TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கலவை ஆகும். இது உலோக மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான உயர் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்பம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பிற்கு அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடுகளின் உருகுநிலையானது தூய்மையைப் பொறுத்து சுமார் 3880°C இல் உச்சத்தை அடைகிறது மற்றும் பைனரி சேர்மங்களிலேயே அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD மற்றும் LPE போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்திறன் திறன்களை விட அதிக வெப்பநிலை தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும்போது இது ஒரு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது.
Semicorex TaC பூச்சு பொருள் தரவு
திட்டங்கள் |
அளவுருக்கள் |
அடர்த்தி |
14.3 (gm/cm³) |
உமிழ்வு |
0.3 |
CTE (×10-6/கே) |
6.3 |
கடினத்தன்மை (HK) |
2000 |
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.) |
1×10-5 |
வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500℃ |
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம் |
-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு) |
பூச்சு தடிமன் |
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
|
|
மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள் |
|
Semicorex TaC கோடட் கிராஃபைட் பகுதி என்பது SiC படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும், இது வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை மேம்படுத்தும் நீடித்த டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கொண்டது. செமிகோரெக்ஸை எங்களின் புதுமையான தீர்வுகள், சிறந்த தயாரிப்பு தரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் கோரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட நம்பகமான, நீண்ட கால உதிரிபாகங்களை வழங்குவதில் நிபுணத்துவம் பெறவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் TaC கோடட் கிராஃபைட் சக் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் துல்லியமான செதில் கையாளுதல் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும். செமிகோரெக்ஸை அதன் புதுமையான, நீடித்த தயாரிப்புகளுக்குத் தேர்வு செய்யவும்
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex TaC ரிங் என்பது SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும், இது உகந்த வாயு ஓட்ட விநியோகம் மற்றும் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. உங்கள் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்தும் நீடித்த மற்றும் நம்பகமான தீர்வுகளை வழங்கும் மேம்பட்ட பொருட்கள் மற்றும் துல்லியமான பொறியியலில் எங்கள் நிபுணத்துவத்திற்காக Semicorex ஐ தேர்வு செய்யவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பாகம் என்பது TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆகும், இது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளில் உயர் செயல்திறன் பயன்பாட்டிற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது சிறந்த வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் படிகத் தரம் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்தும் நம்பகமான, உயர்தரக் கூறுகளுக்கு Semicorex ஐத் தேர்வு செய்யவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு வளையங்கள் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கியமான கூறுகளாகும். அவற்றின் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, அதிக உருகுநிலை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மைக்கு பெயர் பெற்ற, செமிகோரெக்ஸில், தரம் மற்றும் செயல்திறனின் மிக உயர்ந்த தரத்தை பூர்த்தி செய்யும் தயாரிப்புகளை வழங்குவதற்கு நாங்கள் அர்ப்பணித்துள்ளோம், எங்கள் வாடிக்கையாளர்கள் குறைக்கடத்தி துறையில் புதுமைகளில் முன்னணியில் இருப்பதை உறுதிசெய்கிறோம்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் TaC கோட்டிங் வேஃபர் சஸ்பெப்டர் என்பது டான்டலம் கார்பைடுடன் பூசப்பட்ட ஒரு கிராஃபைட் தட்டு ஆகும், இது செதில் தரம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்த சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. Semicorex ஐ அதன் மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் நீடித்த தீர்வுகள் ஆகியவற்றைத் தேர்ந்தெடுக்கவும், இது உயர்ந்த SiC எபிடாக்ஸி முடிவுகளை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட susceptor ஆயுட்காலம்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு