற்படும் சவால்களுக்கு வலுவான தீர்வை வழங்குகிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் CVD TaC பூச்சு உறையானது எபிடாக்ஸி உலைகளுக்குள் தேவைப்படும் சூழல்களில் ஒரு முக்கியமான செயலாக்க தொழில்நுட்பமாக மாறி வருகிறது, அதிக வெப்பநிலை, வினைத்திறன் வாயுக்கள் மற்றும் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகள் ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது, நிலையான படிக வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்கும் தேவையற்ற எதிர்வினைகளைத் தடுப்பதற்கும் வலுவான பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு