LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பர்

எபிடாக்சியல் செயல்முறை LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பருக்குள் நிகழ்கிறது, அங்கு அடி மூலக்கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் சம்பந்தப்பட்ட தீவிர நிலைமைகளுக்கு வெளிப்படும். எதிர்வினை அறை கூறுகளின் நீண்ட ஆயுளையும் செயல்திறனையும் உறுதிப்படுத்த, இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) SiC பூச்சுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

விரிவான விண்ணப்பங்கள்:

சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வேஃபர் கேரியர்கள்:

முதன்மை பங்கு:

சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வேஃபர் கேரியர்கள் என்பது LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பரில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது அடி மூலக்கூறுகளை பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கும் முக்கியமான கூறுகள். அடி மூலக்கூறுகள் ஒரே மாதிரியான வெப்பம் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு வெளிப்படுவதை உறுதி செய்வதில் அவை முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

CVD SiC பூச்சு நன்மைகள்:

வெப்ப கடத்துத்திறன்:

SiC பூச்சு உறிஞ்சியின் வெப்ப கடத்துத்திறனை மேம்படுத்துகிறது, வெப்பம் செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக விநியோகிக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. சீரான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைவதற்கு இந்த சீரான தன்மை அவசியம்.

அரிப்பு எதிர்ப்பு:

SiC பூச்சு, CVD செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஹைட்ரஜன் மற்றும் குளோரினேட்டட் சேர்மங்கள் போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களில் இருந்து சஸ்செப்டரைப் பாதுகாக்கிறது. இந்த பாதுகாப்பு சஸ்செப்டரின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது மற்றும் LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பரில் எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.

எதிர்வினை அறை சுவர்கள்:

முதன்மை பங்கு:

எதிர்வினை அறையின் சுவர்கள் எதிர்வினை சூழலைக் கொண்டிருக்கின்றன மற்றும் LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பரில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும்.

CVD SiC பூச்சு நன்மைகள்:

ஆயுள்:

LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பரின் SiC பூச்சு, அறை சுவர்களின் ஆயுளை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது, அரிப்பு மற்றும் உடல் தேய்மானத்தில் இருந்து பாதுகாக்கிறது. இந்த ஆயுள் பராமரிப்பு மற்றும் மாற்றீட்டின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது, இதனால் செயல்பாட்டு செலவுகள் குறைகிறது.

மாசு தடுப்பு:

அறையின் சுவர்களின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிப்பதன் மூலம், SiC பூச்சு சீரழியும் பொருட்களிலிருந்து மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, சுத்தமான செயலாக்க சூழலை உறுதி செய்கிறது.

முக்கிய நன்மைகள்:

மேம்பட்ட மகசூல்:

செதில்களின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிப்பதன் மூலம், LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பர் அதிக மகசூல் விகிதங்களை ஆதரிக்கிறது, குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறையை மிகவும் திறமையாகவும் செலவு குறைந்ததாகவும் ஆக்குகிறது.

கட்டமைப்பு வலிமை:

LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பரின் SiC பூச்சு, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் இயந்திர வலிமையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, மேலும் செதில் கேரியர்களை மிகவும் வலுவானதாகவும், மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலின் இயந்திர அழுத்தங்களைத் தாங்கும் திறன் கொண்டதாகவும் ஆக்குகிறது.

நீண்ட ஆயுள்:

அதிகரித்த இயந்திர வலிமை LPE ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பரின் ஒட்டுமொத்த ஆயுளுக்கு பங்களிக்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது மற்றும் செயல்பாட்டு செலவுகளை மேலும் குறைக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு தரம்:

வெற்று கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பிடும்போது SiC பூச்சு ஒரு மென்மையான மேற்பரப்பில் விளைகிறது. இந்த மென்மையான பூச்சு துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கிறது, இது சுத்தமான செயலாக்க சூழலை பராமரிக்க முக்கியமானது.

மாசு குறைப்பு:

ஒரு மென்மையான மேற்பரப்பு செதில் மீது மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தை குறைக்கிறது, குறைக்கடத்தி அடுக்குகளின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் இறுதி சாதனங்களின் ஒட்டுமொத்த தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

சுத்தமான செயலாக்க சூழல்:

செமிகோரெக்ஸ் எல்பிஇ ஹாஃப்மூன் ரியாக்ஷன் சேம்பர், பூசப்படாத கிராஃபைட்டை விட கணிசமாக குறைவான துகள்களை உருவாக்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மாசு இல்லாத சூழலை பராமரிக்க இன்றியமையாதது.

அதிக மகசூல் விகிதங்கள்:

குறைக்கப்பட்ட துகள் மாசுபாடு குறைவான குறைபாடுகள் மற்றும் அதிக மகசூல் விகிதங்களுக்கு வழிவகுக்கிறது, இது மிகவும் போட்டித்தன்மை வாய்ந்த குறைக்கடத்தி துறையில் முக்கியமான காரணிகளாகும்.