சிலிக்கான் கவசம் வளையம்

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் ஷீல்ட் ரிங் என்பது செதுக்கும் செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கியமான குறைக்கடத்தி கூறு ஆகும். மின்முனையைச் சுற்றிலும், அதிகப்படியான பிளாஸ்மா கசிவைத் தடுப்பதும் இதன் முதன்மைப் பணியாகும். பொருள் தூய்மை 9N (99.9999999%) ஐ விட அதிகமாக இருந்தால், கேடய வளையத்தை ஒற்றை-படிகம் மற்றும் பல படிகங்கள் மூலம் உருவாக்கலாம்.சிலிக்கான், அதி-சுத்தமான செயல்பாடு மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுடன் நம்பகமான இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்தல்.

CCP/ICP பொறித்தல் செயல்பாட்டில் துல்லியமான பிளாஸ்மா கட்டுப்பாடு பயனுள்ள, சீரான எட்ச் வீதம் மற்றும் செதில் தரத்திற்கு அவசியம். விரும்பிய செதுக்கல் பகுதிக்கு வெளியே கட்டுப்பாடற்ற பிளாஸ்மா கசிவு மேற்பரப்பு அரிப்பு மற்றும் மாசுபாட்டை உருவாக்கலாம் அல்லது அறைக்குள் உள்ள கூறுகளை சேதப்படுத்தலாம். சிலிக்கான் கவசம் வளையம் இந்த சிக்கலுக்கு ஒரு பயனுள்ள, எளிமையான தீர்வாகும், இது மின்முனையின் வெளிப்புற சுற்றளவில் ஒரு பாதுகாப்பு தடையை உருவாக்க உருவாக்கப்பட்டது, இலக்கு பகுதிக்கு வெளியே பிளாஸ்மா பரவுவதை தடுக்கிறது மற்றும் விரும்பிய பகுதிக்கு மட்டுமே செதுக்குவதை கட்டுப்படுத்துகிறது. சிலிக்கான் கவசம் வளையம் பிளாஸ்மா விநியோகத்தை உறுதிப்படுத்தவும் மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் அதிக சீரான ஆற்றலை செயல்படுத்தவும் வெளிப்புற மின்முனையாகவும் செயல்படுகிறது.

சிலிக்கானின் வெப்ப மற்றும் மின் பண்புகள் எட்ச்சிங் ஷீல்ட் வளையத்தின் செயல்திறனை மேலும் ஆதரிக்கின்றன. அதிக செயல்முறை வெப்பநிலைகளுக்கு அதன் எதிர்ப்பானது நீடித்த பிளாஸ்மா வெளிப்பாட்டின் போது கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை வழங்குகிறது, மேலும் அதன் மின் கடத்துத்திறன் கூறுகளை எலக்ட்ரோடு அமைப்பில் ஒரு உறுப்பு சரியாக செயல்பட அனுமதிக்கிறது. ஒன்றாக, இந்த பயன்பாடுகள் பிளாஸ்மா அடைப்பை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் ஆற்றல் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, இது செதில்கள் முழுவதும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய எட்ச் சுயவிவரங்களை அனுமதிக்கிறது.

இயந்திர சகிப்புத்தன்மை என்பது சிலிக்கான் எட்ச்சிங் ஷீல்ட் வளையத்தின் மற்றொரு குறிப்பிடத்தக்க பண்பு ஆகும். இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மைக்கு உற்பத்தி செய்யப்படுவதன் மூலம், மின்முனையைச் சுற்றி துல்லியமான நிலைப்பாட்டை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் அறையின் இடைவெளி மற்றும் வடிவவியலைப் பராமரிக்கிறது. இந்த இயந்திரத் துல்லியமானது தனிப்பட்ட ரன்களுக்கு இடையே குறைவான மாறுபாட்டிற்காக மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செயல்முறை நிலைமைகளை உருவாக்குகிறது, மேலும் அதிக அளவு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை அனுமதிக்க உதவுகிறது. பொருள் தன்னை பிளாஸ்மா சூழல்களுடன் சிறந்த இணக்கத்தன்மை உள்ளது; எனவே அதன் கட்டமைப்பை அரிப்பது பொதுவாக நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் செயல்முறை செயல்திறனில் நிலைத்தன்மையை வழங்க அனுமதிக்கிறது.

ஆயுள் மற்றும் செலவு செயல்திறன் இன்னும் இரண்டு மதிப்புமிக்க நன்மைகள். பிளாஸ்மாவில் இருந்து அறையின் தேவையற்ற பகுதிகளை பாதுகாப்பதன் மூலம், கவசம் வளையம் மற்ற முக்கியமான கூறுகளின் தேய்மானத்தை குறைக்கிறது, இது பராமரிப்பு முயற்சிகளை குறைக்கிறது மற்றும் ஒட்டுமொத்த செயல்பாட்டு நேரத்தை அதிகரிக்கிறது. நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைவான அடிக்கடி மாற்றுவது உற்பத்தித்திறனை அதிகரிப்பதற்கும் அதன் மூலம் இயக்கச் செலவுகளைக் குறைப்பதற்கும் குறைக்கடத்தி ஃபேப்களுக்கான செலவு குறைந்த தீர்வாக அமைகிறது.

திசிலிக்கான்கவசம் வளையமானது ஒவ்வொரு கருவி கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்முறை விவரக்குறிப்புகளுக்கு தனிப்பயனாக்கப்படலாம், ஏனெனில் அவை பல அளவுகள் மற்றும் வடிவவியலில் கிடைக்கின்றன, அவை உற்பத்தி செய்யும் பல்வேறு பிளாஸ்மா எச்சிங் அறைகளுக்கு இடமளிக்கின்றன, அதே நேரத்தில் உகந்த பொருத்தத்தை அடைகின்றன. கூடுதலாக, மேற்பரப்பு சிகிச்சைகள் மற்றும் மெருகூட்டல் ஆகியவை அல்ட்ரா-சுத்தமான உற்பத்தித் தரங்களுக்கு துகள் உற்பத்தியை மேலும் குறைக்க பயன்படுத்தப்படலாம்.