MOCVD 3x2'' ரிசீவர்

Semicorex MOCVD 3x2’’ சஸ்பெப்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) உடன் மிக நுணுக்கமான பூச்சு செயல்முறைக்கு உட்படும் அல்ட்ரா-தூய கிராஃபைட் தரங்களைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த SiC பூச்சு பல முக்கியமான செயல்பாடுகளை வழங்குகிறது, குறிப்பாக அடி மூலக்கூறுக்கு விதிவிலக்கான திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துகிறது. அடி மூலக்கூறு முழுவதும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை அடைவதற்கு திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் முக்கியமானது, இதன் மூலம் ஒரே மாதிரியான மற்றும் உயர்தர மெல்லிய பட படிவு உறுதி செய்யப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதனம் தயாரிப்பில் முக்கியமானது.

MOCVD 3x2’’ Susceptor இல் உள்ள முக்கிய வடிவமைப்புக் கருத்தில் ஒன்று, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான வெப்ப விரிவாக்கத்தின் (CTE) இணக்கத்தன்மையின் குணகம் ஆகும். நமது அல்ட்ரா-ப்யூர் கிராஃபைட்டின் வெப்ப விரிவாக்க பண்புகள் சிலிக்கான் கார்பைடுடன் கவனமாகப் பொருந்துகின்றன. இந்த இணக்கத்தன்மை MOCVD செயல்பாட்டில் உள்ளார்ந்த உயர் வெப்பநிலை சுழற்சிகளின் போது வெப்ப அழுத்தங்கள் மற்றும் சாத்தியமான சிதைவின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. வெப்ப அழுத்தத்தின் கீழ் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிப்பது நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு அவசியம், இதன் மூலம் குறைக்கடத்தி செதில்களில் குறைபாடுகள் ஏற்படுவதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது.

வெப்ப இணக்கத்தன்மைக்கு கூடுதலாக, MOCVD 3x2’’ Susceptor ஆனது MOCVD செயல்முறைகளில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முன்னோடி இரசாயனங்களுக்கு வெளிப்படும் போது வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வெளிப்படுத்தும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த செயலற்ற தன்மை, சஸ்பெப்டர் மற்றும் முன்னோடிகளுக்கு இடையே இரசாயன எதிர்வினைகளைத் தடுப்பதற்கு முக்கியமானது, இது மாசுபடுவதற்கு வழிவகுக்கும் மற்றும் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை மோசமாக பாதிக்கலாம். வேதியியல் இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்வதன் மூலம், மெல்லிய படலங்கள் மற்றும் ஒட்டுமொத்த செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க சசெப்டர் உதவுகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் எம்ஓசிவிடி 3x2’’ சஸ்செப்டரின் உற்பத்தி செயல்முறை உயர் துல்லியமான எந்திரத்தை உள்ளடக்கியது, ஒவ்வொரு யூனிட்டும் கடுமையான தரம் மற்றும் பரிமாணத் துல்லியத் தரங்களைச் சந்திப்பதை உறுதி செய்கிறது. ஒவ்வொரு சஸ்பெப்டரும் அதன் துல்லியம் மற்றும் வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புகளுக்கு இணங்குவதை சரிபார்க்க விரிவான முப்பரிமாண பரிசோதனைக்கு உட்படுகிறது. இந்த கடுமையான தரக்கட்டுப்பாட்டு செயல்முறையானது, அடி மூலக்கூறுகள் பாதுகாப்பாகவும் சீராகவும் வைக்கப்படுவதற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, இது செதில்களின் மேற்பரப்பில் கூட படிவதை அடைவதற்கு மிக முக்கியமானது. இறுதி குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு படிவுகளில் சீரான தன்மை முக்கியமானது.

பயனர் வசதி என்பது MOCVD 3x2’’ Susceptor's வடிவமைப்பின் மற்றொரு மூலக்கல்லாகும். அடி மூலக்கூறுகளை எளிதாக ஏற்றுவதற்கும் இறக்குவதற்கும் வசதியாக சசெப்டர் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது செயல்பாட்டுத் திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. கையாளுதலின் இந்த எளிமை, உற்பத்தி செயல்முறையை விரைவுபடுத்துவது மட்டுமல்லாமல், ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் ஆகியவற்றின் போது அடி மூலக்கூறு சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் ஒட்டுமொத்த மகசூலை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் செதில் உடைப்பு மற்றும் குறைபாடுகளுடன் தொடர்புடைய செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

மேலும், MOCVD 3x2’’ சஸ்செப்டர் வலுவான அமிலங்களுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, அவை எச்சங்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை அகற்ற துப்புரவு நடவடிக்கைகளின் போது பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த அமில எதிர்ப்பானது, பல துப்புரவு சுழற்சிகளில் சஸ்பெப்டர் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறன் பண்புகளை பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது. இதன் விளைவாக, சஸ்செப்டரின் செயல்பாட்டு ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது, இது மொத்த உரிமைச் செலவைக் குறைக்க உதவுகிறது மற்றும் காலப்போக்கில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

சுருக்கமாக, செமிகோரெக்ஸின் MOCVD 3x2'' சஸ்செப்டர் ஒரு அதிநவீன மற்றும் மேம்பட்ட கூறு ஆகும், இது சிறந்த வெப்ப பரிமாற்ற திறன், வெப்ப மற்றும் இரசாயன இணக்கத்தன்மை, உயர் துல்லியமான எந்திரம், பயனர் நட்பு வடிவமைப்பு மற்றும் வலுவான அமிலம் உட்பட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது. எதிர்ப்பு. இந்த அம்சங்கள் கூட்டாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத கருவியாக ஆக்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி செதில்களின் உயர்தர, நம்பகமான மற்றும் திறமையான உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது. மேம்பட்ட MOCVD 3x2’’ சஸ்செப்டரை தங்கள் செயல்முறைகளில் ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் அதிக மகசூல், சிறந்த சாதன செயல்திறன் மற்றும் அதிக செலவு குறைந்த உற்பத்தி சுழற்சியை அடைய முடியும்.