செமிகோரெக்ஸ் செயற்கைக்கோள் தட்டு என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி உலைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான அங்கமாகும், இது குறிப்பாக அக்ஸ்ட்ரான் ஜி 5+ கருவிகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. தொழில்துறை பயன்பாடுகளை கோருவதற்கு ஏற்றவாறு நம்பகமான, உயர் செயல்திறன் கொண்ட தீர்வுகளை வழங்க செமிகோரெக்ஸ் மேம்பட்ட பொருள் நிபுணத்துவத்தை அதிநவீன பூச்சு தொழில்நுட்பத்துடன் ஒருங்கிணைக்கிறது.*
செமிகோரெக்ஸ் செயற்கைக்கோள் தட்டு என்பது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது ஒரு முக்கியமான செதில் கேரியராகும், இது சீரான படிவு மற்றும் உகந்த செயல்முறை செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து கட்டப்பட்டு, வலுவான சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) அடுக்குடன் பூசப்பட்ட இந்த தட்டு விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது, இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத கூறுகளாக அதன் நிலையை உறுதிப்படுத்துகிறது.
உயர் தூய்மை கிராஃபைட் தளத்துடன், செயற்கைக்கோள் தட்டு வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டில் சிறந்து விளங்குகிறது. திSic பூச்சுஅதன் ஆயுளை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, வேதியியல் செயலற்ற தன்மை மற்றும் துகள் தலைமுறையை வியத்தகு முறையில் குறைக்கிறது. இந்த சக்திவாய்ந்த கலவையானது தட்டு கடுமையான செயலாக்க நிலைமைகளைத் தாங்குவதை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் உயர் மட்டத்தில் தொடர்ந்து செயல்படுகிறது. கிராஃபைட் அடிப்படை திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை எளிதாக்குகிறது, செதில் முழுவதும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களிலிருந்து பாதுகாக்கிறது, மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை விரிவுபடுத்துகிறது. கூடுதலாக, SIC மேற்பரப்பு துகள் வெளியீட்டைக் குறைக்கிறது, இது அதிக மகசூல் குறைக்கடத்தி புனையலை அடைய முக்கியமானது.
அக்ஸ்ட்ரான் ஜி 5+ அமைப்புகளுடன் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்புக்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட, செயற்கைக்கோள் தட்டு துல்லியமான செதில் நிலைப்படுத்தல் மற்றும் சுழற்சி சமநிலையை உறுதிப்படுத்துகிறது, இது நிலையான வெப்ப நிலைமைகளை பராமரிப்பதற்கும் குறைபாடு விகிதங்களைக் குறைப்பதற்கும் அவசியம். தட்டின் மேம்பட்ட பொருள் கலவை அதன் சேவை வாழ்க்கையை விரிவுபடுத்துவது மட்டுமல்லாமல், செயல்பாட்டு செலவுகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி உற்பத்தித்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
முதன்மையாக உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறைக்கடத்தி செதில்களில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்ப்பதற்கு செயற்கைக்கோள் தட்டு முக்கியமானது. எல்.ஈ. நிலையான வெப்ப நிலைமைகளை உறுதி செய்வதன் மூலமும், மாசுபாட்டைக் குறைப்பதன் மூலமும், செயற்கைக்கோள் தட்டு நிலையான எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சிக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, இது மேம்பட்ட செதில் கையாளுதல் மற்றும் அதிக மகசூல் விகிதங்களுக்கு வழிவகுக்கிறது. அதன் உகந்த வடிவமைப்பு செதில் ஆதரவை திறமையாகப் பாதுகாக்கிறது, குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்க நிலைகள் முழுவதும் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.
செமிகோரெக்ஸ் செயற்கைக்கோள் தட்டு Aixtron G5+ Epitaxy உலைகளுக்கு ஒரு முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது, இது இணையற்ற ஆயுள், வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப செயல்திறனை வழங்குகிறது. அதன் அதிநவீன பொருள் கலவை மற்றும் பொறியியல் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைக்கு முக்கியமானதாக அமைகிறது, இது அதிக மகசூல் மற்றும் உயர்தர செதில்களின் உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது. உங்கள் குறைக்கடத்தி புனையலை உயர்த்தவும், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் சிறந்து விளங்கவும் செயற்கைக்கோள் தட்டில் முதலீடு செய்யுங்கள்.