சிலிக்கான் பீடப் படகு

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் பீடஸ்டல் படகு என்பது ஒரு அதி-சுத்தமான செதில் கேரியர் ஆகும், இது ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் LPCVD (குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு) போன்ற உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளை ஆதரிக்க அதிக தூய்மை மற்றும் துல்லியத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த செதில் கேரியர் 9N இலிருந்து உருவாக்கப்பட்டது (99.9999999%)உயர் தூய்மை சிலிக்கான்விதிவிலக்கான தூய்மை, விரிவாக்க நிலைத்தன்மையின் வெப்பக் குணகம் மற்றும் அதி-சுத்தமான சூழல்களில் செதில் ஆதரவு மற்றும் நிலையான செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டிற்கான இயந்திரத் துல்லியம் ஆகியவற்றை உறுதி செய்ய.

குறைக்கடத்தி சாதன வடிவவியல்கள் தொடர்ந்து சுருங்கி வருவதால், அதி-சுத்தமான மற்றும் வெப்பமாக இணக்கமான செதில் கையாளும் கூறுகளின் தேவை இவ்வளவு தேவையாக இருந்ததில்லை. 1100°C மற்றும் 1250°C இடையே இயங்கும் மேம்பட்ட உலை அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்பட வேண்டிய உயர் பரிமாணத் துல்லியம் மற்றும் ஒப்பிட முடியாத தூய்மையுடன் சிலிக்கான் பீடப் படகு இந்தக் கோரிக்கைகளை நிவர்த்தி செய்கிறது.

பள்ளம் பட்டை வடிவம், பள்ளம் பல் நீளம், வடிவம், சாய்வு கோணம் மற்றும் மொத்த செதில் ஏற்றுதல் திறன் உள்ளிட்ட வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய சிலிக்கான் படகு அமைப்பைத் தனிப்பயனாக்கலாம். உயர் வெப்பநிலை சிலிக்கான் படகுகள் சிலிக்கான் செதில்களின் தொடர்பு சேதத்தை திறம்பட குறைக்கலாம், செயல்முறை விளைச்சலை மேம்படுத்தலாம். அதன் உயர்-டெம்ப் "ஸ்லிப்-ஃப்ரீ டவர்கள்" வடிவமைப்பு, துணைப் பல்லின் நுனியில் மட்டுமே செதில்களை ஆதரிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடுடன் ஒப்பிடுகையில், சிலிக்கான் ஒப்பீட்டளவில் கடினமானது, செதில்களுக்கு இயந்திர சேதத்தை குறைக்கிறது, இதன் மூலம் லேட்டிஸின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளை திறம்பட குறைக்கிறது.

பீடப் படகு கிடைக்கிறதுமோனோகிரிஸ்டலின் அல்லது பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான்சிலிக்கான் அல்லாத பொருட்களுடன் தொடர்புடைய மாசு அபாயங்களை அகற்ற. அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது தேவையற்ற எதிர்வினைகள் அல்லது அயனி பரவலைக் குறைக்கும் செயலில் பயன்படுத்தப்படும் செதில்களின் அதே வேதியியல் கலவையை மேடையில் பகிர்ந்து கொள்கிறது. தொடர்ச்சியான உயர் செதில் தரம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் உற்பத்தி சுழற்சிகள் மூலம் அதிக சாதன விளைச்சலுக்காக பொருள் ஒருமைப்பாடு துகள்கள் மற்றும் உலோக அசுத்தங்களின் உடல் அடையாளத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் பெடஸ்டல் படகு செங்குத்து ஆதரவு அமைப்புகளுடன் இணைந்து துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட செதில் ஸ்லாட்டுகளைக் கொண்டுள்ளது, வெப்ப சுழற்சியின் போது செதில்கள் சரியாக சீரமைக்கப்படுவதையும் இடைவெளியில் இருப்பதையும் உறுதி செய்கிறது. அதன் பரிமாண நிலைத்தன்மை சிறப்பானது, பீடப் படகு தீவிர வெப்பநிலையில் வளைந்து, வளைந்து அல்லது மாறாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்து, ஒவ்வொரு செதில் மீதும் நல்ல வெப்பநிலை மற்றும் வாயு விநியோகத்தை வழங்குகிறது. இந்த பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவலின் போது பட தடிமன் சீரான தன்மையில் உடனடி, நேர்மறையான விளைவைக் கொண்டிருக்கிறது மற்றும் குறைந்த குறைபாடு எண்ணிக்கை மற்றும் சிறந்த செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் செய்ய உதவுகிறது.

சிலிக்கான் பீடப் படகின் முதன்மை நன்மை அதன் உகந்த இயந்திர மற்றும் வெப்ப பண்புகள் ஆகும். SiC அல்லது குவார்ட்ஸுடன் ஒப்பிடும்போது சிலிக்கானின் கடினத்தன்மை, வெப்பமான விரிவாக்கத்தின் போது செதில் அதிர்வு அல்லது இயக்கம் காரணமாக நுண்ணிய கீறல்கள் மற்றும் துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்க உதவும். பின்பக்க உணர்திறன் செதில்களுக்கு இது குறிப்பாக உண்மையாகும், அங்கு செதில் மேற்பரப்பின் ஒருமைப்பாடு விளைச்சல் மற்றும் சாதனத்தின் செயல்திறனுக்கு முக்கியமானது.

பீடப் படகு நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது பல வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளுடன் வடிவம் மற்றும் கட்டமைப்பின் உறுதியை பராமரிக்கும் போது வெப்ப பரிமாற்ற பண்புகளை வழங்குகிறது. வலுவான வடிவமைப்பு தீவிர உலை நிலைமைகள் மூலம் குறைந்தபட்ச உருமாற்றத்துடன் நீண்ட ஆயுளையும் வழங்குகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் செதில் விட்டம், ஸ்லாட் எண்ணிக்கை, பீட உயரம் மற்றும் வடிவியல் மாறுபாடுகள் உள்ளிட்ட பல்வேறு உபகரண உள்ளமைவுகளுக்கான தனிப்பயன் வடிவமைப்புகளை வழங்குகிறது. ஒவ்வொரு தயாரிப்பும் தூய்மை, பரிமாண அளவீடு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனுக்கான சோதனை ஆகியவற்றிற்காக பரிசோதிக்கப்படுகிறது, இவை அனைத்தும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் மிக உயர்ந்த தரத்தை சந்திக்கின்றன.

சிலிக்கான் பெடஸ்டல் படகு ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகள் மற்றும் எல்பிசிவிடி மற்றும் அனீலிங் பயன்பாடுகளுடன் ஒத்துப்போகும் வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் மாசு கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. சிலிக்கான் பீடஸ்டல் படகு மற்ற சிலிக்கான் உலை கூறுகளுடன் இணக்கமானது. அமைப்பு.