ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகள்

ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகள்பொதுவாக பொறிப்பு அறையின் மேற்புறத்தில் நிறுவப்பட்டு, மேல் மின்முனையாக செயல்படுகிறது. ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகளின் மேற்பரப்பு ஒரே மாதிரியாக விநியோகிக்கப்பட்ட மைக்ரோஹோல்களைக் கொண்டுள்ளது, இது வினை அறைக்குள் செதுக்கும் வாயுவை சமமாக வழங்க முடியும். பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, ​​அவை ஒரு சீரான மின்சார புலத்தை உருவாக்க கீழ் மின்முனையுடன் வேலை செய்கின்றன, இது துல்லியமான பொறிப்பிற்கான சிறந்த இயக்க நிலையை வழங்க பங்களிக்கிறது.

கவனமாக பொருள் தேர்வு

செமிகோரெக்ஸ் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகளை உற்பத்தி செய்ய பிரீமியம் MCZ-வளர்ந்த மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானைத் தேர்ந்தெடுக்கிறது, இது தொழில்துறையில் முன்னணி தயாரிப்பு செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை வழங்குகிறது.

1. அதி உயர் தூய்மை

செமிகோரெக்ஸ் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகள் 99.9999999% க்கும் அதிகமான அதி-உயர் தூய்மையைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது உள் உலோக அசுத்தங்களின் உள்ளடக்கம் மிகவும் குறைவாக உள்ளது.

2. விதிவிலக்கான எதிர்ப்பு ஒற்றுமை

வழக்கமான CZ சிங்கிள்-கிரிஸ்டல் சிலிக்கானில் இருந்து வேறுபட்டு, செமிகோரெக்ஸ் பயன்படுத்தும் MCZ-வளர்க்கப்பட்ட மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் 5% க்கும் குறைவான எதிர்ப்புத் தன்மையை அடைகிறது. அதன் குறைந்த ரெஸ். 0.02 Ω·cm, நடுத்தர ரெஸ் கீழே கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. 0.2 மற்றும் 25Ω·cm, மற்றும் உயர் ரெஸ் இடையே உள்ளது. 70-90 Ω·cm இடையே உள்ளது (தனிப்பயனாக்கம் கோரிக்கையின் பேரில் கிடைக்கும்).

3. சிறந்த பொருள் அமைப்பு

MCZ முறையின் மூலம் வளர்க்கப்படும் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மிகவும் நிலையான கட்டமைப்பு மற்றும் குறைவான குறைபாடுகளை வழங்குகிறது, இதனால் செமிகோரெக்ஸ் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகள் குறிப்பிடத்தக்க பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன மற்றும் கடுமையான பொறித்தல் இயக்க நிலைமைகளைத் தாங்குகின்றன.

---

உயர்தர செயலாக்க துல்லியம்

செமிகோரெக்ஸ்ஒற்றை-படிக சிலிக்கான்சிலிக்கான் இங்காட் முதல் முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பு வரை முழுமையான உற்பத்தி செயல்முறை மூலம் மின்முனைகள் தயாரிக்கப்படுகின்றன, இதில் வெட்டுதல், மேற்பரப்பு அரைத்தல், துளை துளைத்தல், ஈரமான பொறித்தல் மற்றும் மேற்பரப்பு மெருகூட்டல் ஆகியவை அடங்கும். மின்முனைகளின் விட்டம், தடிமன், மேற்பரப்புத் பிளானாரிட்டி, துளை இடைவெளி மற்றும் துளை ஆகியவை சிறந்த சகிப்புத்தன்மைக்குள் பராமரிக்கப்படுவதை உறுதிசெய்ய, செமிகோரெக்ஸ் ஒவ்வொரு படியிலும் கடுமையான துல்லியக் கட்டுப்பாட்டை நிலைநிறுத்துகிறது.

1. மைக்ரோஹோல் செயலாக்கம்

ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகளில் உள்ள மைக்ரோ-துளைகள் சீரான இடைவெளி மற்றும் சீரான விட்டம் (0.2 முதல் 0.8 மிமீ வரை), மென்மையான மற்றும் பர்-இல்லாத உள் சுவர்களைக் கொண்டுள்ளன. இது பொறிக்கப்பட்ட வாயுவின் சீரான மற்றும் நிலையான விநியோகத்திற்கு திறம்பட உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, இதனால் செதில் செதுக்கலின் சீரான தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

2. செயலாக்க துல்லியம்

செமிகோரெக்ஸ் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் மின்முனைகளின் செயலாக்கத் துல்லியம் 0.3 மிமீக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அவற்றின் மெருகூட்டல் துல்லியமானது 0.1 µmக்குக் கீழே கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்படும், மேலும் நன்றாக அரைப்பது 1.6 µm க்கும் குறைவாக இருக்கும்.