சிலிக்கான் இன்ஜெக்டர்

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் இன்ஜெக்டர் என்பது பாலிசிலிகான் மற்றும் மெல்லிய படல படிவுக்கான குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு (LPCVD) அமைப்புகளில் வாயுவை துல்லியமாக வழங்குவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அதி-உயர் தூய்மை கூறு ஆகும். 9N இலிருந்து கட்டப்பட்டது (99.9999999%)உயர் தூய்மை சிலிக்கான், இந்த நுண்ணிய குழாய் உட்செலுத்தி உயர்ந்த தூய்மை, இரசாயனங்களுடன் இணக்கம் மற்றும் தீவிர செயல்முறை நிலைகளில் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியானது அதிக அளவிலான ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் மாசுபாட்டின் இறுக்கமான கட்டுப்பாட்டிற்கு தொடர்ந்து உருவாகி வருவதால், படிவு அறையில் உள்ள ஒவ்வொரு எரிவாயு விநியோக கூறுகளும் முன்பை விட உயர் தரத்தை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும். Semicorex Silicon Injector ஆனது, இந்த வகையான தேவைகளுக்காக குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்டுள்ளது — வாயுப் பொருட்களை வினைத்திறன் அறை முழுவதும் நிலையான மற்றும் சீரான முறையில் வழங்குவது, மாசுபாட்டை அறிமுகப்படுத்தாமல், இது படத்தின் தரம் அல்லது செதில் விளைச்சலை எதிர்மறையாக பாதிக்கும்.

இன்ஜெக்டர் செயல்முறை தேவைகளைப் பொறுத்து மோனோகிரிஸ்டலின் அல்லது பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானில் இருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, மேலும் பொருள் குறைந்த உலோகம், துகள்கள் மற்றும் அயனி அசுத்தங்களாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது அல்ட்ரா-க்ளீன் LPCVD நிலைகளுடன் இணக்கத்தன்மையை வழங்குகிறது, அங்கு ட்ரேஸ் மாசுபாடு கூட படத்தில் குறைபாட்டை அல்லது சாதனத்தின் தோல்வியைத் தூண்டலாம். சிலிக்கானை அடிப்படைப் பொருளாகப் பயன்படுத்துவது அறையின் உட்செலுத்தி மற்றும் சிலிக்கான் கூறுகளுக்கு இடையே உள்ள பொருள் பொருந்தாத தன்மையைக் குறைக்கிறது, இது பயன்பாடு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்பாட்டின் போது துகள் உருவாக்க அபாயங்கள் அல்லது இரசாயன எதிர்வினைகளைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

சிலிக்கான் இன்ஜெக்டரின் பிரத்யேக குழாய் அமைப்பு ஒரு சீரான செதில் சுமையின் மீது வாயுவை கட்டுப்படுத்தி சமமாக விநியோகிக்க அனுமதிக்கிறது. மைக்ரோ-இன்ஜினியரிங் செய்யப்பட்ட துளைகள் மற்றும் மென்மையான உள் மேற்பரப்பு, நிலையான பட தடிமன் மற்றும் உலைகளில் நிலையான படிவு விகிதங்களுக்கு முக்கியமான லேமினார் வாயு இயக்கவியலுடன் மறுஉருவாக்கம் செய்யக்கூடிய ஓட்ட விகிதங்களை உறுதி செய்கிறது. அது சிலேன் (SiH₄), டிக்ளோரோசிலேன் (SiH₂Cl₂) அல்லது பிற வினைத்திறன் வாயுக்களாக இருந்தாலும், நல்ல தரமான பாலிசிலிகான் பட வளர்ச்சிக்குத் தேவையான நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை உட்செலுத்தி வழங்குகிறது.

சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை காரணமாக, செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் இன்ஜெக்டர் 1250 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை LPCVD இன் பல சுழற்சிகளின் போது சிதைவு, விரிசல் அல்லது சிதைவு ஆகியவற்றிற்கு பயப்படாமல் கட்டுப்படுத்தப்படலாம். கூடுதலாக, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றிற்கு அதன் உயர் எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்றம், குறைத்தல் அல்லது அரிக்கும் வளிமண்டலத்தில் பராமரிப்பு மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உருவாக்கும் போது நீண்ட ஓட்டங்களை வழங்குகிறது.

ஒவ்வொரு இன்ஜெக்டரும் அதிநவீன CNC எந்திரம் மற்றும் மெருகூட்டலைப் பயன்படுத்தி உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது, துணை மைக்ரோன் பரிமாண சகிப்புத்தன்மையை அடைகிறது மற்றும் மேற்பரப்புக்கு அதி-மென்மையான பூச்சுகளை அடைகிறது. உயர்தர மேற்பரப்பு பூச்சு வாயு கொந்தளிப்பைக் குறைக்கிறது, சீரற்ற வெப்ப மற்றும் அழுத்த மாற்றங்களில் சீரான ஓட்ட பண்புகளை உறுதி செய்யும் அதே வேளையில் துகள்கள் இல்லாமல் மிகக் குறைவாகவே உருவாக்குகிறது. துல்லியமான உற்பத்தியானது இறுக்கமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறைகளை உறுதிசெய்கிறது, நம்பகமான முடிவுகளை மீண்டும் உருவாக்குகிறது, எனவே சீரான சாதன செயல்திறன்.

Semicorex தனிப்பயன் நீளம், விட்டம் மற்றும் முனை உள்ளமைவுகளில் கிடைக்கும் பெஸ்போக் சிலிக்கான் இன்ஜெக்டர்களை உற்பத்தி செய்கிறது. ஒரு முறை அணு உலை வடிவவியல் அல்லது படிவு செய்முறைகளுக்கு வாயு பரவல் வடிவங்களை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட தீர்வுகளை உருவாக்கலாம். ஒவ்வொரு உட்செலுத்தியும் பரிசோதிக்கப்பட்டு, மிக உயர்ந்த அளவிலான குறைக்கடத்தி தரத்தை வழங்குவதற்காக தூய்மைக்காக சரிபார்க்கப்படுகிறது.சிலிக்கான் கூறுகள்.

Semicorex Silicon Injector இன்றைய செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்குத் தேவையான துல்லியம் மற்றும் தூய்மையை வழங்குகிறது. 9N அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை சிலிக்கான், மைக்ரான்-நிலை எந்திர துல்லியம் மற்றும் உயர் வெப்ப மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவை சீரான வாயு விநியோகம், குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மற்றும் LPCVD பாலிசிலிக்கானை டெபாசிட் செய்யும் போது விதிவிலக்கான நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.