SiC பூச்சு பிளாட் ஏற்பி

செமிகோரெக்ஸ்SiC பூச்சுபிளாட் சஸ்பெப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அத்தியாவசிய வேஃபர் ஹோல்டர் ஆகும். அடி மூலக்கூறுகளில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் படிவதை ஆதரிப்பதற்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த சப்செப்டர் LED சாதனங்கள், உயர்-சக்தி சாதனங்கள் மற்றும் RF தகவல் தொடர்பு தொழில்நுட்பங்கள் போன்ற உயர் செயல்திறன் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக உள்ளது. CVD (ரசாயன நீராவி படிவு) நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளில் GaAs, கடத்தும் SiC அடி மூலக்கூறுகளில் SiC மற்றும் அரை-இன்சுலேடிங் SiC அடி மூலக்கூறுகளில் GaN போன்ற முக்கியமான அடுக்குகளின் துல்லியமான வளர்ச்சியை இது செயல்படுத்துகிறது.

செதில் உற்பத்தி செயல்முறையின் போது, ​​​​சில செதில் அடி மூலக்கூறுகள் சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்கு வசதியாக எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை மேலும் உருவாக்க வேண்டும். வழக்கமான எடுத்துக்காட்டுகளில் LED ஒளி-உமிழும் சாதனங்கள் அடங்கும், அவை சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளில் GaAs எபிடாக்சியல் அடுக்குகளைத் தயாரிக்க வேண்டும்; உயர் மின்னழுத்தம், உயர் மின்னோட்டம் மற்றும் பிற ஆற்றல் பயன்பாடுகளுக்கு SBDகள் மற்றும் MOSFETகள் போன்ற சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கு SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் கடத்தும் SiC அடி மூலக்கூறுகளில் வளர்க்கப்படுகின்றன; தகவல்தொடர்பு மற்றும் பிற ரேடியோ அலைவரிசை பயன்பாடுகளுக்கான HEMT மற்றும் பிற சாதனங்களை மேலும் கட்டமைக்க GaN எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் அரை-இன்சுலேடிங் SiC அடி மூலக்கூறுகளில் கட்டப்பட்டுள்ளன. இந்த செயல்முறை CVD உபகரணங்களிலிருந்து பிரிக்க முடியாதது.

CVD உபகரணங்களில், அடி மூலக்கூறை நேரடியாக உலோகத்தின் மீது அல்லது எபிடாக்சியல் படிவுக்கான அடித்தளத்தில் வைக்க முடியாது, ஏனெனில் இது வாயு ஓட்டத்தின் திசை (கிடைமட்ட, செங்குத்து), வெப்பநிலை, அழுத்தம், நிலைப்படுத்தல் மற்றும் வீழ்ச்சியடையும் அசுத்தங்கள் போன்ற பல்வேறு காரணிகளை உள்ளடக்கியது. எனவே, ஒரு அடித்தளம் தேவைப்படுகிறது, பின்னர் அடி மூலக்கூறு ஒரு தட்டில் வைக்கப்படுகிறது, பின்னர் அடி மூலக்கூறைப் பயன்படுத்தி எபிடாக்சியல் படிவு செய்யப்படுகிறதுCVD தொழில்நுட்பம். இந்த தளம் ஒரு SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தளமாகும் (இது தட்டு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது).

விண்ணப்பங்கள்

திSiC பூச்சுFlat Susceptor பல்வேறு தொழில்களில் வெவ்வேறு பயன்பாடுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

LED உற்பத்தி: GaAs-அடிப்படையிலான LEDகளின் உற்பத்தியில், சசெப்டர் CVD செயல்பாட்டின் போது சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளை வைத்திருக்கிறது, GaAs எபிடாக்சியல் லேயர் துல்லியமாக டெபாசிட் செய்யப்படுவதை உறுதி செய்கிறது.

உயர்-சக்தி சாதனங்கள்: SiC-அடிப்படையிலான MOSFETகள் மற்றும் Schottky Barrier Diodes (SBDs) போன்ற சாதனங்களுக்கு, உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் உயர்-தற்போதைய பயன்பாடுகளுக்கு அவசியமான கடத்தும் SiC அடி மூலக்கூறுகளில் SiC அடுக்குகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை susceptor ஆதரிக்கிறது.

RF தொடர்பாடல் சாதனங்கள்: அரை-இன்சுலேடிங் SiC அடி மூலக்கூறுகளில் GaN HEMTகளின் வளர்ச்சியில், உயர் அதிர்வெண் மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட RF பயன்பாடுகளுக்கு முக்கியமான துல்லியமான அடுக்குகளை வளர்க்கத் தேவையான நிலைத்தன்மையை சஸ்பெக்டர் வழங்குகிறது.

