Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor என்பது கிராஃபைட் எபிடாக்ஸி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த தீர்வாகும். எங்கள் அதி-தூய்மையான தயாரிப்பு குறைந்தபட்ச மாசுபாடு மற்றும் விதிவிலக்கான நீண்ட ஆயுள் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, இது பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளில் பிரபலமான தேர்வாக அமைகிறது. சீனாவில் செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கேரியர்களின் முன்னணி வழங்குநராக, உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
எங்கள் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் என்பது உயர் தூய்மையான SiC உடன் பூசப்பட்ட ஒரு கிராஃபைட் தயாரிப்பு ஆகும், இது அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கேரியர் செமிகண்டக்டர் செதில்களில் எபிடாக்சியல் அடுக்கை உருவாக்கும் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது திறமையான மற்றும் துல்லியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு அவசியம்.
எங்கள் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வேஃபர் சஸ்பெப்டரின் முக்கிய அம்சங்களில் ஒன்று அதன் சிறந்த அடர்த்தி. கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும். ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர், உயர்தர செதில் உற்பத்தியைப் பராமரிக்க மிகவும் அவசியமான மேற்பரப்புத் தட்டையானது.
எங்கள் தயாரிப்பின் மற்றொரு முக்கிய அம்சம், கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கும் திறன் ஆகும். இது பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது, விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்கிறது. கூடுதலாக, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன, உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது வெப்பம் சமமாக விநியோகிக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது.
எங்கள் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வேஃபர் சஸ்செப்டர் உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும், இது நம்பகமான மற்றும் நீடித்த தயாரிப்பாக அமைகிறது. அதன் உயர் உருகுநிலையானது திறமையான குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்குத் தேவையான உயர்-வெப்பச் சூழலைத் தாங்கும் என்பதை உறுதி செய்கிறது.
முடிவில், Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor என்பது கிராஃபைட் எபிடாக்ஸி மற்றும் வேஃபர் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்கு அதி-தூய்மையான, நீடித்த மற்றும் நம்பகமான தீர்வாகும். அதன் சிறந்த அடர்த்தி, மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் பயன்படுத்த சிறந்ததாக அமைகிறது. உயர்தர தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்குவதில் பெருமிதம் கொள்கிறோம் மேலும் உங்களின் அனைத்து செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கேரியர் தேவைகளுக்கும் உங்களுடன் கூட்டு சேர்வதை எதிர்நோக்குகிறோம்.
மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வேஃபர் சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வேஃபர் சஸ்செப்டரின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்