சிலிக்கான் பொறித்தல் மோதிரங்கள்

சிலிக்கான் பொறித்தல் வளையங்கள் CCP/ICP எட்ச் கருவியின் பிளாஸ்மா எட்ச் அறைக்குள் அத்தியாவசியமான கூறுகளாகும், மேலும் அவை பொதுவாக குறைக்கடத்தி செதில்களைச் சுற்றி வைக்கப்படுகின்றன. அவற்றின் முதன்மை செயல்பாடுகள் குறைக்கடத்தி செதில்களை ஆதரிப்பது, சீரான பிளாஸ்மா விநியோகத்தை பராமரிப்பது, செதில் விளிம்பைப் பாதுகாப்பது, இதனால் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைக்கு உகந்த இயக்க நிலைமைகளை உருவாக்க உதவுகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் எச்சிங் வளையங்களின் நன்மைகள்

1. பிரீமியம் பொருள் தேர்வு

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் எச்சிங் மோதிரங்கள் கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட உயர் தூய்மையான MCZ இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றனஒற்றைப் படிக சிலிக்கான், இது வழக்கமான CZ மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் மீது பின்வரும் சிறந்த பண்புகளை வழங்குகிறது.

உயர் தூய்மை: தூய்மையானது 99.9999999% க்கு மேல் உள்ளது, அதாவது செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் எச்சிங் மோதிரங்களில் கிட்டத்தட்ட அசுத்தங்கள் இல்லை. இந்த அதி-உயர் தூய்மையானது பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது கூறு அசுத்தங்களிலிருந்து குறுக்கிடுவதை திறம்பட தவிர்க்கலாம், இதன் மூலம் அதிக செதுக்குதல் துல்லியத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.

நிலையான அமைப்பு: MCZ மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வழக்கமான CZ மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானைக் காட்டிலும் குறைந்த குறைபாடுகளுடன் உயர்ந்த படிக அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. இந்த நிலையான படிக அமைப்பு செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் எச்சிங் மோதிரங்களுக்கு பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு மேம்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்பை அளிக்கிறது மற்றும் கடுமையான பொறித்தல் இயக்க நிலைமைகளைத் தாங்க உதவுகிறது.

சிறந்த எதிர்ப்புத் தன்மை ஒற்றுமை:செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் பொறித்தல் வளையங்கள்RRG <5% உடன் விதிவிலக்கான எதிர்ப்புத் தன்மையை வழங்குதல். குறைந்த கட்டணம். (<0.02 Ω·cm), மிடில் ரெஸ். (0.2–25 Ω·cm), உயர் ரெஸ். (>100 Ω·cm). இந்த சிறந்த எதிர்ப்புத் தன்மை சீரானது, அதிகப்படியான உயர் அல்லது குறைந்த மின்தடையால் ஏற்படும் சீரற்ற பிளாஸ்மா விநியோகத்தைக் குறைக்கலாம், இது உயர் துல்லியமான பிளாஸ்மா பொறிப்புக்கான சிறந்த மின்சார புலத்திற்கு பங்களிக்கிறது.

2. துல்லியமான செயலாக்கம் மற்றும் கண்டிப்பான தர ஆய்வு

Semicorex எங்கள் மதிப்புமிக்க வாடிக்கையாளர்களுக்கு தனிப்பட்ட தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் தொழில்நுட்ப மதிப்பீடுகளை வழங்கக்கூடிய அனுபவமிக்க தொழில்நுட்பக் குழுவைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் தயாரிப்பு தரத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்க முறையான செயலாக்கம் மற்றும் ஆய்வு நடைமுறைகளையும் நிறுவியுள்ளது.

நெகிழ்வான தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள்: Semicorex வாடிக்கையாளர் வரைபடங்களின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கலை ஆதரிக்கிறது, மேலும் சிலிக்கான் எச்சிங் வளையங்களின் அதிகபட்ச தனிப்பயன் விட்டம் 470 மிமீ வரை இருக்கலாம்.

உயர்தர மேற்பரப்பு சிகிச்சை: மெருகூட்டல் துல்லியமானது Ra <0.1 µm க்குள் கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்படலாம், மேலும் நன்றாக அரைப்பது Ra > 0.1 µm என்ற மேற்பரப்பை அடையும்.

கடுமையான தர ஆய்வு: சிலிக்கான் பொறித்தல் வளையங்கள் சில்லுகள், கீறல்கள், விரிசல்கள், கறைகள் மற்றும் பிற குறைபாடுகள் இல்லாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்ய பரிமாண அளவீடு, மின்தடை சோதனை மற்றும் காட்சி ஆய்வு ஆகியவை மேற்கொள்ளப்படும்.