TaC தட்டு

Semicorex TaC ப்ளேட் என்பது SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் கோரும் நிபந்தனைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் பொருள் ஆகும். கிராஃபைட் தளத்திலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, டான்டலம் கார்பைடு அடுக்குடன் பூசப்பட்டது, இந்த கூறு சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்துழைப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது, இது SiC படிக வளர்ச்சி உட்பட மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த சிறந்தது.TaC-பூசப்பட்டதுகிராஃபைட் தகடுகள் தீவிர சூழல்களில் அவற்றின் வலிமைக்காக அங்கீகரிக்கப்படுகின்றன, அவை மின் சாதனங்கள், RF கூறுகள் மற்றும் பிற உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்தர SiC செதில்களின் உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உபகரணங்களின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும்.

TaC பிளேட்டின் முக்கிய அம்சங்கள்

1. விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன்:

TaC தட்டு அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை சமரசம் செய்யாமல் அதிக வெப்பநிலையை திறம்பட கையாள வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. கிராஃபைட்டின் உள்ளார்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் டான்டலம் கார்பைடின் கூடுதல் நன்மைகள் ஆகியவற்றின் கலவையானது SiC எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது வெப்பத்தை விரைவாகச் சிதறடிக்கும் பொருளின் திறனை மேம்படுத்துகிறது. உயர்தர SiC படிகங்களின் சீரான வளர்ச்சியை உறுதிசெய்து, உலைக்குள் உகந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மையை பராமரிப்பதில் இந்த அம்சம் முக்கியமானது.

2. உயர்ந்த இரசாயன எதிர்ப்பு:

டான்டலம் கார்பைடு இரசாயன அரிப்பை எதிர்க்கும், குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் அதன் எதிர்ப்பிற்காக புகழ்பெற்றது. SiC எபிடாக்சியில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஆக்கிரமிப்பு பொறித்தல் முகவர்கள் மற்றும் வாயுக்களுக்கு TaC பிளேட்டை அதிக எதிர்ப்பாற்றல் கொண்டதாக இந்தப் பண்பு உருவாக்குகிறது. கடுமையான இரசாயனங்கள் வெளிப்பட்டாலும், SiC படிகங்கள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கும் மற்றும் உற்பத்தி உபகரணங்களின் நீண்ட ஆயுளுக்கு பங்களிக்கும் போது கூட, பொருள் நிலையானதாகவும் நீடித்ததாகவும் இருப்பதை இது உறுதி செய்கிறது.

3. பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் உயர் தூய்மை:

திTaC பூச்சுSiC எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டின் போது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கு சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. தீவிர வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் கூட தட்டு அதன் வடிவத்தையும் அளவையும் தக்கவைத்து, சிதைவு மற்றும் இயந்திர செயலிழப்பு அபாயத்தை குறைக்கிறது. கூடுதலாக, TaC பூச்சுகளின் உயர்-தூய்மை தன்மை, வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் தேவையற்ற அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தடுக்கிறது, இதனால் குறைபாடு இல்லாத SiC செதில்களின் உற்பத்தியை ஆதரிக்கிறது.

4. உயர் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு:

SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களை உள்ளடக்கியது, இது வெப்ப அழுத்தத்தைத் தூண்டலாம் மற்றும் குறைந்த வலுவான கூறுகளில் பொருள் தோல்விக்கு வழிவகுக்கும். இருப்பினும், TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தகடு வெப்ப அதிர்ச்சியை எதிர்ப்பதில் சிறந்து விளங்குகிறது, வெப்பநிலையில் திடீர் மாற்றங்களுக்கு வெளிப்படும் போதும், வளர்ச்சி சுழற்சி முழுவதும் நம்பகமான செயல்திறனை வழங்குகிறது.

5. நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை:

SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் TaC பிளேட்டின் நீடித்து நிலைத்தன்மையானது அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை கணிசமாகக் குறைக்கிறது, மற்ற பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகிறது. வெப்ப உடைகள், இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் பரிமாண ஒருமைப்பாடு ஆகியவற்றிற்கு உயர் எதிர்ப்பின் ஒருங்கிணைந்த பண்புகள் நீண்ட செயல்பாட்டு ஆயுட்காலத்திற்கு பங்களிக்கின்றன, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு செலவு குறைந்த தேர்வாக அமைகிறது.

SiC Epitaxy வளர்ச்சிக்கு TaC பிளேட்டை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

SiC epitaxy வளர்ச்சிக்கு TaC பிளேட்டைத் தேர்ந்தெடுப்பது பல நன்மைகளை வழங்குகிறது:

கடுமையான நிலைமைகளில் உயர் செயல்திறன்: அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் கலவையானது, மிகவும் கோரும் நிலைமைகளின் கீழ் கூட, SiC படிக வளர்ச்சிக்கான நம்பகமான மற்றும் நீடித்த தேர்வாக TaC பிளேட்டை உருவாக்குகிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட தயாரிப்புத் தரம்: துல்லியமான வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டை உறுதிசெய்து, மாசுபடுத்தும் அபாயங்களைக் குறைப்பதன் மூலம், உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு அவசியமான குறைபாடுகள் இல்லாத SiC செதில்களை அடைய TaC தட்டு உதவுகிறது.

செலவு குறைந்த தீர்வு: நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவை குறைவது TaC பிளேட்டை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு செலவு குறைந்த தீர்வாக ஆக்குகிறது, ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.

தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்கள்: TaC தகடு அளவு, வடிவம் மற்றும் பூச்சு தடிமன் ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப வடிவமைக்கப்படலாம், இது பரந்த அளவிலான SiC எபிடாக்ஸி உபகரணங்கள் மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் போட்டி மற்றும் உயர்-பங்கு உலகில், மேல் அடுக்கு செதில்களின் உற்பத்தியை உறுதி செய்ய SiC எபிடாக்ஸி வளர்ச்சிக்கான சரியான பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுப்பது அவசியம். Semicorex Tantalum Carbide Plate ஆனது SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் விதிவிலக்கான செயல்திறன், நம்பகத்தன்மை மற்றும் நீண்ட ஆயுளை வழங்குகிறது. அதன் உயர்ந்த வெப்ப, இரசாயன மற்றும் இயந்திர பண்புகளுடன், ஆற்றல் மின்னணுவியல், LED தொழில்நுட்பம் மற்றும் அதற்கு அப்பால் மேம்பட்ட SiC- அடிப்படையிலான குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தியில் TaC தட்டு ஒரு தவிர்க்க முடியாத அங்கமாகும். மிகவும் தேவைப்படும் சூழல்களில் அதன் நிரூபிக்கப்பட்ட செயல்திறன், SiC எபிடாக்ஸி வளர்ச்சியில் துல்லியம், செயல்திறன் மற்றும் உயர்தர முடிவுகளைத் தேடும் உற்பத்தியாளர்களுக்குத் தேர்ந்தெடுக்கும் பொருளாக அமைகிறது.