சி.வி.டி டாக் பூசப்பட்ட மோதிரங்கள்

செமிகோரெக்ஸ் சி.வி.டி டிஏசி பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் என்பது படிக வளர்ச்சி செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட துல்லிய-பொறியியல் கூறுகள், குறிப்பாக திசை திடப்படுத்துதல் மற்றும் செக்ரால்ஸ்கி (சிஇசட்) இழுக்கும் அமைப்புகளுக்குள். இந்த சி.வி.டி டிஏசி பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் ஓட்டம் வழிகாட்டி கூறுகளாக செயல்படுகின்றன -பொதுவாக “ஓட்டம் வழிகாட்டி மோதிரங்கள்” அல்லது “வாயு விலகல் மோதிரங்கள்” என குறிப்பிடப்படுகின்றன - மேலும் படிக வளர்ச்சி கட்டத்தில் நிலையான வாயு ஓட்ட முறைகள் மற்றும் வெப்ப சூழல்களைப் பராமரிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் வளர்ச்சியை எடுத்துக்கொள்வது ஒரு எடுத்துக்காட்டு, வெப்ப புலப் பொருட்களில் கிராஃபைட் பொருட்கள் மற்றும் கார்பன்-கார்பன் கலப்பு பொருட்கள் 2300 at இல் சிக்கலான வளிமண்டலத்தை (SI, SIC₂, SI₂C) செயல்முறையை பூர்த்தி செய்வது கடினம். சேவை வாழ்க்கை குறுகியதாக மட்டுமல்லாமல், வெவ்வேறு பகுதிகள் ஒவ்வொன்றும் பத்து உலைகளாக மாற்றப்படுகின்றன, மேலும் அதிக வெப்பநிலையில் கிராஃபைட்டின் டயாலிசிஸ் மற்றும் ஆவியாகும் தன்மை கார்பன் சேர்த்தல் போன்ற படிக குறைபாடுகளுக்கு எளிதில் வழிவகுக்கும். குறைக்கடத்தி படிகங்களின் உயர் தரமான மற்றும் நிலையான வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்காகவும், தொழில்துறை உற்பத்தியின் விலையை கருத்தில் கொண்டு, அதி-உயர் வெப்பநிலை அரிப்பு-எதிர்ப்பு பீங்கான் பூச்சுகள் கிராஃபைட் பகுதிகளின் மேற்பரப்பில் தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது கிராஃபைட் கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கும், தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வைத் தடுக்கும் மற்றும் படிக தூய்மையை மேம்படுத்தும். சிலிக்கான் கார்பைட்டின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில், சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சுசெப்டர்கள் பொதுவாக ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறுகளை எடுத்துச் செல்லவும் வெப்பப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவர்களின் சேவை வாழ்க்கையை இன்னும் மேம்படுத்த வேண்டும், மேலும் இடைமுகத்தில் சிலிக்கான் கார்பைடு வைப்புத்தொகைகள் தவறாமல் சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும். இதற்கு நேர்மாறாக,டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுகள்அரிக்கும் வளிமண்டலங்கள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலைகளுக்கு மிகவும் எதிர்க்கும், மேலும் இதுபோன்ற SIC படிகங்கள் "வளர, தடிமனாக வளர, நன்றாக வளர" முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும்.

TAC 3880 with வரை உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதிக இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது; இது அதிக வெப்பநிலையில் அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலிக்கான் கொண்ட நீராவிக்கு நல்ல வேதியியல் செயலற்ற தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. டிஏசி பூச்சுகளுடன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் (கார்பன்-கார்பன் கலப்பு) பொருட்கள் பாரம்பரிய உயர் தூய்மை கிராஃபைட், பிபிஎன் பூச்சுகள், எஸ்ஐசி பூசப்பட்ட பாகங்கள் போன்றவற்றை மாற்றுவதற்கான வாய்ப்புகள் உள்ளன. கூடுதலாக, விண்வெளி துறையில், டிஏசி உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் எதிர்ப்பு பயன்பாட்டு எதிர்ப்பு பூசல்களாகப் பயன்படுத்தப்படுவதற்கு பெரும் ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. இருப்பினும், கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் அடர்த்தியான, சீரான மற்றும் மாடி அல்லாத டிஏசி பூச்சுகளைத் தயாரிப்பதற்கும் தொழில்துறை வெகுஜன உற்பத்தியை ஊக்குவிப்பதற்கும் இன்னும் பல சவால்கள் உள்ளன. இந்த செயல்பாட்டில், பூச்சுகளின் பாதுகாப்பு பொறிமுறையை ஆராய்வது, உற்பத்தி செயல்முறையை புதுமைப்படுத்துதல் மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸி ஆகியவற்றிற்கு முக்கிய வெளிநாட்டு மட்டத்துடன் போட்டியிடுவது முக்கியமானது.

வழக்கமான கிராஃபைட்டின் தொகுப்பைப் பயன்படுத்தி SIC PVT செயல்முறை மற்றும்சி.வி.டி டாக் பூசப்பட்டவெப்பநிலை விநியோகத்தில் உமிழ்வின் விளைவைப் புரிந்துகொள்ள மோதிரங்கள் வடிவமைக்கப்பட்டன, இது வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் இங்காட் வடிவத்தில் மாற்றங்களுக்கு வழிவகுக்கும். தற்போதுள்ள கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பிடும்போது சி.வி.டி டிஏசி பூசப்பட்ட மோதிரங்கள் அதிக சீரான வெப்பநிலையை அடையும் என்று காட்டப்பட்டுள்ளது. கூடுதலாக, TAC பூச்சின் சிறந்த வெப்ப மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை Si நீராவியுடன் கார்பனின் எதிர்வினையைத் தடுக்கிறது. இதன் விளைவாக, டிஏசி பூச்சு ரேடியல் திசையில் சி/எஸ்ஐ விநியோகத்தை மிகவும் சீரானதாக ஆக்குகிறது.