SiC கோட்டிங் பிளாட் சஸ்செப்டரின் பல்துறைத்திறன் இந்த மாறுபட்ட பயன்பாடுகளுக்கான எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியில் ஒரு முக்கிய கருவியாக அமைகிறது.

MOCVD உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாக, கிராஃபைட் சசெப்டர் என்பது அடி மூலக்கூறின் கேரியர் மற்றும் வெப்பமூட்டும் உறுப்பு ஆகும், இது மெல்லிய படப் பொருளின் சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. எனவே, அதன் தரம் நேரடியாக எபிடாக்சியல் செதில்களின் தயாரிப்பை பாதிக்கிறது. அதே நேரத்தில், பயன்பாட்டு நேரங்களின் அதிகரிப்பு மற்றும் வேலை நிலைமைகளில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் ஆகியவற்றால் தேய்ந்து போவது மிகவும் எளிதானது, மேலும் இது ஒரு நுகர்வு ஆகும்.

SiC கோட்டிங் பிளாட் சஸ்பெப்டர் CVD செயல்முறையின் கடுமையான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது:

• உகந்த வாயு ஓட்டம்: சஸ்செப்டரின் தட்டையான வடிவமைப்பு அடி மூலக்கூறைச் சுற்றி சீரான வாயு ஓட்டத்தை பராமரிக்க உதவுகிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் சீரான படிவுக்கு முக்கியமானது.
• வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறனுடன், SiC பூச்சு பிளாட் சஸ்பெப்டர் படிவு செயல்பாட்டின் போது வெப்பநிலையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கிறது. அடி மூலக்கூறு தேவையான வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் இருப்பதை இது உறுதி செய்கிறது, இது தேவையான பொருள் பண்புகளை அடைவதற்கு அவசியம்.
• எளிதான கையாளுதல்: சஸ்பெப்டரின் தட்டையான, மென்மையான மேற்பரப்பு, மென்மையான செதில்களுக்கு சேதம் விளைவிக்காமல் அல்லது அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தாமல் அடி மூலக்கூறுகளைக் கையாளவும் ஏற்றவும் / இறக்கவும் எளிதாக்குகிறது.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு ஒரு நிலையான, சுத்தமான மற்றும் வெப்ப திறன்மிக்க தளத்தை வழங்குவதன் மூலம், SiC கோட்டிங் பிளாட் சஸ்பெப்டர் CVD செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

செமிகோரெக்ஸ்SiC பூச்சுபிளாட் சஸ்பெப்டர் துல்லியம் மற்றும் தரத்தின் மிக உயர்ந்த தரத்தை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது முக்கியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் சிறந்த செயல்திறனுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. சீரான தயாரிப்புகளை வழங்குவதை நாங்கள் நிரூபிக்கிறோம், CVD அமைப்புகளில் நம்பகமான முடிவுகள், சிறந்த குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியை மேம்படுத்துகிறோம். குறிப்பிடத்தக்க இரசாயன எதிர்ப்பு, விதிவிலக்கான வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் இணையற்ற நீடித்துழைப்பு ஆகியவற்றுடன், செமிகோரெக்ஸ் SiC பூச்சு பிளாட் சஸ்பெப்டர், செதில் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளை மேம்படுத்துவதை நோக்கமாகக் கொண்ட உற்பத்தியாளர்களுக்கு உறுதியான தேர்வாக உள்ளது.

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோட்டிங் பிளாட் சஸ்செப்டர் என்பது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத அங்கமாகும். அதன் உயர்ந்த ஆயுள், வெப்ப மற்றும் இரசாயன அழுத்தங்களுக்கு எதிர்ப்பு மற்றும் படிவு செயல்பாட்டின் போது துல்லியமான நிலைமைகளை பராமரிக்கும் திறன் ஆகியவை நவீன CVD அமைப்புகளுக்கு அவசியமானவை. Semicorex SiC கோட்டிங் பிளாட் சஸ்பெப்டருடன், உற்பத்தியாளர்கள் மிக உயர்ந்த தரமான எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை அடைவதற்கான வலுவான தீர்வைப் பெறுகிறார்கள், இது பல குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் சிறந்த செயல்திறனுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்காக உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட தயாரிப்புகளுடன் உங்கள் உற்பத்தி செயல்முறையை மேம்படுத்த Semicorex உடன் கூட்டு சேருங்கள்.