செமிகோரெக்ஸ் என்பது சீனாவில் உள்ள சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெக்டரின் பெரிய அளவிலான உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும். சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குகள் மற்றும் எபிடாக்ஸி குறைக்கடத்தி போன்ற குறைக்கடத்தி தொழில்களில் நாங்கள் கவனம் செலுத்துகிறோம். எங்கள் SiC Epi-Wafer Susceptor ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
செமிகோரெக்ஸ், செதில்களை ஆதரிக்கப் பயன்படும் எம்ஓசிவிடியால் பூசப்பட்ட SiC Epi-Wafer Susceptor ஐ வழங்குகிறது. அவற்றின் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கட்டுமானமானது உயர்ந்த வெப்ப எதிர்ப்பையும், நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும், நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது. ஃபைன் SiC கிரிஸ்டல் பூச்சு ஒரு சுத்தமான, மென்மையான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, பழமையான செதில்கள் அவற்றின் முழுப் பகுதியிலும் பல புள்ளிகளில் சசெப்டரைத் தொடர்புகொள்வதால் கையாளுவதற்கு முக்கியமானதாகும்.
எங்களின் SiC Epi-Wafer Susceptor சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
எங்கள் SiC Epi-Wafer Susceptor பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
SiC Epi-Wafer Susceptor இன் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
SiC Epi-Wafer Susceptor இன் அம்சங்கள்
உயர் தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்
சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை
மென்மையான மேற்பரப்பிற்காக ஃபைன் SiC கிரிஸ்டல் பூசப்பட்டது
இரசாயன சுத்தம் எதிராக உயர் ஆயுள்
விரிசல் மற்றும் சிதைவு ஏற்படாத வகையில் பொருள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.