செமிகோரெக்ஸ் என்பது செமிகண்டக்டர் துறையில் நம்பகமான பெயர், இது செமிகண்டக்டருக்கான உயர்தர MOCVD பிளானட் சசெப்டரை வழங்குகிறது. சிறந்த செயல்திறன், நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை வழங்கக்கூடிய கேரியரைத் தேடும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் எங்கள் தயாரிப்பு வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எங்கள் தயாரிப்பு மற்றும் உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு நாங்கள் உங்களுக்கு எவ்வாறு உதவலாம் என்பதைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
செமிகண்டக்டருக்கான எங்கள் எம்ஓசிவிடி பிளானட் சஸ்பெப்டர் உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் அதன் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. இது மிகவும் தூய்மையானது, உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது, உற்பத்தியின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, வெப்ப சுயவிவரம் மற்றும் லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறையும் கூட.
செமிகண்டக்டருக்கான எங்களின் எம்ஓசிவிடி பிளானட் சஸ்செப்டர் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
செமிகண்டக்டருக்கான MOCVD பிளானட் சஸ்பெப்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
MOCVDக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டரின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்