சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட், கேஸ் ஸ்ப்ரே ஹெட் அல்லது கேஸ் டிஸ்ட்ரிபியூஷன் பிளேட் என அழைக்கப்படுகிறது செமிகண்டக்டர் துறையில் சிப் உற்பத்தியின் துல்லியம் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்த உயர்தர மற்றும் செலவு குறைந்த ஒற்றை படிக சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட் அவசியம்.
செமிகோரெக்ஸ் ஒற்றைப் படிக சிலிக்கான்மழை தலைவிதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பு, குறைந்த விரிவாக்க குணகம் மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் காட்டுகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் அதிக வெப்பநிலை, அதிக அரிக்கும் தன்மை மற்றும் அதிக வெற்றிடத்தின் கடுமையான நிலைமைகளுக்கு உறுதியாகத் தழுவி, பொறித்தல் மற்றும் படிவு வாயுக்கள் போன்ற வாயுக்களை செயலாக்குவதற்கு விதிவிலக்கான சகிப்புத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது. எனவே, ஒற்றை படிக சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட் செமிகண்டக்டர் துப்புரவு செயல்முறைகள், ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறைகள், படிவு செயல்முறைகள் மற்றும் பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட்டின் மேற்பரப்பு மிக உயர்ந்த தட்டையான தன்மை மற்றும் மென்மை ஆகிய இரண்டையும் கொண்டுள்ளது என்பதை உறுதிப்படுத்த, செமிகோரெக்ஸ் மேம்பட்ட மேற்பரப்பு சிகிச்சை நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துகிறது. இதற்கிடையில், சேனல் அமைப்பு மற்றும் வாயு பாதையின் தரப்படுத்தப்பட்ட வடிவமைப்பை நம்பி, ஒற்றை படிக சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட்டின் மேற்பரப்பு ஒரே விட்டம் கொண்ட பல துளைகளுடன் ஒரே மாதிரியாக விநியோகிக்கப்படுகிறது (குறைந்தபட்ச விட்டம் 0.2 மில்லிமீட்டர்களை எட்டும்). ஒற்றை படிக சிலிக்கான் ஷவர்ஹெட்டின் துளை விட்டம் தாங்கும் தன்மை மைக்ரோமீட்டர் மட்டத்தில் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் துளையின் உள் சுவர் மென்மையாகவும் பர்ர்ஸ் இல்லாததாகவும் இருக்க வேண்டும், இது கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்முறை அம்சங்களில் இருந்து செயல்முறை வாயுவின் விநியோக துல்லியம் மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
Semicorex பல்வேறு வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய நிபுணர் தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகளை வழங்குகிறது. அதன் வாடிக்கையாளர்களின் பல்வேறு தேவைகளுக்கு ஏற்ப, அவற்றின் எதிர்வினை அறைகளின் பரிமாணங்கள் மற்றும் வடிவத்திற்கு ஏற்றவாறு தோற்றத் தீர்வுகளைத் தனிப்பயனாக்கலாம். உகந்த வடிவமைப்பு, செதில்கள் வினை செயல்முறை முழுவதும் செயல்முறை வாயுவுடன் முழு மற்றும் நிலையான தொடர்பை ஏற்படுத்த உதவுகிறது, இதன் மூலம் வாயு எதிர்வினை அறை முழுவதும் சமமாக சிதறடிக்கப்படுகிறது. இது இறுதியில் உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.