சிலிக்கான் வேஃபர் படகு

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வேஃபர் படகு அமைப்பைத் தனிப்பயனாக்கலாம், இதில் பள்ளம் தடி வடிவம், பள்ளம் பல் நீளம், வடிவம், சாய்ந்த கோணம் மற்றும் மொத்த செதில் ஏற்றுதல் திறன் ஆகியவை அடங்கும், மேலும் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தயாரிக்கலாம். உயர் வெப்பநிலை சிலிக்கான் படகுகள் சிலிக்கான் செதில்களின் தொடர்பு சேதத்தை திறம்பட குறைக்கலாம் மற்றும் செயல்முறை விளைச்சலை மேம்படுத்தலாம். அதன் உயர்-டெம்ப் "ஸ்லிப்-ஃப்ரீ டவர்கள்" வடிவமைப்பு, துணைப் பல்லின் நுனியில் மட்டுமே செதில்களை ஆதரிக்கிறது. ஒப்பிடும்போதுசிலிக்கான் கார்பைடு, சிலிக்கான் ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில்களுக்கு இயந்திர சேதத்தை குறைக்கிறது, இதன் மூலம் லேட்டிஸ் பாஸ் விகிதத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளை திறம்பட குறைக்கிறது. இணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் படகு பல பகுதிகளால் ஆனது: பற்கள், அடிப்படை தட்டு மற்றும் மேல் தட்டு, இவை ஒன்றாக இணைக்கப்பட்டுள்ளன. இதனால் உற்பத்தி செலவு குறைகிறது. பகுதி சேதம் ஏற்பட்டால், சேதமடைந்த பகுதிகளை முழு சிலிக்கான் படகை மாற்றாமல் மாற்றலாம், பயன்பாட்டின் போது உரிமைச் செலவுகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. கூடுதலாக, சிலிக்கான் படகு பாலிசிலிகான் படிவுக்கான ஒரு பெரிய மேல் வரம்பைக் கொண்டுள்ளது, இது PM உபகரணங்களின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கும் மற்றும் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்தும்.

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வேஃபர் படகு ஒரு புதுமையான, நோக்கத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட, செதில் கேரியர் ஆகும். 1200 மற்றும் 1250 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் குறைப்பு செயல்முறைகள் உட்பட, குறைக்கடத்தி தொழிலில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்-வெப்பநிலை உலை செயலாக்கத்திற்காக இது குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்டது. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மெட்டீரியலில் கிடைக்காத செயல்திறன் நன்மைகளைக் கொண்ட சிலிக்கான் வேஃபர் படகு, குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்குத் தேவைப்படும் கடுமையான செயல்முறைகளுக்குப் பொருத்தமான நன்மைகளை வழங்குகிறது. முதலாவதாக, சிலிக்கான் பொருளின் அதி-உயர் தூய்மை குறிப்பிடத்தக்கது; உண்மையில், திசிலிக்கான் பொருள்9N (99.9999999%) க்கும் அதிகமான அதி-உயர்-தூய்மை நிலைகளை அடைகிறது, இதனால் உலோக அல்லது வெளிநாட்டு அசுத்தங்கள் செதில் செயலாக்கத்தை மாசுபடுத்தாது. செயல்திறன் நம்பகத்தன்மை மற்றும் மகசூல் மாசுபாட்டால் பெரிதும் பாதிக்கப்படும் முன்னணி-எட்ஜ் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்திக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது. சிலிக்கான் வேஃபர் படகு ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் குறைப்பு செயலாக்கத்திற்காக மிக அதிக வெப்பநிலைக்கு வெளிப்படும் செதில்களைக் கையாள்வதற்கான மிகவும் மேம்பட்ட தொழில்துறைத் தேவைகளுக்குப் பொருத்தமான உயர் அளவிலான தூய்மையுடன் கூடிய அதி-சுத்தமான சூழலை வழங்குகிறது.

