சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகள்

மேம்பட்ட எட்ச் கருவியின் போது, ​​சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனையானது பொதுவாக செமிகண்டக்டர் செதில்களை நோக்கி பொறிக்கும் அறையின் மேற்புறத்தில் பொருத்தப்படும். சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனையானது பொதுவாக எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக், Si ஃபோகஸ் ரிங், Si விளிம்பு வளையம், Si வெளியேற்ற வளையம் மற்றும் Si ஷீல்டிங் வளையம் ஆகியவற்றுடன் இணைந்து உயர்-துல்லியமான பொறிப்பிற்கு உகந்த இயக்க நிலைமைகளை வழங்குகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகளின் செயல்பாடுகள்

1. சிக்கலான 3D கட்டமைப்பு பொறிப்புடன் இணக்கமானது

விதிவிலக்கான 3D மின்சார புல கட்டுப்பாட்டு திறனுடன், Semicorexசிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகள்சிக்கலான கட்டமைப்புகளின் வடிவியல் பண்புகளை முழுமையாக பொருத்த முடியும். சிறப்பு வளைந்த வடிவமைப்பு துல்லியமான பிளாஸ்மா கட்டுப்பாடு மற்றும் உகந்த ஆற்றல் விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது, இது 3D கட்டமைப்பு செதுக்கலின் விகிதத்தையும் பக்கச்சுவர் செங்குத்துத்தன்மையையும் கணிசமாக பாதிக்கிறது மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகள் மற்றும் 3D ஐசி ஒருங்கிணைப்பின் உற்பத்தி வரி தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்கிறது.

2. எட்ச் வாயு விநியோகத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகள் பொறிப்பு அறைக்குள் நுழைவதற்கு எட்ச் வாயுவுக்காக அவற்றின் மேற்பரப்பில் ஒரே மாதிரியாக விநியோகிக்கப்படும் பல மைக்ரோ-துளைகளைக் கொண்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகள் எட்ச் வாயுவின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அடையலாம் மற்றும் அதை பொறிக்கும் அறையில் ஒரே சீராக விநியோகிக்க அனுமதிக்கும், இதன் மூலம் சீரான வாயு விநியோகத்தால் ஏற்படும் செயல்முறை மாறுபாடுகளைக் குறைக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகளின் நன்மைகள்

1. அதி உயர் தூய்மை

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகள் அதி-உயர்-தூய்மை ஒற்றை-படிகத்தால் செய்யப்படுகின்றனசிலிக்கான்99.9999999%க்கு மேல் தூய்மை நிலையுடன், பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த உயர்தர பொருள் தேர்வு, சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகளின் சேவை ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கும் அதே வேளையில், துணை தயாரிப்புகளை பொறிப்பதன் விளைவாக ஏற்படும் தேவையற்ற மாசுபாட்டை திறம்பட தவிர்க்கலாம்.

2. சிறந்த மின் பண்புகள்

MCZ-வளர்ந்த ஒற்றை-படிக சிலிக்கானில் இருந்து தயாரிக்கப்பட்ட, செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகள் சிறந்த எதிர்ப்புத் தன்மையை வெளிப்படுத்துகின்றன: ＜5%, மற்றும் ஒரு பரந்த தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட எதிர்ப்புத் திறன் வரம்பு: குறைந்த ரெஸ். (<0.02), நடுத்தர ரெஸ். (1-4), மற்றும் உயர் ரெஸ். (70-90).

3. துல்லியமான செயலாக்க துல்லியம்

உயர் துல்லியமான இயந்திர செயலாக்கத்தின் மூலம், செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வளைந்த மின்முனைகள் சீரான துளை அளவு மற்றும் சீரான துளை விநியோகத்தை அடைகின்றன. அவற்றின் மேற்பரப்புகள் நன்றாக மெருகூட்டப்பட்டு தரைமட்டமாக உள்ளன: பளபளப்பான (Ra <0.1 μm) மற்றும் தரை (Ra <1.6 μm), ஒட்டுமொத்த எந்திரத் துல்லியம் 0.03 மிமீக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.