செமிகோரெக்ஸ் டாக் பூச்சு அரை நிலவு பகுதி என்பது எல்பிஇ எபிடாக்ஸி உலைகளுக்குள் எஸ்ஐசி எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட கூறு ஆகும். இணையற்ற தரம், துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி சிறப்பை முன்னேற்றுவதற்கான அர்ப்பணிப்பு ஆகியவற்றிற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.*
செமிகோரெக்ஸ் டிஏசி பூச்சு அரை நிலவு பகுதி என்பது எல்பிஇ எபிடாக்ஸி உலைகளில் எஸ்ஐசி எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றவாறு ஒரு துல்லிய-வடிவமைக்கப்பட்ட கூறு ஆகும். உயர் தூய்மை டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுடன் வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த பகுதி விதிவிலக்கான வெப்ப மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் உகந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய செமிகோரெக்ஸ் டாக் பூச்சு அரை நிலவு பாகங்கள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. TAC பூச்சு அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, கூறுகளின் ஆயுட்காலம் விரிவுபடுத்துகிறது மற்றும் நீண்டகால செயல்பாட்டு சுழற்சிகளில் நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்கிறது. அதன் அரை நிலவு வடிவமைப்பு எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியில் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, படிக தரம் மற்றும் செயல்முறை நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
TAC மட்பாண்டங்கள் 3880 ° C வரை உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளன, அதிக கடினத்தன்மை (MOHS கடினத்தன்மை 9-10), பெரிய வெப்ப கடத்துத்திறன் (22W · M-1 · K-1), பெரிய வளைக்கும் வலிமை (340-400MPA) மற்றும் சிறிய வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (6.6 × 10−6K --1). அவை சிறந்த தெர்மோகெமிக்கல் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகளையும் வெளிப்படுத்துகின்றன, மேலும் கிராஃபைட் மற்றும் சி/சி கலவைகளுடன் நல்ல வேதியியல் மற்றும் இயந்திர பொருந்தக்கூடிய தன்மையைக் கொண்டுள்ளன. எனவே, விண்வெளி வெப்ப பாதுகாப்பு, ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, ஆற்றல் மின்னணுவியல் மற்றும் மருத்துவ சாதனங்களில் TAC பூச்சுகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
டாக்-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வெற்று கிராஃபைட் அல்லது எஸ்.ஐ.சி-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டை விட சிறந்த வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, 2600 of அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானதாகப் பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் பல உலோகக் கூறுகளுடன் வினைபுரியாது. இது மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் பொறிக்கும் காட்சிகளில் சிறந்த பூச்சு ஆகும், மேலும் இந்த செயல்பாட்டில் வெப்பநிலை மற்றும் அசுத்தங்களின் கட்டுப்பாட்டை கணிசமாக மேம்படுத்தலாம், மேலும் உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு செதில்கள் மற்றும் தொடர்புடைய எபிடாக்சியல் செதில்களைத் தயாரிக்க முடியும். MOCVD கருவிகளுடன் GAN அல்லது ALN ஒற்றை படிகங்களை வளர்ப்பதற்கும், PVT கருவிகளுடன் SIC ஒற்றை படிகங்களை வளர்ப்பதற்கும் இது மிகவும் பொருத்தமானது. வளர்ந்த ஒற்றை படிகங்களின் தரம் கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது.
இந்த தயாரிப்பு உற்பத்தியாளர்களுக்கு அவர்களின் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் துல்லியம், செயல்திறன் மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றிற்கு முன்னுரிமை அளிக்கும் சிறந்த தீர்வாகும். குறைக்கடத்தி துறையின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் தீர்வுகளுக்கு செமிகோரெக்ஸை நம்புங்கள்.