இதன் மற்றொரு நன்மைசிலிக்கான் பொருள்SiC பொருளுடன் ஒப்பிடும்போது அதன் குறைந்த கடினத்தன்மை பண்புகளாகும். SiC பார்கள் அல்லது படகுகள் கடினத்தன்மை மற்றும் வலிமைக்காக அறியப்படுகின்றன, ஆனால் மிகவும் சொத்து செதில் செயலாக்கத்தின் போது சிரமங்களுக்கு வழிவகுக்கும். அதிக வெப்பநிலையில், செதில்கள் நுண்ணிய நகரும்; படகிற்குள் இருக்கும் போது அவை சிறிது துள்ளும், சிறிது சிறிதாக மாறி, விளிம்பு வார்ப். இந்த உயர்-வெப்பநிலை செயலாக்க நிலைமைகளின் கீழ் செதில் மற்றும் படகின் பண்புகள் தொடர்புகொள்வதால், கடினமான, SiC பொருள் செதில்களின் பின்புறத்தில் துகள்கள் அல்லது கீறல்களை உருவாக்கும் அதிக அபாயங்களை ஏற்படுத்தலாம்.

SiC தொடர்பாக சிலிக்கானின் ஒப்பீட்டளவில் மென்மையான தன்மையைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் வேஃபர் படகு இந்தக் கவலையைத் தணிக்கிறது. வெப்பச் சுழற்சிகளின் போது படகுகளை செதில்கள் தொடர்பு கொள்ளும்போது கடினத்தன்மையைக் குறைப்பது குறைவான உராய்வு மற்றும் இயந்திர அழுத்தத்தை அனுமதிக்கிறது. இதன் விளைவாக, துகள்கள் குறைவாகவே உருவாக்கப்படுகின்றன மற்றும் பின்புற கீறல்களின் ஆபத்து கிட்டத்தட்ட பூஜ்ஜியமாகக் குறைக்கப்படுகிறது. மேலும், மேற்பரப்பு குறைபாடுகளைக் குறைப்பதன் மூலம், சிலிக்கான் வேஃபர் படகு நேரடியாக லேட்டிஸின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் பதப்படுத்தப்பட்ட செதில்களின் ஒட்டுமொத்த தகுதி விகிதத்தை உயர்த்துகிறது. அதிகபட்ச தரக் கட்டுப்பாட்டுடன் விளைச்சலை மேம்படுத்தும் குறைக்கடத்தி ஃபேப்களுக்கு, இந்த செயல்திறன் சிலிக்கான் படகை ஒரு கவர்ச்சியான விருப்பமாக மாற்றுகிறது.

சிலிக்கான் அதிக வெப்பநிலையில் நல்ல நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமையை வழங்குகிறது, மீண்டும் மீண்டும் உலை சுழற்சிகளின் போது படகு நம்பகத்தன்மையுடன் சேவை செய்ய அனுமதிக்கிறது. வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது பொருள் சிதைவதை எதிர்க்கிறது, இதனால், விரைவான உலை சுழற்சிகளின் போது கூட துல்லியமான செதில் வைப்பு மற்றும் பொருத்துதல் சகிப்புத்தன்மையை பராமரிக்கிறது. இந்த வெப்ப வலிமையானது நம்பகமான செயல்முறை முடிவுகளை வழங்குகிறது, இது ரன்களுக்கு இடையே குறைந்த மாறுபாட்டுடன் அதிக அளவு உற்பத்திக்கு போதுமானதாக இருக்கும். சிலிக்கான் வேஃபர் படகு உயர் பரிமாண துல்லியத்துடன் நிலையான செதில் பொருத்துதல் மற்றும் இடத்தை உறுதி செய்வதற்காக கட்டப்பட்டுள்ளது. மென்மையான மேற்பரப்புகள், நெருக்கமான வடிவவியல் மற்றும் இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையை உருவாக்க மேம்பட்ட எந்திரம் மற்றும் மெருகூட்டலைப் பயன்படுத்தி படகு புனையப்பட்டது.