Semicorex MOCVD Wafer Carriers for Semiconductor Industry என்பது செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர்மட்ட கேரியர் ஆகும். அதன் உயர்-தூய்மை பொருள் வெப்ப சுயவிவரத்தையும் லேமினார் வாயு ஓட்ட முறையையும் உறுதிசெய்கிறது, உயர்தர செதில்களை வழங்குகிறது.
செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான எங்கள் MOCVD வேஃபர் கேரியர்கள் மிகவும் தூய்மையானது, உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது, இது தயாரிப்பின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. இது மிகவும் அரிப்பை எதிர்க்கும், அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்களுடன், அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைகளை எதிர்க்கும். அதன் உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான எங்கள் MOCVD வேஃபர் கேரியர்களைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான MOCVD வேஃபர் கேரியர்களின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
MOCVDக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டரின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்