SiC பூச்சு என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் உறிஞ்சி மீது ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் சிலிக்கானை விட பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இதில் 10x முறிவு மின்சார புலம் வலிமை, 3x பேண்ட் இடைவெளி, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, நீண்ட காலம் நீடிக்கும் கூறுகளுடன் புதுமைப்படுத்த உதவுகிறது, சுழற்சி நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SiC பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெக்டர் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பச் சிதைவுக்கு உட்படாமல் 1600 ° C வரை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.
இரசாயன எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு வகையான இரசாயனங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீர் சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: CVD SiC பூச்சு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பொருளை வழங்குகிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் தேவைப்படும் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு: சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையுடன் பொருளை வழங்குகிறது, இது அதிக இயந்திர வலிமை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
SiC பூச்சு பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
LED உற்பத்தி: CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் காரணமாக நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் deep-UV LED உட்பட பல்வேறு LED வகைகளின் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மொபைல் தொடர்பு: GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையை முடிக்க CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் HEMT இன் முக்கியமான பகுதியாகும்.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம்: செமிகண்டக்டர் துறையில் CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (SiC) கிராஃபைட் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது, இந்த பூச்சு CVD முறையின் மூலம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட்டின் குறிப்பிட்ட தரங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, எனவே இது 3000 °C க்கும் அதிகமான மந்த வளிமண்டலத்தில், 2200 ° C வெற்றிடத்தில் அதிக வெப்பநிலை உலைகளில் செயல்பட முடியும். .
பொருளின் சிறப்பு பண்புகள் மற்றும் குறைந்த நிறை ஆகியவை வேகமான வெப்ப விகிதங்கள், சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டில் சிறந்த துல்லியத்தை அனுமதிக்கின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
கட்டமைப்பு |
|
FCC β கட்டம் |
நோக்குநிலை |
பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
முடிவு CVD SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் என்பது சசெப்டர் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு கூட்டுப் பொருளாகும். இந்த பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை மற்றும் விறைப்பு உள்ளிட்ட தனித்துவமான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம், இரசாயன செயலாக்கம், வெப்ப சிகிச்சை, சூரிய மின்கல உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான பொருளாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸின் ஐசிபி எச்சிங் வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது எபிடாக்ஸி மற்றும் எம்ஓசிவிடி போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்கு சரியான தீர்வாகும். 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை நிலையான, உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புடன், எங்கள் கேரியர்கள் வெப்ப சுயவிவரங்கள், லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைகள் மற்றும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கின்றன.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸின் ICP எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட் என்பது செதில் கையாளுதல் மற்றும் மெல்லிய படப் படிவு செயல்முறைகளுக்கு சரியான தீர்வாகும். எங்கள் தயாரிப்பு சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பையும், வெப்ப சீரான தன்மையையும், லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைகளையும் வழங்குகிறது. சுத்தமான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்புடன், எங்கள் கேரியர் பழமையான செதில்களைக் கையாளுவதற்கு ஏற்றது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புICP பொறித்தல் செயல்முறைக்கான செமிகோரெக்ஸின் வேஃபர் ஹோல்டர், வேஃபர் கையாளுதல் மற்றும் மெல்லிய படப் படிவு செயல்முறைகளுக்கு சரியான தேர்வாகும். எங்கள் தயாரிப்பு சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் நிலையான மற்றும் நம்பகமான முடிவுகளுக்கு உகந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைகள் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸின் ICP சிலிக்கான் கார்பன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் என்பது செதில் கையாளுதல் மற்றும் மெல்லிய படப் படிவு செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த தேர்வாகும். எங்கள் தயாரிப்பு சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் உகந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைகள் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புஉயர்தர எபிடாக்ஸி மற்றும் எம்ஓசிவிடி செயல்முறைகளுக்கு பிஎஸ்எஸ் செயல்முறைக்கான செமிகோரெக்ஸின் ஐசிபி பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் சிஸ்டத்தைத் தேர்வு செய்யவும். எங்கள் தயாரிப்பு இந்த செயல்முறைகளுக்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. சுத்தமான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்புடன், எங்கள் கேரியர் பழமையான செதில்களைக் கையாளுவதற்கு ஏற்றது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸின் ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் பிளேட், செதில் கையாளுதல் மற்றும் மெல்லிய படல படிவு செயல்முறைகளுக்கு உயர்ந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. எங்கள் தயாரிப்பு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம், ஆயுள் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சுத்தமான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்புடன், எங்கள் கேரியர் பழமையான செதில்களைக் கையாளுவதற்கு ஏற்றது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு