SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸின் பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் ட்ரே, வேஃபர் ப்ராசஸிங்கிற்காக குறிப்பாக தேவைப்படும் எபிடாக்ஸி உபகரண பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. MOCVD, epitaxy susceptors, pancake அல்லது செயற்கைக்கோள் இயங்குதளங்கள் மற்றும் செதில் போன்ற செதில்களைக் கையாளுதல் போன்ற மெல்லிய-பட வைப்பு நிலைகளுக்கு எங்கள் அல்ட்ரா-ப்யூர் கிராஃபைட் கேரியர் சிறந்தது. வேஃபர் செயலாக்கத்திற்கான PSS எட்ச்சிங் கேரியர் ட்ரே அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகள் மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. எங்கள் தயாரிப்புகள் செலவு குறைந்தவை மற்றும் நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளன. நாங்கள் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளுக்கு சேவை செய்கிறோம் மற்றும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸில், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான கடுமையான சூழல்களுக்காக, எல்.ஈ.டிக்கு PSS எட்ச்சிங் கேரியர் ட்ரேயை வடிவமைத்துள்ளோம். MOCVD, epitaxy susceptors, pancake அல்லது செயற்கைக்கோள் இயங்குதளங்கள் மற்றும் செதில் போன்ற செதில்களைக் கையாளுதல் போன்ற மெல்லிய-பட வைப்பு நிலைகளுக்கு எங்கள் அல்ட்ரா-ப்யூர் கிராஃபைட் கேரியர் சிறந்தது. SiC பூசப்பட்ட கேரியர் அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகள் மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. எல்இடிக்கான எங்கள் பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் ட்ரே செலவு குறைந்த மற்றும் நல்ல விலை நன்மையை வழங்குகிறது. நாங்கள் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளுக்கு சேவை செய்கிறோம் மற்றும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகண்டக்டருக்கான செமிகோரெக்ஸ் பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் சூழல்களுக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகண்டக்டருக்கான எங்களின் அல்ட்ரா-ப்யூர் பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட், MOCVD மற்றும் எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர்கள், பான்கேக் அல்லது சாட்டிலைட் பிளாட்ஃபார்ம்கள் போன்ற மெல்லிய-ஃபிலிம் டெபாசிஷன் கட்டங்களில் செதில்களை ஆதரிக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எங்கள் SiC பூசப்பட்ட கேரியர் அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகள் மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. நாங்கள் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு செலவு குறைந்த தீர்வுகளை வழங்குகிறோம், மேலும் எங்கள் தயாரிப்புகள் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது.......
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புஎபிக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் வேஃபர் கேரியர்கள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி கோடட் பிஎஸ்எஸ் எட்ச்சிங் கேரியர் இந்த கோரும் எபிடாக்ஸி உபகரண பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எங்கள் தயாரிப்புகளுக்கு நல்ல விலை நன்மை உள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புLPE எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான Semicorex SiC கோடட் பேரல் சஸ்பெப்டர் என்பது நீண்ட காலத்திற்கு நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் தயாரிப்பு ஆகும். அதன் வெப்ப சுயவிவரம், லேமினார் வாயு ஓட்ட முறை மற்றும் மாசுபடுவதைத் தடுப்பது ஆகியவை செதில் சில்லுகளில் உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன. அதன் தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் செலவு-செயல்திறன் அதை சந்தையில் அதிக போட்டித்தன்மை கொண்ட தயாரிப்பாக ஆக்குகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் பேரல் சஸ்செப்டர் எபி சிஸ்டம் என்பது உயர்தர தயாரிப்பு ஆகும், இது சிறந்த பூச்சு ஒட்டுதல், அதிக தூய்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. அதன் வெப்ப சுயவிவரம், லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை மற்றும் மாசுபடுவதைத் தடுப்பது ஆகியவை செதில் சில்லுகளில் எபிக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன. அதன் செலவு-செயல்திறன் மற்றும் தனிப்பயனாக்குதல் ஆகியவை சந்தையில் அதிக போட்டித்தன்மை கொண்ட தயாரிப்பாக அமைகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு